JPS6055764B2 - 厚み測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は全体として被接触形厚み測定技術に関し、更に
詳しくいえば被測定物の厚みと厚み標準・片との間の厚
みの偏差を指示する厚み測定装置における零点調整技術
に関する。

従来技術 非接触形厚み測定装置は普通は適当な放射線源と、この
放射線源に向い合せて配置される放射線検出器とを用い
、この検出器は放射線源との中間に置かれる被測定物か
ら出てくる放射線を受けるようにされている。

被測定物は普通可動の薄板状となされ、この板状の被測
定物は移動するにつれて放射線源からの放射線ビームを
遮断する。被測定物から出てくる放射線の強度は検出器
によつて受けられ、増幅されてから被測定物の厚みとあ
る厚みの標準片との比較の基礎をなす。厚み標準値を設
定するために、このような厚み測定装置は、指令に応じ
て厚みが正確に知られている１枚または複数枚のエレメ
ントすなわち標準片を、放射線ビームの中に入れるよう
に帰納する標準片マガジンを用いるのが普通である。こ
の厚み測定装置は、検出器の出力側に結合されるアナロ
グ指示計がビーム内で標準片のある特定の公称厚みで零
を指示するように校正される。この公称厚み値からそれ
ている被測定物の厚み偏差が指示針の偏差として表示さ
れる。この種の厚み測定装置は比較的広範囲の厚み測定
に用いることを意図したものである。

そのような厚み測定装置て必要とする標準片の数を少く
するために、従来の厚み測定装置はいわゆる０相補（Ｃ
Ｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ）Ｊ標準片システムを中心に
して構成されている。簡単にいえば、このシステムは全
測定範囲をそれよりも狭いいくつかの補助範囲に分割し
、典型的には４分割してそれらの補助範囲の各々につい
て、適当な所定の精密な厚みの４枚の円板を用いている
。各補助範囲の校正は通常は１枚の最大厚み標準片（い
わゆる１基礎標準片ョ）に対して行われる。基礎標準片
を放射線ビームから除去すると、その補助範囲内てその
基礎標準片よりも薄い被測定物の厚みを測定することが
可能となる。このことは、基礎標準片よりも薄．いある
相補標準片を被測定物と同時にビーム中に入れるべく標
準片マガジンを適当に附勢させることによつて相補標準
片を利用する厚み測定装置で行なわれる。被測定物の厚
みに前記相補標準片の厚みを加えた厚みがアナログ指示
計が初めに零点・と指すようにこの指示計を校正した厚
み、すなわち、その特定の厚み範囲の基礎標準片の厚み
に等しくなるように、これらの相補標準片は被測定物の
厚みを補うように選択される。被測定物の厚みの偏差は
、指示計の目盛の零点、即ち中点からの偏差として指示
される。周知のように、ここで説明しているような種類
の厚み測定装置の品質はその信号対雑音比で示される。

この比における雑音率は定義によりビーム中に基礎標準
片だけがある場合に、零の値を有する。その理由は厚み
測定装置が零を指示するのはこの基礎標準片だからであ
る。したがつて、被測定物と基礎標準片との厚みの相対
的な差が大きくｌなるにつれて、信号対雑音比における
雑音率の大きさが大きくなつて、厚み測定装置の品質は
それに対応して低下する。発明が解決しようとする問題
点 本発明はかかる１相補（ＣＯｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ）
Ｊ）標準片システムではない。

これら上記の如く基礎標準片と相補標準片を必要とする
。ゲージは基礎標準片で零点合わせをされ、次いて被測
定物の厚さの測定はビーム経路内に被測定物と一緒に相
補標準片を置くことによつて行なわれる。このやり・方
は雑音指数を大きくする。本発明はビーム経路内に標準
片を被測定物と一緒に挿入しない。被測定物がビーム経
路内にある唯一の物質である。相補標準片システムを中
心にして構成されるある厚み測定範囲を対象とする厚み
測定装置て必要とする標準片の数よりあまり多くの標準
片を必要とすることなしに、前記測定範囲と同じ測定範
囲にわたつて、一定の最小雑音率を有することが有利な
ことは明らかである。更に、従来の厚み測定技術によれ
ば、非接触形放射線厚測定装置の校正には、一般的に合
金補償、零点調整及びレンジ調整が考えられる。

しかしながら、従来の非接触形放射線厚み測定装置では
、これらの校正、特に零点調整は主として手動で行われ
ていた。手動による校正では校正者により誤差が生ずる
ばかりでなく、校正に長い時間を要し、圧延作業て遭遇
するように公称厚みの異なる種々の合金された金属に対
して迅速に校正せねばならない状況の下では不利である
。従つて、人手が関与することをできる限り少くして、
希望に応じてできる限り頻繁に厚み測定装置を迅速かつ
完全に再校正することが望ましい。本発明の目的は、非
接触形放射線厚み測定装置の校正として零点調整を自動
的かつ完全に行ない、上記の如き手動校正を行なう従来
装置の有する欠点を除去することにある。

問題点を解決するための手段及び作用 上記目的を達成するため、本発明の厚み測定装置には、
アナログ・ディジタル変換器と、ディジタル信号発生回
路と、ディジタル・アナログ変換器と、フィードバック
ループと、零点調整確認回路とから成る零点調節手段が
設けられている。

本発明の零点調節では、まず標準片マガジンが被測定物
の公称厚み又は見かけの厚みに等しい標準片群を選択し
て放射線経路内に設定する。アナログ指示計２０は、前
回の測定では別の標準片群に対して零点合わせされてい
たため、新しい標準片群に対しては零点から外れた読み
を示す。アナログ・ディジタル変換器は、このアナログ
指示計の読みと零点位置との間の差を表わすアナログ信
号を該アナログ信号の絶対値及び極性を表わすディジタ
ル出力信号に変換する。さらに、ディジタル信号発生回
路は、たとえば可逆カウンタであつてアナログ・ディジ
タル変換器のディジタル出力値だけ前記アナログ指示計
２０の指針のふれの極性に応じてその初期値からカウン
トを増減する。

ディジタル・アナログ変換器は前記ディジタル信号発生
回路のディジタル信号出力を対応するアナログ信号に変
換する。さらに、フィードバックループを通して前記ア
ナログ信号を放射線源電圧調整器に供給し、それにより
放射線源を制御する。また零点調整確認回路は、カウン
タから成り、前記アナログ・ディジタル変換器のディジ
タル出力信号をカウントしてそのカウント値が所定範囲
内に入つたとき零点調整確認信号を発生し、電圧調整器
の電圧を設定するのに対応した値に前記アナログ信号を
設定する。

発明の効果 本発明の零点調整は、アナログ・ディジタル変換器、デ
ィジタル信号発生回路、ディジタル・アナログ変換器、
フィードバックループ等により成るディジタルサーボル
ープの動作によつて行なわれる。

したがつて調整が迅速かつ正確である。さらに、零点調
整確認回路を設けることにより、任意の定めた零点にほ
ぼ近い値に達したときに零点調整動作を終了させること
ができるので所望の精度で零点調整を行なうことができ
る。換言すれば、作業の目的に応じて測定の正確性又は
迅速性のいずれを重視するかを自由に選択できる。実施
例図面には、板状金属または板状材料のような被測定材
料の厚みの偏差に対するアナログ指示計の指示偏差で厚
み情報を与えるとともに同じ材料または異つた合金の異
つた厚みに対して自動的に校正する厚み測定装置が示さ
れており、以下これについて説明する。

希望する厚みに対する厚み測定装置の完全な校正は本発
明の合金補償の他２つのサーボループの動作によつて行
われる。

これらのループは相継いで動作して、アナログ指示計を
所望の公称又は見掛けの厚みに対して零点合わせをし、
又前記指示計を零点からのプログラムされた偏差で校正
し、かくして零点からの厚み偏差が適当な指示計目盛及
び目盛値に指示されるようになす。特に、第１のループ
は零点調整ループであり、放射線源の高電圧または放射
線検出器の増幅度のいずれかを調整して、放射線源から
発せられる放射線ビーム中に選択した標準片を置いて指
示計の零点を得るようになす。この選択した標準片は放
射線中で被測定物の公称厚み、または必要によつて見か
けの厚みに等しい厚みを有する。この１見かけの厚みョ
というのは被測定物である合金の放射線吸収係数に対し
てもつ影響、したがつて被測定物から出てくる放射線ビ
ームの強度に対してもつ影響を補償する係数により補正
された公称厚みを意味する。第２のループはレンジ調整
ループであり、検出器の出力側をアナログ指示計の入力
側に結合する可変利得増幅器の利得を、被測定物の予測
される厚み変化の全範囲をカバーするアナログ指示計の
所定の振れが得られるまで、変化させるように動作する
。又この指示計は公称厚みの偏差の予測される範囲につ
いて予定の感度まで自動的に校正される。本文中で用い
られる１公称厚みョは標準片と被測定物との両方にある
。

公称厚みは被測定物が例えば０．０１Ｃ！ｎをもつよう
に製造された厚さである。従つて被測定物の公称厚みは
この場合０．０１ｃｍになる。従つてこの被測定物を検
査するため、０．０１Ｃｒｆ１厚さの標準片が選択され
る。１見かけの厚みョは被測定物にのみ適用され、標準
片には適用されない。

もし被測定物が標準片と異なる合金で作られておれば、
補償、即ち合金補償が要求される。この合金補償、零点
調整、及びレンジ調整を自動的に行なう手段を以下、図
に基づいて詳しく説明する。まず第１図に示す本発明に
よる非接触厚み測定装置は適当な放射線源１０を含む。

この放射線源はＸ線発生器または放射性同位元素を用い
ることができる。放射線源１０の上部に置かれる標準片
マガジン１２は厚みと合金組成が正確にわかつている複
数の金属標準片を有している。

この厚み測定装置を校正する目的のためには、複数の標
準片のうち予め選択したものだけが、それに対応する標
準片駆動ソレノイドの作動によつて放射線の経路中に挿
入される。測定モードは校正とは区別されるが、この測
定モードの間は、前記予め選択した標準片からの厚みの
偏差を測定する板状の被測定物Ｓが、標準片の代りに放
射線ビームの経路内に置かれる。標準片は複数の円板か
らなり、各円板は別々のアームに装着され、これらのア
ームは対応するいくつかのソレノイドによつて、放射線
ビーム内に選択的に配置されるようになつている。各円
板は同じ既知の組成の金属より成り、異なつた厚み値を
有するようにコード化される。２進化ｗ進法を基にした
厚み値を標準片に与えることにより、１倣の円板を用い
て、厚さ例えば０．０００１インチから０．９９９９イ
ンチ（約０．０００２５〜約２．５４ｃ７りまでの厚さ
の４つの１攻数の組合わせの何れもビーム中に選択的に
挿入できることは理解されるだろう。

希望する厚み値を表わす４桁の２進化ｗ進（以下ＢＣＤ
と称す）入力信号に応答する標準片マガジンは当該技術
分野で入手可能である。標準マガジン内又は被測定物Ｓ
上の選択された円板による放射線吸収の影響は、標準マ
ガジン１２と被測定物Ｓに向い合わせて置かれるそれ自
体公知の検出器１４によつて検出される。

検出器１４は普通のシンチレーシヨン形光電子増倍管で
構成できる。この光電子増倍管の電圧出力はビーム中に
挿入された物質の放射線吸収係数の関数であり、この出
力の大きさは挿入される物質の厚みに逆比例する。シン
チレーシヨン形検出器の代りに他の形式の検出器を使用
することもてきる。検出器１４の出力は対数増幅器１６
の入力側に加えられる。この増幅器１６は放射線ビーム
の経路中に置かれた物質の厚みのほぼ直線関数である電
圧出力を与える。増幅器１６の出力は可変利得増幅器１
８を介して、適当な指示器、普通はアナログ形計器２０
に加えられる。後述する帰還制御信号をリード２２を介
して増幅器１８の入力端に与えて、増幅器１８の利得を
自動的に調節し、指示計２０の目盛が希望する測定レン
ジ内の厚みに適切に相関するように、指示計に予定のか
たよりを与えるようになす。次に、第２図を参照して、
厚み測定装置の合金補償校正を行うために標準片マガジ
ンへＢＣＤ厚み信号入力を与えるために用いられるディ
ジタル論理回路について説明する。

合金補償： 被測定物のための公称厚みの選択は厚み設定機構３０に
よつて行われる。

この機構は、４桁ＫＤ標準片マガジンに対しては、約０
．０００２５ｃｍ（０．０００１インチ）のステップで
適切に目盛られているｗ進数目盛を有する手動操作可能
な４個のつまみと、これらのつまみの任意の特定の設定
を表わす並列ビットＢＣＤ出力信号を与える論理回路と
をそなえている。前記したように、物質の放射線吸収係
数はその物質の組成の関数である。

したがつて、ある物質の組成が標準片の組成とは異なつ
ているとすると、標準片の公称厚みを基にして行われる
厚み測定装置の校正は、その物質の厚み測定には不正確
である。被測定物の与えられた厚みに対して要求される
補償量は使用される放射線源の種類、標準片の公称厚み
および組成に基づく。被測定物が圧延機から出てくる金
属の場合には、圧延機は圧延された金属の見かけの厚み
に関する有用な情報を与える。公称厚みと見かけの厚み
との差は、その金属か放射線の種類と強さとに対して有
する吸収係数に起因する。このデータは必要なパーセン
ト補償という言葉で表わすことができ、この必要なパー
セント補償は標準片の厚さに与えかくして標準片の補償
された公称厚みが被測定物の公称厚みに等しくなるよう
にすべきものである。

数字でほぼ０．１％まて表わすことがてきる要求される
補償が補償設定機構３２に入れられる。

この補償の極性、すなわち正または負は補償符号機構３
４に入れられる。機構３２はｗ進数目盛を有する複数（
たとえば３個）の手動つまみと、つまみの種々の％設定
値を表わす並列ビットＢＣＤ出力信号を与える適当な論
理回路とをそなえている。

補償の符号は機構３４に入れられ、機構３４によつて正
および負の補償をそれぞれ表わす２つの異なる電圧出力
レベルのうちのいずれか一方に変換される。測定される
金属中の合金を補償する合成厚みを有する標準片をビー
ム中に置く操作は、クロックパルス発振器の如き共通の
パルス源から１対のパルスカウンタを合金の公称厚みと
見かけの厚みの希望する比の関数である相対的速さで送
ることによつて自動的に行なわれる。

一定数のカウントに達すると、２つのカウンタのうちの
一方（ここではＸａカウンタと呼ぶ）は前記比の見かけ
の厚み係数に対応するカウントを含む。このカウンタは
出力を供給し、この出力は標準片マガジンを適切に附勢
して標準片をビーム中に挿入されるために供給されたも
のである。この標準片は被測定の合金の公称厚みと同じ
量だけビームを減衰させることになる。説明のために、
この厚み測定装置は標準片の約０．２５４ｃ！ｎ（０．
１００インチ）の厚みを、３台のｗ進カウンタ（以後Ｘ
カウンタと呼ぶ）で１０００カウントとして表わすもの
と仮定し、更に、標準片に対しては合金補償は要求され
ないものと仮定する。

この場合には、ＸカウンタとＸａカウンタは発振器から
のパルスを等しい速さでカウントする。比較のための基
礎としてディジタル電圧形に対応する約０．２５４ｃｍ
（０．１００インチ）の値を対応するディジタル電圧の
形で用いると、１００柵のパルスがＸカウンタによりカ
ウントされ、これと同数のパルスがＸａカウンタにより
カウントされる。Ｘａカウンタで１０００カウントされ
ると標準片マガジンが作動されて被測定物の公称厚み、
この場合には見かけの厚みに等しい全厚み、すなわち約
０．２５４ｄ（０．１００インチ）に等しい全厚みを有
する選択された標準片をビーム経路中に挿入するように
作動される。説明を更に続けるために、標準片の見かけ
の厚みが被測定合金の公称厚みに等しく見えるようにす
るためには、＋５０％の補償を必要とするものと仮定す
ると、Ｘカウンタに加えられるパルスの供給速度は３分
の１だけ低下される。

また、約０．２５４ｃＴｎ（０．１００インチ）の厚み
がＸカウンタにおける１０００カウントによつて表わさ
れるものと仮定すると、Ｘカウンタが１０００カウント
を記録した時に５０％増のパルス、すなわち１５００個
のパルスがＸａカウンタに与えられる。Ｘａカウンタに
おける１５００カウントは標準片厚みが約０．３８１０
（０．１５０インチ）であることを表わし、＋５０％の
補償はＸａカウンタをして１５００カウントに等しいＫ
Ｄ電圧信号を標準片マガジンに送らせることにより行わ
れる。そうするとマガジンソレノイドが動作して約０．
３８１ｃｍ（０．１５０インチ）の厚みのマガジンをビ
ーム経路中に挿入する。更にもう１つの例として＋１０
０％の補償を行うとすると、Ｘカウンタに加えられる発
振器からのパルス繰返し速度は２分の１にされ、したが
つてｘカウンタが１０００カウントした時にＸａカウン
タは２０００カウントする。

Ｘａカウンタにおける２０００カウントは金属の厚み約
０．５０８Ｃ！ｒｌ（イ）．２００インチ）に対応し、
この厚み値はＸａカウンタにより前と同様に標準片マガ
ジンにセットされる。もし負の補償が必要だとすると、
Ｘカウンタはその補償量に比例した速い速度でＸａカウ
ンタよりも速く１０００カウントまでカウントする。

したがつて、Ｘａカウンタは補償量に比例する少ない数
のパルスを、したがつてＸカウンタよりも補償量に比例
して少ない百分率のパルスをカウントし、見かけの厚み
に比例する最終カウントをＸａカウンタに与える。以下
の説明は、希望する百分率補償を与えるような標準片を
ビーム経路中に自動的に挿入するための回路の説明であ
る。

第２図に示す発振器３６は連続動作してある適当な周波
数、たとえば１００ＭＨｚのパルスを発生し、それらの
パルスを２つのカウンタ３８および４０の並列入力側に
与える。

カウンタ４０は分周器として動作する。したがつて、こ
のカウンタが相互接続される３個のｗ進カウンタて構成
されて１００紛の１分周器として動作するものとすると
、発振器３６から加えられる１０ＭＨｚのパルスはＷＭ
Ｈｚのパルスに分周される。カウンタ３８も発振器３６
からのクロックパルス入力と、百分率補償設定機構３２
からのＫ１出力信号をカウントする。

カウンタ３８はプリセット可能な３つの１罐カウンタと
、Ｊ−Ｋフリップフロップで構成される２分の１分周回
路とで構成できる。そのような場合には、カウンタ３８
が補償設定機構３２からの１００％補償にプログラムさ
れると、このカウンタは発振器３６からのパルス出力を
２００紛の１に分周する分周器として動作する。選択し
た％補償の値にしたがつて、カウンタ３８の除数は１０
００〜２０００の間の値をとるようにプログラムできる
。実際には、カウンタ３８は入力パルスの繰返し速度を
１０００＋Ｎの係数て分割する。ここでＮは要求された
補償の１％に対して絶対値で１０の値を有する。したが
つて、たとえば１００％の補償が要求されるものとする
と、Ｎは１０００に等しくされてカウンタ３８はクロッ
クパルスの繰返し周波数を２０００分の１に分周する。
一方、零％の補償が必要だとするとＮは零に等しくされ
、カウンタ３８は１００紛の１に分周する分周器として
動作する。符号設定機構３４は希望する補正係数の極性
をあられす０ビットまたは１ビット電圧レベルを与える
。

符号設定機構３４の一部としてＢで示される論理回路も
含む。この論理回路は、（１）符号設定機構３４におけ
る正または零％補償に応答して、カウンタ３８からの出
力パルスを２入力ナンドゲート４２を介して一致回路４
４（Ｘカウンタ）に結合する直接回路と、カウンタ４０
の出力パルスを第２の２入力ナンドゲート４６を介して
カウンタ４８（Ｘａカウンタ）に結合する直接回路とを
形成し、（２）符号設定機構３４における負の％補償に
応答してゲート４２，４６をそれぞれ介するカウンタ４
４，４８に至るパルスの直接回路を切替える。このよう
に、補償設定機構３２と符号設定機構３４はカウンタ３
８での分割比を選択するために用いられ、カウンタ３８
と４０の出力をダイアル操作て入れられる正または負の
％補償値にしたがつて導き、それによつて特定の合金の
厚み測定の校正のために厚み測定装置の条件を整える。
Ｘ計数シーケンスではカウンタ４４は同時計回路として
動作し、厚み設定機構３０からの並列ビットＢＣＤ厚み
信号によつてプログラムされ、ＫＤ厚み値に数値的に等
しいパスカルカウントに達するまで、開かれているゲー
ト４２を介して受けたパルスをカウントし、それに達し
たとき一致信号が発生されてその信号は導線４９を介し
て制御装置５０に加えられる。この一致信号はＸ計数制
御器５４（第３図）をリセットして、この制御器が端子
５５に禁止信号を発生するようにさせ、それによつてカ
ウンタ４４にそれ以上パルスが加えられることを終らせ
る。この禁止信号は端子５５に接続されているオアゲー
ト６２と、ゲート４６の第２入力端にも現われ、Ｘａカ
ウンタ４８にそれ以上パルスが加えられることを禁止す
る。したがつて、ＸカウンタＸａカウンタの両方はそれ
以上カウントすることを同時に禁止される。回路５４の
禁止信号出力はまた高電圧調整制御器５６（第３図）を
トリガして、以下に説明する次の校正モードを開始させ
る。Ｘａカウンタ４８は縦続接続される４つの１０進カ
ウンタをそなえ、００００から９９９９まてカウントす
る。

このカウンタの出力は記録されたカウントに対応するＢ
ＣＤ信号Ｘａであつて、このカウンタは厚み測定装置が
校正されるべき被測定物の見かけの厚みを表わす。Ｘａ
カウンタの出力端はバッファレジスタ６１を介してマガ
ジン１２のソレノイドに結合される。このレジスタは端
子５５に結合される填装ラインを有する。レジスタ６１
は、標準の対応する１つをビーム中に挿入するソレノイ
ドに電流を供給するように、Ｘ計数制御器５４がリセッ
トされた時にＸａカウンタのＢＣＤ電圧出力をソレノイ
ドに転送する。制御器５４がリセットされた時に端子５
５で生ずる信号レベルの変化は、ストローブ信号を発生
すべく、直ちに、または適当に遅延されてから用いられ
る。このストローブ信号は転送ライン６３によつてレジ
スタ６１に与えられ、Ｘａカウントのマガジン１２のソ
レノイドへ転送を行わせる。転送ライン６３は適当な遅
延回路（図示せす）を介して端子５５に接続される。

この遅延回路は制御器５４のリセット出力信号に応答す
るが、遅延回路の出力側にストローブパルスが発生され
る前にＸａカウンタが安定するのに十分な時定数を有す
る。この遅延回路は、たとえば単安定マルチバイブレー
タで構成できる。この単安定マルチバイブレータは端子
５５に加えられるトリが電圧により非安定状態にトリガ
され、安定状態に戻ると転送ライン６３に急峻なストロ
ーブパルスを与える。ビーム経路中に適当な標準片が挿
入されると、挿入されている標準片から出てくる放射線
の強度は検出器１４によつて検出され、その出力信号は
増幅器１６によつて線形化される。増幅器１６の出力は
可変利得増幅器１８を介してアナログ指示計に加えられ
、その指示計の指針を目盛上にある位置まてかたよらせ
る。標準片を合金補償するとアナログ指示計の偏差指示
は新しく選択した標準片について零点合わせ（調整）を
するようにすることが必要となり、もしそうしないと指
示計は前に選択した標準片に対して零点合わせされた状
態を保つ。

従つて本発明の厚み測定装置において、自動零点調整が
どのようにして行われるかについて以下説明する。零点
調整：第３図に示す制御器５０は直列接続される５つの
フリップフロップで構成される。

これらのフリップフロップの１つはスタート校正制御器
５２の一部を構成する。この制御器は押しボタンスター
トスイッチ（図示せす）の操作によつて与えられる段階
状電圧によリセットされる。このスタート校正制御器５
２の校正フリップフロップは押しボタンスイッチが押さ
れた時にセットされ、出力信号を発生する。この出力信
号はＸ計数制御器５４のＸ計数フリップフロップをセッ
トする。Ｘ計数フリップフロップがセットされると端子
５５に電圧信中を発生する。この信号はゲート４２と４
６を同時に開く。ゲート４２と４６が開いているから、
前記したようにＸカウンタはＸａカウンタと同時にカウ
ントを行う。

Ｘカウンタにおける同時カウントにより、Ｘ計数制御器
５４（第３図）はＸカウンタから導線４９に介して加え
られるパルスによリセットされる。ｘ計数制御器５４が
リセットされると、端子５５に与えられる電圧はゲート
４２と４６を閉じるのに十分なだけレベルを変化し、そ
れによつてＸカウンタ４４とＸａカウンタ４８にパルス
が加えられることを阻止する。Ｘ計数制御器がリセット
されて後やがてＢＣＤ電圧に等しいＸａカウンタがレジ
スタ６１の動作によつて標準片マガジンのソレノイドに
送られる。制御器５４のリセットにより、高電圧調整制
御器５６（第３図）のフリップフロップがセットされる
。

高電圧調整制御器５６は電源のキロボルトレベルを調整
して、ビーム経路中に新たに標準片が挿入されている時
に、指示計２０を零点合わせするのに十分な強度を持ち
ビームを生じさせる。そのような強度のビームを発生さ
せるために、電源電圧は次に述べるようにして繰返し調
整される。指示計の指針が零点を指示する状態は指示計
の入力端子間電圧差が零という状態に対応するので、こ
の電圧差はビーム中に挿入された新しい標準片の厚みに
対しても零を維持するということはない。

たとえば、新しく挿入された標準片の厚みが前に挿入さ
れていた標準片の厚みよりも厚いとすると、放射線の強
さは被測定物を貫通するのには不十分であり、したがつ
て指示計２０の一方の端子に加えられる電圧は零ではな
く、その強さに対応する大きさと極性を有する。この端
子の電圧は電圧−パルスカウント形のアナログ−ディジ
タル変換器６４によるパルスカウントを表わす数に変換
され、可逆カウンタ６６に加えられる。カウンタ６６に
加えられるカウントの数は指示計入力端子にかかるアナ
ログ電圧の大きさの絶対値に比例する。変換器６４はこ
の電圧の極性も指示し、この情報もカウンタ６６に与え
られてその極性にしたがつてカウンタが順カウントまた
は逆カウントするようにカウンタを制御する。いまの例
てはカウンタ６６はある所定の初期カウントから順カウ
ントするように構成されている。カウンタ６６の出力は
各サンプリング期間に続いて零点調整記憶レジスタ６８
に転送される。

このレジスタはディジタル−アナログ変換器７０に出力
を与える。この変換器はレジスタ６８のディジタル出力
を同じ大きさのアナログ信号に変換し、このアナログ信
号を電圧調整装置１１に帰還・して電源電圧調整を行わ
せる。いま説明している例では、帰還信号は放射線ビー
ムの強度を高めるように電源１０の電圧を高くする。ま
た、この帰還信号を破線で示す帰還路７１Ａを介して検
出器１４に加え、検出器１４の利得を適当に変化して；
指示計の零点合わせを行うことができる。帰還ループ７
１とそれに関連する部品のサーボ動作により、変換器６
４の入力側における電圧は零ボルトに向けてドライブさ
れ、サーボ作用が継続するにつれて前記電圧は零ボルト
を通過して極ノ性を反転するから、再び逆向きに電圧調
整が行われる。変換器６４に加えられるアナログ入力信
号の極性変化は、カウンタ６６に送られる変換器の極性
出力指示の変化によつてカウンタ６６が逆カウント動作
するように制御する。カウンタ６６が逆カウントすると
、レジスタ６８に貯えられているカウントは減少され、
それによつて変換器７０に加えられるディジタル信号の
数が減少する。その結果、変換器７０は電圧調整装置１
１に加えるアナログ帰還信号電圧の大きさを小さくし、
放射線ビームの強さを弱くする。このサーボ作用は、変
換器６４によつてサイプリングされるアナログ信号の大
きさが、ほとんど零になるまで続けられる。変換器６４
が指示計２０の入力側におけるアナログ電圧をサンプリ
ングした後で、サンプリング間の誤差がある値、たとえ
ば０．０１％、をこえないとすると、確認された零点調
整信号が確認回路によつて電圧調整制御器５６に送られ
る。

この信号は制御器５６をリセットし、それによつてそれ
以上の零点調整を終らせる。このような動作をする確認
回路は２個のカウンタ８０，８２をそなえている。

これらのカウンタは十分な電源電圧調整が行われたこと
及び指示計２０がビーム中の標準片に対して零点合わせ
されたことを示す信号を導線８３に与える。以下は、新
たに挿入された標準片に対して指示計の自動零点合わせ
を行う回路装置の一例についての説明である。

この装置は前記アナログ−ディジタル変換器６４と、可
逆カウンタ６６と、高電圧零点調整記憶レジスタ６８と
、ディジタル−アナログ変換器７０と、変換器７０の出
力側を調整装置１１の制御入力側に、または検出器１４
に結合する帰還ループ７１とをそなえている。変換器６
４は従来の電圧−パルスカウント形の．従来の双極性ア
ナログ−ディジタル変換器であつて、指示計２０の入力
端子に加えられるアナログ信号をサンプリングして、サ
ンプリングしたアナログ信号の大きさに比例するパルス
数を有する一連の出力パルスを導線７２に与え、かつア
ナログ！信号の極性すなわちアース電位に対して正電圧
から負電圧かを表わすＯビットまたは１ビットの先頭パ
ルスを与える。

各変換サイクルの終りに変換器によつてカウント転送信
号が発生され、この信号は導線７４を介して２入力アン
ドゲート７６，４９６の１つの入力側に加えられる。変
換器６４によつてサンプリングされるアナログ電圧の大
きさを表わすカウント出力は、導線７２により開かれて
いるアンドゲート７８を介してカウンタ６６に与えられ
る。

アンドゲート７６と７８はこの動作シーケンスの初めに
、高電圧調整器５６からの電圧によつて開かれる。この
電圧はゲート７６と７８の入力側に接続されている導線
５７に現われる。各変換サイクルの終りに、開かれてい
るゲート７６を通じてレジスタ６８の入力側にカウント
転送信号が与えられ、カウンタ６６で積算されたディジ
タルカウントの、レジスタ６８への並列転送を行わせる
。レジスタ６８からのａ出力はディジタル−アナログ変
換器７０に加えられる。この変換器は大きさがレジスタ
６８内のカウントに比例するアナログ出力信号を発生す
る。変換器７０の出力は帰還ループ７１を介して電圧調
整器１１に加えられ、放射線源１０の電圧レベルを比例
制御し、放射線源１０から放射される放射線ビームの強
さを比例制御する。電圧調整器１１は帰還ループ７１の
アナログ電圧変化にしたがつて、放射線源１０に供給す
る高電圧をプログラム制御できる直流電源をそなえてい
る。

電圧調整器１１は与えられる基準電圧入力に対して放射
線源１０の電圧を一定の関係に保つように動作する。し
たがつて、ディジタル−アナログ変換器７０からのアナ
ログ出力レベルに応答して、放射線源１０の放射線強度
レベルが変化して検出器１４への入力を増加または減少
させ、アナログ指宗計の指針が零点を指すようにする。
あるいは、前記したように、変換器７０からのアナログ
信号をループ７１と７１Ａを介して検出器１４に加え、
指示計２０が零指示をするように検出器１４の利得を変
化させることもできる。アナログ−ディジタル変換器６
４の各変換サイクルの終りに、指示計２０が零点を指示
するまで零点調整操作が反復される。

零点を検出するために、導線７２に現われるパルスカウ
ントと、導線７４に現われるカウント転送信号は１喘カ
ウンタ８０，８２にそれぞれ加えられる。カウンタ８０
は可逆カウンタであつて、あふれカウント状態となるた
びにカウンタ８２をリセットすることにより、カウンタ
８２を制御する。カウンタ８０は変換器６４により導線
７４に与えられる各パルスカウントの先頭の極性信号に
よつて決定される向きに、カウンタ６６と並列に順カウ
ントまたは逆カウントを行い、そのカウント容量によつ
て決定される率であふれを生じる。極性信号は正極性を
表わす０ビット、または負極性を表わす１ビットのいず
れかであつて、カウンタ８０は加えられるパルスの先頭
に１ビットがあれば順カウントし、０ビットあれば逆カ
ウントする。指示計の指針が零点からいずれかの向きに
振れるにつれて、カウンタ８０に与えられるカウントを
カウンタ８２をリセットするために用いられるあふれパ
ルス出力を発生させるのに十分なものとすることができ
る。指示計２０が零指示に近づくにつれて、もしくは指
針が目盛の中点にして振動するにつれて、カウンタ８０
に加えられ、またカウンタ８０から差し引かれるカウン
トは、与えられた時間間隔内にあふれを生じさせるのに
不十分となり、したがつてカウンタ８２はカウンタ８０
からのリセット信号によつて妨げられることなしに、ア
ナログ−ディジタル変換器６４からの転送信号をカウン
トする。前述したように、変換器６４によつて転送され
るカウントのカウント数は、変換器６４が接続されてい
る指示計２０の入力端子に現われる電圧の絶対値に比例
する。

指示計２０を零点指示状態におくことが望ましいから、
与えられた変換サイクルの終りに転送されるカウントの
数が多くなると、指示計２０の指針のその希望する零点
からの振れも大きくなる。したがつて、転送されるカウ
ントの零カウントは指示計の完全な零指示を表わし、フ
ルスケールカウントは指示計の指針の零点からの大きな
一方的の振れを表わす。変換器６４のカウント出力が零
に集束するにつれて、変換器６４により発生されるカウ
ント転送パルスの非周期性は小さくなるから、完全な零
点指示が行われるとカウント転送信号は周期的に発生さ
れる。

カウンタ８２が変換器６４からの連続転送信号をカウン
トし、それと同時にカウンタ８０が連続する２つの転送
信号の間に変換器によつて発生されるカウントの極性と
数をカウントしているので、カウンタ８０と８２を適当
に構成することによつて、変換器６４の出力カウントが
零または零に非常に近い値になるまでは、カウンタ８２
がそのフルカウント容量に達する前にカウンタ８０はカ
ウンタ８２をリセットするようにし、これにより希望す
る校正確度を与えることがてきる。変換器６４の出力カ
ウントが零または零に非常に近い値になるとカウンタ８
０のあふれ信号によつて当分の間リセットされることな
しに、カウンタ８２は所定数の連続転送信号をカウント
できる。この所定数の転送信号力幼ウントされると、カ
ウンタ８２はあふれてライン８３に信号を与える。この
信号は零点確認調整シーケンスを終らせる。典型的な実
施例では、カウンタ８０は全部で＋２０カウントを受け
た時にあふれるようにプログラムされるプログラム可能
な単一の１罐カウンタをそなえる。

カウンタ８２は直列に接続される２個のプログラム可能
なｗ進カウンタをそなえ、連続する４Ｃ＠の転送信号を
受けた時にあふれる。カウンタ８０によつてリセットさ
れることなしにカウンタ８２があふれる場合には、カウ
ンタ８２は導線８３に信号を発生する。この信号は高電
圧調整制御器５６をその初期状態にリセットする。この
状態では、制御器５６は導線５７に電圧を発生する。こ
の電圧はゲート７６と７８を閉じて零点合わせシーケン
スのそれ以上の動作を停止させるとともに、パーセント
Ｘａ厚み制御器５８にトリガパルスを送る。このパルス
はその制御器のフリップフロップを以下に述べる理由の
ためにセットする。ゲート７６と７８が閉じられたので
、可逆カウンタ６６には変換器６４からのカウント出力
が入力されず、したがつて可逆カウンタ６６及び零調整
記憶レジスタ６８はそのままの状態に保持される。

すなわちカウント値が固定される。この一固定されたカ
ウント値がディジタル−アナログ変換器”７０によりア
ナログ信号に加えられ、さらにフィードバックループ７
１を介して放射線源電圧調整装置１１または検出器に加
えられ、放射線源電圧又は検出器の利得がそのアナログ
信号に対応する値に固定される。零点調整シーケンスの
間に行われた零点調整の正確さの確認、および放射線源
１０の調整すなわち検出器１４の利得の固定が行われた
後では、被測定物の厚みの公称厚みからの偏差が予測さ
れた範囲をカバーするように指示計２０を校正し、即ノ
ちレンジ調整することが必要である。

レンジ調整： 以下、本発明の自動レンジ調整につき説明する。

最大レンジは典型的には指示計２０のフルスケールレン
ジである。もしこの校正が行われないとすると、新しい
公称厚みに対して希望する測定レンジに厚み測定装置を
それまで校正してこなかつたから、指示計２０の指針の
振れを被測定物の厚みの偏差の実際の値に対応させるこ
とは実際には不可能である。この校正操作は指示計のレ
ンジを調整するものであるから、１レンジ調整ョ操作と
呼ばれる。とくに、レンジ調整は検出回路中の可変利得
装置すなわち増幅器１８の利得を調整することによつて
行われる。要約すれば、このレンジ調整は公称厚みから
の被測定物の最大正常偏差に対応するパルス繰返し率の
発振器３６からのパルスをカウントするカウンタ９０に
より、Ｘカウンタ４４とＸａカウンタ４８を制御するこ
とによつて行われる。

零調整操作の終りには放射線源１０の電圧または検出器
の利得は固定されるから、Ｘａカウンタ４８はこの予め
選択した最大偏差を表わすカウントを加えられる。この
偏差は公称値からのパーセント偏差を表わす。Ｘａカウ
ンタ４８がこのカウント値によつて更新されると、標準
片マガジンはＸａカウンタ４８の出力によつてもう１度
作動され、厚みの選択したパーセント偏差に対応する別
の標準片をビーム通路中に挿入する。零点調整操作にお
いて前に用いたある回路やその他の回路の動作により、
レンジ調整帰還ループ９９（第１図）にアナログ電圧が
加えられる。

この電圧は増幅器１８に加えられて、指示計２０の指針
を零点から一定の向きに一定量だけ振らせる向きと大き
さだけ、増幅器１８の利得を変化させる。この利得変化
は増幅器１８の帰還ループ中の．可変抵抗を変化するこ
とによつて行うことができる。典型的には前記一定量の
振れは指示計の指針の零点からの１つの向きへのフルス
ケール振れである。厚み変化に対する指示計の感度の確
認は、高電圧調整操作について前述したのと同様なやり
町方で、カウンタ８０，８２と関連して動作するアナロ
グ−ディジタル変換器６４により与えられる。たとえば
正のフルスケールに指示計２０が校正されたあとは、負
のフルスケールに校正することは比較的簡単なことであ
る。その理由は、直線一的な応答特性を有する指示計で
は目盛の中間点を中心として対称性が存在するからであ
る。以下にレンジ調整操作を自動的に行う回路について
詳しく説明する。

Ｘａカウンタに被測定物の見かけの厚みのＫ祖値が読込
まれる零点調整操作の間に、ゲート４６を通過するパル
スもパーセントＸａ厚み分割器８４の入力側と、ナンド
ゲート８６の１つの入力側とに加えられる。

分割器８４は２個のｍ進カウンタをそなえている。これ
らのカウンタは公称厚みからの厚み偏差レジンに先立つ
てプログラム可能であり、このレンジ全体にわたつて指
示計２０のフルスケール振れを与える。分割器８４はパ
ーセンントＸａ設定機構８５によつてプログラムできる
。この機構は複数のスイッチをそなえ、これらのスイッ
チは選択的に閉じて分割器８４の分割係数を希望する任
意の百分比にすることがてきる。あるいは、カウント入
力を一定の係数で割るため・のプログラミングなしに分
割器を用いることができる。たとえば、１０％の偏差を
希望したとすると、分割器８４は１０カウント受ける毎
に１個の出力パルスを発生し、それによつてＸａカウン
タ４８に加えられるパルスカウントの１０％のカウント
出力を与える。この百分率パルスカウントはナンドゲー
ト８８を介して結合される。

ゲート８８はＸ計数操作の間にＸ計数制御器５４によつ
てセット状態にされる。これらのパルスは開かれている
ゲート８８を通つてカウンタ９０の順カウント入力側に
加えられる。カウンタ９０は直列接続される複数の１罐
カウンタで構成され、適当なりウント容量たとえば９９
９を与える。したがつて、カウント動作中にカウンタ９
０はＸａカウンタ４８中のカウントのプログラムされた
百分率（たとえば１０％）に等しいカウントまで充され
る。零点調整操作が終るとパーセントＸａ厚み制御器５
８はセット状態にトリガされ、制御器５８はゲート開放
信号を発生させる。

この信号は端子９１から開かれているナンドゲート８６
に加えられるとともに、ゲート６２を通つてゲート４６
に加えられ、ゲート４６を開く。そうするとパルスカウ
ントはゲート８６を通つてカウンタ９０の逆カウント入
力側に加えられるとともに、Ｘａカウンタ４８に直接加
えられる。検出器９２はカウンタ９０のカウント出力に
応答して、カウンタ９０が全部零を記録した時に信号出
力を発生する。この信号は導線９３を介してパーセント
Ｘａ厚み制御器５８に加えられてこの制御器をリセット
する。その結果この制御器は導線９１に信号を発生し、
この信号はゲート４６と８６を閉じさせてＸａカウンタ
４８とカウンタ９０にそれ以上のパルスが加えられるこ
とを禁止する。この動作によつて、分割器８４により与
えられた最初のＸａカウントのプログラムされた百分率
は、Ｘａカウンタ４８内の以前のカウントをその百分率
だけ変化する。端子５５と同様に端子９１も前記遅回路
を介してレジスタ６１の転送ライン６３にも接続される
から、制御器５８がリセットされると、端子９１によつ
て送られる信号もＢＣＤの形の更新されたＸａパルス出
力の標準片マガジンのソレノイドへの転送を開始させる
ためにも用いられる。そのためにソレノイドの１つが作
動されるから、ビーム通路中に動かされる標準片の総数
のＢＣＤ値はＸａカウンタ４８内の新しいＢＣＤカウン
ト値に等しい。したがつて、指示計の指針の新しい振れ
は、厚み設定機構３０と補償設定機構３２によつてプロ
グラムされた元の厚み値の１０％変化に対応する。この
後に行われる利得調整動作では、増幅器１８の利得が変
化されて仮定した１０％の厚み偏差レンジに対して、指
示計２０をフルスケールまで振らせる。パーセントＸａ
厚み制御器５８がリセットされると利得調整制御器６０
はセットされ、レンジ調整帰還ループ９９の動作が開始
され、その結果レンジ調整動作が開始される。前述した
ように、アナログ指示計の端子間電圧はアナログ−ディ
ジタル変換器６４によつてサンプリングされ、その大き
さに比例するディジタルカウントに変換される。

いま説明している調整動作では、変換器６４のディジタ
ル出力はディジタル減算回路９４に加えられる。この回
路の出力側はカウンタ６６の入力側に接続される。減算
回路９４は直列接続される４個の可逆２進カウンタを有
する。

これらのカウンタは利得調整制御器により導線９５に加
えられるリセット信号により、始めのスタートカウント
１０００にリセットできる。このリセット信号はアンド
ゲート９６の１つの入力側にも加えられて、このゲート
を開く。リセットされた減算回路９４には、変換器６４
を介し、指示計２０に示される実際に測定したカウント
出力と、指示計２０のフルスケール指示に対応する変換
器のフルスケールカウント出力との間の、カウントの差
を表わすディジタル出力を与えるように動作する。例え
ば、指示計２０の指針のフルスケールの振れに対応する
アナログ電圧の大きさに応答したとき、変換器６４は１
０００カウントの出力を与えるように構成したとする。
そして実際にはフルスケール指示の０．８に対応する８
００カウントを発生したものと仮定する。このような場
合には、回路９４には図示を省略した回路よりフルスケ
ールに対応する値１０００カウントが与えられ、これに
より実際の指示計２０の振れに対応する８００カウント
が減算されるため、これら２つのカウントの差すなわち
２００カウントに対応するパルス出力を発生する。これ
らの２００カウントはアナログ−ディジタル変換サイク
ルの間にカウンタ６６に直列に加えられる。各変換サイ
クルの終りに、変換器６４からのカウント転送信号が、
開かれているアンドゲート９６を介してレンジ調整記憶
レジスタ９８に加えられ、このレジスタを作動させる。
このレジスタは利得調整帰還ループ９９内に含まれる。
その結果、このレジスタはカウンタ６６から転送される
最終カウントを受けてそれを記憶する。このレジスタの
内容はディジタル−アナログ変換器１００に加えられる
。この変換器はレジスタ９８のディジタルカウントを、
大きさがそのディジタルカウントに比例するアナログ信
一号に変換する。このアナログ信号は増幅器１８に帰還
されて増幅器１８の利得を変更し、したがつて増幅器１
８の電圧出力を指示計２０の指針をフルスケールまで振
らせる向きと量だけ変化させる。ここで説明している例
では、増幅器１８の利）得は変換器６４が生する２００
カウントに対応する値だけ大きくされる。そのために変
換器６４の入力側に加えられるアナログ信号の大きさは
、利得増加に比例する量だけ大きくなる。よつて、次の
変換サイクルでは変換器６４のカウント出力はア７ナロ
グ入力信号の大きさの段階的な増加を反映し、変換器６
４の入力側すなわち指示計２０の入力端子間に加えられ
るアナログ入力のフルスケール値に対応するほぼ１００
０カウントの出力パルスカウントを発生する。減算回路
９４からのパルス出２力は零点検出回路の可逆パルスカ
ウンタ８０にも加えられる。零点検出回路は以下に述べ
るように動作して、指示計のフルスケール指示状態を検
出する。利得調整の間にアナログ指示計の振れにより、
回路９４からはカウンタ８０をあふれさせるのに要求さ
れる数（前の例では２０カウント）をこえるカウント出
力が生じ、それによつてカウンタ８２はリセットされる
。指示計２０がフルスケールの振れに近づいたり、また
は指示計２０の指示フルスケールの指示点を中心にして
振動したりすると、回路９４の出力、したがつてカウン
タ８０のカウントに加えられるカウント、またはそのカ
ウントから差し引かれるカウントはあふれ状態を起させ
るのには不十分であり、カウンタ８２は転送パルス信号
をカウントするように動作する。レンジ調整確認の動作
は零点調整確認について説明した動作と同じてある。リ
セット信号なしの所定の回数の調整サイクルの後で、カ
ウンタ８２からのあふれ信号が導線９７を介して利得調
整制御器６０に送られる。

この信号は制御器６０をリセットし、その結果この制御
器は導線９５にある電圧レベルを発生し、この電圧レベ
ルは減算回路９４をリセットしてゲート９６を閉じ、そ
れによつてレンジ調整動作を終らせる。この際スタート
校正制御器５２もリセットされる。減算回路９４がリセ
ットされかつゲート９６が閉じられたので、可逆カウン
タ６６には減算回路９４からのパルス出力が入力されず
、またそのカウント積算値がレンジ調整記憶レジスタ９
８にも転送されない。したがつて可逆カウンタ６６及び
レンジ調整記憶レジスタ９８はそのままの状態に保持さ
れる、すなわちカウント値が固定される。この固定され
たカウント値がディジタル−アナログ変換器１００によ
りアナログ信号に変換され、さらにフィードバックルー
プ９９を介して４可変利得増幅器に加えられ、その利得
が上記アナログ信号に対応する値に固定される。レンジ
調整動作が終ると、いまリセットされた校正制御器５２
からのアース電圧信号が、導線１０３を介して標準マガ
ジン１２の全てのソレノイ！ドに加えられる。

この電圧信号は全てのソレノイドを初期状態に復帰させ
、それにより全ての厚み標準片が放射線ビーム通路から
除去される。放射線ビームを遮断するように板状の材料
が厚み測定装置内に置かれると、その板状材料による４
放射線減衰は検出器１４によつて検出される。増幅器１
６，１８によりアナログ出力信号が処理されて指示計２
０に駆動電圧を与える。公称厚みの異なる被測定物のた
めに厚み測定測置を校正するために、補償設定器３２と
厚み設定器３０は百分率補償と希望する厚み値に再びプ
ログラムされる。

スタート押しボタン（図示せず）が再び押されるとライ
ン１０５に電圧が生じ、この電圧はスタート校正制御器
５２をセットする。セットされた制御器５２は遅延リセ
ット信号を発生し、この信号は導線１０４を介してＸカ
ウンタ４４とＸａカウンタ４８に加えられる。トリガ信
号が送られてＸ計数制御器５４をセットし、ｘ計ノ数動
作と、その他の校正動作を開始させる。上記実施例では
、レンジ調整動作の他、合金補償及び零点調整等の他の
校正も自動的にかつ一連の校正動作として行なつている
ので、校正作業の迅速性及び正確性がさらに向上してい
る。上記実施例では、零点調整動作の他、合金補償及び
レンジ調整等の他の校正も自動的にかつ一連の校正動作
として行なつているので、校正作業の迅速性及び正確性
がさらに向上している。

また、上記実施例の零点調整確認回路は、２つのカウン
タを用いて、アナログ・ディジタル変換器６４による変
換動作を所定回数行なつても該アナログ・ディジタル変
換器６４のディジタル出力の積算値がほぼ零であるとき
にのみ零点調整動作を停止するように構成している。

この構成は、零点調整の達成を高精度て確認できるので
好ましい。しかしながら、構成を簡略化するため、アナ
ログ・ディジタル変換器６４のディジタル出力のみをカ
ウントし、その積算値が所定範囲内、たとえば０〜２０
カウントになつたとき、零点調整動作を停止するように
構成することもできる。

また、アナログ・ディジタル変換器６４からの転送信号
をカウントすることにより、変換サイクルの回数を計数
し、この計数値が予め設定した値、たとえば４０カウン
トに達したときに、アナログ・ディジタル変換器６４の
テイジタル出力の積算値がほぼ零になつたとみなして、
レンジ調整動作を停止するように構成することもできる
。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明にしたがつて構成した厚み
測定装置の一実施例のブロック図、第３図は第１，２図
に示す回路を制御する制御回路のブロック図である。 １０・・・・・・放射線源、１２・・・・・・標準片マ
ガジン、１４・・・・・・放射線検出器、１８・・・・
・・可変利得増幅器、２０・・・・・・アナログ指示計
、３２・・・・・・補償設定機構、３４・・・・・・補
償符号機構、５６・・・・・・高電圧調整器、６８・・
・・・・零点調整記憶レジスタ、９８・・・・・・レン
ジ調整記憶レジスタ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 放射線源１０と、放射線経路に沿つて送られる放射
   線を検出しかつ放射線源から出る放射線のレベルに応答
   して放射線経路内の被測定物の厚さの偏差を指示する検
   出器１４と、所定厚みに対応する複数の校正標準片を前
   記放射線経路内に設定する標準片マガジン１２と、前記
   設定された標準片の厚さからの被測定物の厚さの偏差を
   指示するアナログ指示計２０と、前記放射線源の電圧を
   調整する電圧調整器１１と、所望の標準片群を前記放射
   線経路内に設定する校正モードにおいて前記放射線源を
   制御して前記アナログ指示計の実際の読みを零点位置に
   合わせる零点調節手段とを有する厚み測定装置において
   、前記零点調節手段が、前記アナログ指示計の実際の読
   みと零点位置との間の差を表わす第１アナログ信号を該
   アナログ信号の絶対値及び極性を表わすディジタル出力
   信号に変換するアナログ・ディジタル変換器６４と、前
   記アナログ・ディジタル変換器６４のディジタル出力値
   だけ前記アナログ指示計２０の指針のふれの極性に応じ
   て初期値から増減された値を表わすディジタル信号を発
   生するディジタル信号発生回路６６、６８と、前記ディ
   ジタル信号発生回路６６、６８のカウント出力を対応す
   る第２アナログ信号に変換するディジタル・アナログ変
   換器７０と、前記ディジタル・アナログ変換器７０から
   の第２のアナログ信号を前記放射線源電圧調整器１１に
   供給し、それにより前記放射線源の電圧を制御するフィ
   ードバックループ７１と、前記アナログ・ディジタル変
   換器６４のディジタル出力信号をカウントしてそのカウ
   ント値が所定範囲内に入つたとき零点調整確認信号を発
   生し、これにより電圧調整器１１の電圧を設定するのに
   対応した値に前記第２アナログ信号を設定する零点調整
   確認回路８０、とから成ることを特徴とする厚み測定装
   置。