JPS6054603B2 - 距離測定装置 - Google Patents
距離測定装置Info
- Publication number
- JPS6054603B2 JPS6054603B2 JP51039929A JP3992976A JPS6054603B2 JP S6054603 B2 JPS6054603 B2 JP S6054603B2 JP 51039929 A JP51039929 A JP 51039929A JP 3992976 A JP3992976 A JP 3992976A JP S6054603 B2 JPS6054603 B2 JP S6054603B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- distance
- current
- measured
- coil
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、１点に対して直線的に近づき、あるいは離れ
る物体について、その移動距離が比較的大なる場合に、
その移動距離を非接触で精密に測定する装置に関する。
る物体について、その移動距離が比較的大なる場合に、
その移動距離を非接触で精密に測定する装置に関する。
物体が前記の移動をする場合に、非接触で移動量を測定
する装置には、物体に取付けた電極と検出器の電極を対
向させ、その間の静電容量の変化を測定する容量式のも
の、物体に取付けた導電体板（物体が導電体のときは不
要）と検出器のｗ共振回路を対向させ、検出器から磁束
を放射して導電体板に渦電流を生じさせ、その結果生じ
る検出器のインダクタンス変化を測定する渦電流式のも
のなどがある。物体が移動し、検出器との間の距離が変
化した場合、容量式では両電極間の距離が変化するので
、その静電容量が変わり、また、渦電式では、導電体板
上に到達する磁束が距離によつて異なる結果、発生する
渦電流の大きさが変化して検出器のインダクタンスを変
化させることになる。
する装置には、物体に取付けた電極と検出器の電極を対
向させ、その間の静電容量の変化を測定する容量式のも
の、物体に取付けた導電体板（物体が導電体のときは不
要）と検出器のｗ共振回路を対向させ、検出器から磁束
を放射して導電体板に渦電流を生じさせ、その結果生じ
る検出器のインダクタンス変化を測定する渦電流式のも
のなどがある。物体が移動し、検出器との間の距離が変
化した場合、容量式では両電極間の距離が変化するので
、その静電容量が変わり、また、渦電式では、導電体板
上に到達する磁束が距離によつて異なる結果、発生する
渦電流の大きさが変化して検出器のインダクタンスを変
化させることになる。
したがつて、検出器により静電容量あるいはインダクタ
ンスの変化を取出すと、距離の変化の測定が可能である
。しかし、これらは、検出器を固定して用いるものであ
り、検出器と測定点との距離の大きさに応じて検出器の
構成も大にすることになり、したがつて、物体の移動量
が大になれば、大きな検出器が必要となる。
ンスの変化を取出すと、距離の変化の測定が可能である
。しかし、これらは、検出器を固定して用いるものであ
り、検出器と測定点との距離の大きさに応じて検出器の
構成も大にすることになり、したがつて、物体の移動量
が大になれば、大きな検出器が必要となる。
しかして、大きな検出器はそれだけ測定分解能が低下す
ることは避けられず、微小な移動量を測定できなくなり
、精度が低下する。ところで、この種の検出器は、被測
定物体との間の距離の大小に応じて出力を発生するもの
であるから、一定の距離に対して一定の出力を生ずる条
件を考慮すると、距離感知器としての性能を有’するも
のであり、例えば、被測定物体と検出器との接触を避け
るために、一定距離に近接した場合は警報を行うように
することも可能であり、この場合、近接距離が小であれ
ば、それだけ小さな検出器を用いることにより精度も高
くなる。本発明は、小さな精度の高い検出器を距離感知
器として用い、被測定物体の大きな移動距離を精密に測
定しようとするものであり、検出器を移動自在にし、被
測定体に対して検出器を小さな一定距離で追従させ、追
従させるために要する駆動機構の駆動電流の変化により
被測定体の移動距離を測定しようとするものである。
ることは避けられず、微小な移動量を測定できなくなり
、精度が低下する。ところで、この種の検出器は、被測
定物体との間の距離の大小に応じて出力を発生するもの
であるから、一定の距離に対して一定の出力を生ずる条
件を考慮すると、距離感知器としての性能を有’するも
のであり、例えば、被測定物体と検出器との接触を避け
るために、一定距離に近接した場合は警報を行うように
することも可能であり、この場合、近接距離が小であれ
ば、それだけ小さな検出器を用いることにより精度も高
くなる。本発明は、小さな精度の高い検出器を距離感知
器として用い、被測定物体の大きな移動距離を精密に測
定しようとするものであり、検出器を移動自在にし、被
測定体に対して検出器を小さな一定距離で追従させ、追
従させるために要する駆動機構の駆動電流の変化により
被測定体の移動距離を測定しようとするものである。
本発明は、例えば偏心円板、多角形板等の回転体の形状
を検査するに際し、回転体を回転させながら非接触で検
査するのに用いられる。
を検査するに際し、回転体を回転させながら非接触で検
査するのに用いられる。
以下、実施例について詳細に説明する。
これは、カムの形状検査を行うための実施例であり、図
示されていない被測定カムは、水平方向に配置された回
転軸に固着され、そのカムの下方に、案内筒に支承され
て上下方向に移動自在となつているＴ字形ロッドを配置
し、ロッドの先端の水平部の下面と案内筒上端面の間に
圧縮ばねを介在させることにより、その先端をカム表面
に押付け、カムの回動によつて、ロツドカ幼ムの変位曲
線に応じて上下刃向に移動させられるようにしてある。
示されていない被測定カムは、水平方向に配置された回
転軸に固着され、そのカムの下方に、案内筒に支承され
て上下方向に移動自在となつているＴ字形ロッドを配置
し、ロッドの先端の水平部の下面と案内筒上端面の間に
圧縮ばねを介在させることにより、その先端をカム表面
に押付け、カムの回動によつて、ロツドカ幼ムの変位曲
線に応じて上下刃向に移動させられるようにしてある。
そして、このロッドの下端突出端面の移動距離を測定す
るようにしたものである。第１図は、このロッド下端面
に、導電体板を固着してロッドと一体的に移動する導電
体板を被測定物体２０とし、距離惑知器としての検出器
５には渦電流式のものを用いた実施例てある。
るようにしたものである。第１図は、このロッド下端面
に、導電体板を固着してロッドと一体的に移動する導電
体板を被測定物体２０とし、距離惑知器としての検出器
５には渦電流式のものを用いた実施例てある。
図において、１は底板であり、その上面上には導磁体か
らなる内円筒３と外円筒２が同心に固定され、内円筒３
と外円筒２の間には間隙が設けられている。
らなる内円筒３と外円筒２が同心に固定され、内円筒３
と外円筒２の間には間隙が設けられている。
内円筒３の内部には、棒状の可動子４の下半分が摺動自
在に挿入され、可動子４の上端．には検出器５が固着さ
れている。これは、内部に圧共振回路を内蔵したものて
あり、微小距離を高い分解能て精密に検出する。また、
可動子４の下端には、はね６の下端が固着され、はね６
の下端は底板１に固着され、可動子４は一定位置に保！
持されている。そして可動子４に負荷が加えられると、
内円筒３の内面を案内部として上下に移動させられる。
８は可動子４の両側にそれぞれ固定された「字状の取付
桿であり、その下方垂下部は内円筒３と・外円筒２の間
隙に延び、その両垂下部の下端には内円筒３と同心のコ
イル１が固定され、取付桿８およびコイル１は、内、外
円筒３，２の外面、内面に対して非接触状態にされてい
る。
在に挿入され、可動子４の上端．には検出器５が固着さ
れている。これは、内部に圧共振回路を内蔵したものて
あり、微小距離を高い分解能て精密に検出する。また、
可動子４の下端には、はね６の下端が固着され、はね６
の下端は底板１に固着され、可動子４は一定位置に保！
持されている。そして可動子４に負荷が加えられると、
内円筒３の内面を案内部として上下に移動させられる。
８は可動子４の両側にそれぞれ固定された「字状の取付
桿であり、その下方垂下部は内円筒３と・外円筒２の間
隙に延び、その両垂下部の下端には内円筒３と同心のコ
イル１が固定され、取付桿８およびコイル１は、内、外
円筒３，２の外面、内面に対して非接触状態にされてい
る。
９は円筒状永久磁石であり、内周は内円筒３の外面と、
外周は外円筒２の内面と接触した状態で間隙の底部に配
設され、内周、外周にそれぞれ磁極を有し、例えは内周
側をＮ極とすると、磁力線は永久磁石９の内周、内円筒
３、間隙、外円筒２、永久磁石９の外周を経路とする閉
磁路を形成し、間隙の空間全体にわたつて略一様な磁界
となつている。
外周は外円筒２の内面と接触した状態で間隙の底部に配
設され、内周、外周にそれぞれ磁極を有し、例えは内周
側をＮ極とすると、磁力線は永久磁石９の内周、内円筒
３、間隙、外円筒２、永久磁石９の外周を経路とする閉
磁路を形成し、間隙の空間全体にわたつて略一様な磁界
となつている。
１０は検出器５と結線された検出出力の増幅器であり、
増幅器１０の出力は制御増幅器１１の一ｊ方の入力端に
印加されている。
増幅器１０の出力は制御増幅器１１の一ｊ方の入力端に
印加されている。
なお、制御増幅器１１は、ＰＩＤ制御回路と電流制御回
路を結合した公知のものよりなる。制御増幅器１１の他
方の入力端には設定器１２により設定された所定の電圧
が印加され、制御増幅器１１からは、両人力電圧の偏差
を０にするのに必要な電流が出力されてコイル７に加え
られる。１３は、コイル７と制御増幅器１１の間の電流
経路中に挿入された電流計である。
路を結合した公知のものよりなる。制御増幅器１１の他
方の入力端には設定器１２により設定された所定の電圧
が印加され、制御増幅器１１からは、両人力電圧の偏差
を０にするのに必要な電流が出力されてコイル７に加え
られる。１３は、コイル７と制御増幅器１１の間の電流
経路中に挿入された電流計である。
したがつて、制御増幅器１１は、検出器５の出力電圧を
一定倍した増幅電圧と、設定器１２の設定電圧を比較し
、その偏差に応じて制御電流を発生させ、それは電流計
１３を経てコイル７に加えられ、最終的には増幅電圧と
設定電圧が一致するような電流がコイルに加えられる。
一定倍した増幅電圧と、設定器１２の設定電圧を比較し
、その偏差に応じて制御電流を発生させ、それは電流計
１３を経てコイル７に加えられ、最終的には増幅電圧と
設定電圧が一致するような電流がコイルに加えられる。
以上のものにおいて、いま、距離測定装置の底板１を規
定面に固定し、検出器５を被測定物体２０と適宜の距離
で対向させると、検出器５には、それと被測定物体２０
の間に距離に応じた電圧が発生し、増幅器１０を介して
適宜の一定値倍に増幅されて制御増幅器１１に加えられ
る。この状態で、設定器１２の設定電圧を適宜の一定値
に設定しておくと、制御増幅器１１からは前記の増幅電
圧と設定電圧の偏差をＯにするのに必要な電流がコイル
７に供給されることになる。すなわち、コイル７は、内
円筒３と外円筒２の間の磁界中にあり、したがつて、コ
イル７に電流が加えられると、フレミングの左手の法測
によつてコイル７に対して力が加わることになり、この
場合、制御増幅器１１は、増幅電圧と設定電圧の偏差を
０にするような電流を発生することになるので、その偏
差の大きさと極性に応じてコイル７に加わる力が変えら
れてそれと一体の可動子４を上また下に移動させ、それ
により検出器５を被測定物体２０に近づけまた遠ざけ、
その結果、検出器５の出力電圧を増加または減少させ、
その増幅電圧を設定電圧に一致させる位置まで、検出器
５を移動させることになる。次に、被測定物体２０が、
前記の位置からある距離移動すると、すなわち、検出器
５に対して近づき、あるいは離れると、検出器５の出力
の増幅電圧が増加あるいは減少し、前記の設定電圧と一
致しなくなり、制御増幅器１１からは、その偏差の大き
さと極性に応じてコイル７を下方あるいは上方に移動さ
せるのに必要な電流が送出され、可動子４を下あるいは
上に移動させ、検出器５と被測定物体２０の間の距離が
前記と同じになつて、検出器５の出力電圧の増幅電圧が
設定電圧と一致した状態において平衡することになる。
定面に固定し、検出器５を被測定物体２０と適宜の距離
で対向させると、検出器５には、それと被測定物体２０
の間に距離に応じた電圧が発生し、増幅器１０を介して
適宜の一定値倍に増幅されて制御増幅器１１に加えられ
る。この状態で、設定器１２の設定電圧を適宜の一定値
に設定しておくと、制御増幅器１１からは前記の増幅電
圧と設定電圧の偏差をＯにするのに必要な電流がコイル
７に供給されることになる。すなわち、コイル７は、内
円筒３と外円筒２の間の磁界中にあり、したがつて、コ
イル７に電流が加えられると、フレミングの左手の法測
によつてコイル７に対して力が加わることになり、この
場合、制御増幅器１１は、増幅電圧と設定電圧の偏差を
０にするような電流を発生することになるので、その偏
差の大きさと極性に応じてコイル７に加わる力が変えら
れてそれと一体の可動子４を上また下に移動させ、それ
により検出器５を被測定物体２０に近づけまた遠ざけ、
その結果、検出器５の出力電圧を増加または減少させ、
その増幅電圧を設定電圧に一致させる位置まで、検出器
５を移動させることになる。次に、被測定物体２０が、
前記の位置からある距離移動すると、すなわち、検出器
５に対して近づき、あるいは離れると、検出器５の出力
の増幅電圧が増加あるいは減少し、前記の設定電圧と一
致しなくなり、制御増幅器１１からは、その偏差の大き
さと極性に応じてコイル７を下方あるいは上方に移動さ
せるのに必要な電流が送出され、可動子４を下あるいは
上に移動させ、検出器５と被測定物体２０の間の距離が
前記と同じになつて、検出器５の出力電圧の増幅電圧が
設定電圧と一致した状態において平衡することになる。
したがつて、このときの制御増幅器１１からのコイル７
に供給している電流の大きさは、前記の状態とは異つた
ものとなり、検出器５が被測定物体２０との間の距離を
一定に保つのに移動させられた距離、すなわち被測定物
体２０の移動距離と対応することになる。
に供給している電流の大きさは、前記の状態とは異つた
ものとなり、検出器５が被測定物体２０との間の距離を
一定に保つのに移動させられた距離、すなわち被測定物
体２０の移動距離と対応することになる。
この結果、この電流の大きさを電流計１３により読取り
、あらかじめ校正を行つた電流と距離の関係とを対比さ
せることにより、被測定物体２０の移動距離が求められ
ることになる。
、あらかじめ校正を行つた電流と距離の関係とを対比さ
せることにより、被測定物体２０の移動距離が求められ
ることになる。
この場合、前記したように検出器５は微小距離の変化分
も精密に検出するものてあり、制御増幅器１１の制御電
流の移動距離に対する変化率は、ばね６の強さにより調
節自在であつて、十分に大きくされている。なお、前記
した電流と移動距離の関係を求める校正は、直接被測定
物体２０あるいは被測定物体２０と同材質の試料片と距
離測定装置を対向させて、測定を行うに必要な距離範囲
について設定電圧を変えながら行えばよい。
も精密に検出するものてあり、制御増幅器１１の制御電
流の移動距離に対する変化率は、ばね６の強さにより調
節自在であつて、十分に大きくされている。なお、前記
した電流と移動距離の関係を求める校正は、直接被測定
物体２０あるいは被測定物体２０と同材質の試料片と距
離測定装置を対向させて、測定を行うに必要な距離範囲
について設定電圧を変えながら行えばよい。
通常は前記の試料片を例えばマイクロメータなどの校正
器に取付け校正するが、もちろん被測定物体２０により
校正することもでき、その場合には距離測定装置の底板
１を規定面に固定し、適宜の距離で検出器５を被測定物
体２０と対向させる。そして、設定器１２の設定電圧を
先ずＯにする。こうすると、検出器５には、検出器５と
被測定物体２０の間の距離に応じた出力電圧が発生し、
その増幅電圧は設定電圧より大きいので、制御増幅器１
１からは検出器５を被測定物体２０から離す方向、すな
わち、可動子４を下方に移動させる電流がコイル７に加
えられ、検出器５の出力が０になつた状態で平衡する。
このときの距離Ｇ。は検出器５において既知の値であり
、電流１。を読取る。次に、設定電圧をＶ１に設定し直
すと、検出器５の出力の増幅電圧が設定電圧より小とな
るので、制御増幅器１１からは、検出器５を被測定物体
２０に近づける方向、すなわち、可動子４を上方に移動
させる電流がコイル７に加えられ、検出器５の出力の増
幅電圧と設定電圧と一致したとき平衡する。このときの
距離Ｇ１も検出器５において既知であり、電流１１を読
取つておく。以下、同様にして、異なる多数の設定電圧
■２，Ｖ３・・・・・・■。のもとでの距離Ｇ２，Ｇ３
・・・・Ｇｎに対する電流１２，１３・・・・・・ｈを
読取る。以上により、検出器５の測定範囲についての距
離と電流の関係が求まる。次に、この状態で、設定電圧
を前記のＶ１にすると、電流は１１となるが、被測定物
体２０を上方に移動させると、検出器５と被測定物体２
０との距離が大になる結果、検出器５を被測定物体２０
に近づけるような電流がコイル７に加えられる。
器に取付け校正するが、もちろん被測定物体２０により
校正することもでき、その場合には距離測定装置の底板
１を規定面に固定し、適宜の距離で検出器５を被測定物
体２０と対向させる。そして、設定器１２の設定電圧を
先ずＯにする。こうすると、検出器５には、検出器５と
被測定物体２０の間の距離に応じた出力電圧が発生し、
その増幅電圧は設定電圧より大きいので、制御増幅器１
１からは検出器５を被測定物体２０から離す方向、すな
わち、可動子４を下方に移動させる電流がコイル７に加
えられ、検出器５の出力が０になつた状態で平衡する。
このときの距離Ｇ。は検出器５において既知の値であり
、電流１。を読取る。次に、設定電圧をＶ１に設定し直
すと、検出器５の出力の増幅電圧が設定電圧より小とな
るので、制御増幅器１１からは、検出器５を被測定物体
２０に近づける方向、すなわち、可動子４を上方に移動
させる電流がコイル７に加えられ、検出器５の出力の増
幅電圧と設定電圧と一致したとき平衡する。このときの
距離Ｇ１も検出器５において既知であり、電流１１を読
取つておく。以下、同様にして、異なる多数の設定電圧
■２，Ｖ３・・・・・・■。のもとでの距離Ｇ２，Ｇ３
・・・・Ｇｎに対する電流１２，１３・・・・・・ｈを
読取る。以上により、検出器５の測定範囲についての距
離と電流の関係が求まる。次に、この状態で、設定電圧
を前記のＶ１にすると、電流は１１となるが、被測定物
体２０を上方に移動させると、検出器５と被測定物体２
０との距離が大になる結果、検出器５を被測定物体２０
に近づけるような電流がコイル７に加えられる。
この電流を監視しながら、それが前記ｈになつて位置に
被測定物体２０を保持させる。このときの被測定物体２
０と検出器５の距離はＧ１であり、電流はｈであるが、
検出器５自体は前記の初期位置からはＧ。−Ｇｎだけ移
動している。この状態で、設定電圧を前記と同様に■２
，Ｖ３・・・・・・■。に切換えると、前記と同様に被
測定物体２０と検出器５の距離は、Ｇ２，Ｇ３・・・・
・・ＧＯそれぞれ追従制ａ御されることになり、前記の
初期位置からみれば、それぞれ検出器５は、（ＧＯ−Ｇ
ｎ）＋（Ｇ１一Ｇ２）（ＧＯ−Ｇｎ）＋（Ｇ１−Ｇ３）
， ・（ＧＯ＋Ｇｎ）＋（Ｇ１−Ｇ。）〔＝ＧＯ＋Ｇ
。〕となり、各設定電圧における電流を読取ることによ
りＧ。＋Ｇｎの距離中の距離と電流の関係が求められる
。以下、同様にして必要な距離範囲に対して上記校正を
行うことにより距離と電流の関係が高い分解能で求めら
れることになる。以上のとおりてあり、本発明は精度の
高い検出フ器を距離感知器として用い、それと被測定物
体の距離の一定値に対するずれを高い分解能で検知して
、その距離が一定値に保たれる電流を移動機構に供給さ
せるので、被測定物体の移動距離が、電流値の大きさに
拡大され、その電流値を読取ることにより、高い精度で
被測定物体の大きな移動距離を測定するとができる。
被測定物体２０を保持させる。このときの被測定物体２
０と検出器５の距離はＧ１であり、電流はｈであるが、
検出器５自体は前記の初期位置からはＧ。−Ｇｎだけ移
動している。この状態で、設定電圧を前記と同様に■２
，Ｖ３・・・・・・■。に切換えると、前記と同様に被
測定物体２０と検出器５の距離は、Ｇ２，Ｇ３・・・・
・・ＧＯそれぞれ追従制ａ御されることになり、前記の
初期位置からみれば、それぞれ検出器５は、（ＧＯ−Ｇ
ｎ）＋（Ｇ１一Ｇ２）（ＧＯ−Ｇｎ）＋（Ｇ１−Ｇ３）
， ・（ＧＯ＋Ｇｎ）＋（Ｇ１−Ｇ。）〔＝ＧＯ＋Ｇ
。〕となり、各設定電圧における電流を読取ることによ
りＧ。＋Ｇｎの距離中の距離と電流の関係が求められる
。以下、同様にして必要な距離範囲に対して上記校正を
行うことにより距離と電流の関係が高い分解能で求めら
れることになる。以上のとおりてあり、本発明は精度の
高い検出フ器を距離感知器として用い、それと被測定物
体の距離の一定値に対するずれを高い分解能で検知して
、その距離が一定値に保たれる電流を移動機構に供給さ
せるので、被測定物体の移動距離が、電流値の大きさに
拡大され、その電流値を読取ることにより、高い精度で
被測定物体の大きな移動距離を測定するとができる。
第１図は、本発明の実施例を示す一部断面を有する正面
図である。 １：底板、２：外円筒、３：内円筒、４：可動子、５：
検出器、６：ばね、７：コイル、８：取付桿、９：磁石
、１０：増幅器、１１：制御増幅器、１２：設定器、１
３：電流計。
図である。 １：底板、２：外円筒、３：内円筒、４：可動子、５：
検出器、６：ばね、７：コイル、８：取付桿、９：磁石
、１０：増幅器、１１：制御増幅器、１２：設定器、１
３：電流計。
Claims (1)
- １ 底板と、底板上に配置された内円筒と、内円筒と同
心に配置された外円筒と、内円筒内に摺動自在に挿入さ
れた可動子と、可動子の先端に固定された検出器と、可
動子の下端と底板間を結合するばねと、内円筒と外円筒
の間隙に磁界を形成する磁石と、可動子に固定されて磁
界中に配置されたコイルと、検出器の出力と設定器の出
力を入力し、両出力を一致させるのに必要な力をコイル
に与える電流をコイルに供給する制御増幅器とからなる
ところの距離測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51039929A JPS6054603B2 (ja) | 1976-04-09 | 1976-04-09 | 距離測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51039929A JPS6054603B2 (ja) | 1976-04-09 | 1976-04-09 | 距離測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52123647A JPS52123647A (en) | 1977-10-18 |
| JPS6054603B2 true JPS6054603B2 (ja) | 1985-11-30 |
Family
ID=12566620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51039929A Expired JPS6054603B2 (ja) | 1976-04-09 | 1976-04-09 | 距離測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6054603B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4669300A (en) * | 1984-03-30 | 1987-06-02 | Sloan Technology Corporation | Electromagnetic stylus force adjustment mechanism |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5714023B2 (ja) * | 1972-04-19 | 1982-03-20 |
-
1976
- 1976-04-09 JP JP51039929A patent/JPS6054603B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52123647A (en) | 1977-10-18 |
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