JPS6056889A - 真空吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、複数個の真空吸着盤を有する真空吸着装置に
関する。

一般に、真空吸着装置は、圧力差を利用して被吸着物を
吸着・保持する手段であって、被吸着物（以下、これを
デバイスという。）は、金属はもちろん、合成樹脂・石
組・木材などその相貫に関係なく、また、形状も板状の
もの、缶状のもの、箱状のものなど重］に対しても必要
な吸着面積をもっているものであれば、ど゛んな形のも
のでも自由に吸着・保持できる。しかもみがかれたもの
を汚すことなく、吸着・保持できる特徴ある装置である
。

すなわち、この装置の一般的な構成は、１個の真空ポン
プに直列に設けられた真空タンクよりフレキシブルチュ
ーブを介して複数個の真空吸着盤を並設している。

例えば、第１１Ｗ（ａ）は、ＩＣフラットパッケージの
ような多数の均一な形状のデバイス（１）をトレイ（２
）の上に整然と配列した平面図であり、第１図（ｂ）は
第１図（ａｌのＸ　Ｍ−Ｉ　Ｘ横断面図であるが、多数
のデバイス（１）を配置したトレイ（２）より１列のデ
バイス（１）のみを吸着・保持する場合、第２図に示す
ように、トレイ（２）に配置されたデバイス（１）の配
置ピッチと同一ピッチで真空吸着盤（３）を単一の支持
構造体であるマニホールド（４）に１列に突設し、該マ
ニホールド１４）を装備する真空吸着装置（６）を、図
示していない駆動装置により、第１図（ｂ）のトレイ１
２）上に旋回移動し、真空吸着装置（６）の各真空吸着
盤（３）をトレイ（２）上の各デバイス（１）に降下さ
せて接峡させる。次いで真空チューブ（５）を介して、
真空吸着装置（６）と真空吸引装置（真空タンク）とを
連通し、各デバイス（１）を各真空吸着盤（３）で吸着
し、吊り上げ旋回し、デバイス（１）を所定位置へ移す
。次に、トレイ（２）を１列ピッチ移動し、前作動をく
り返えず。

この従来例の場合、各真空吸着盤１３）の分岐真空路（
７）は、マニホールド（４）の共通真空路（８）に直接
接続されているため、所定数のデバイスｆｉ＋のうち、
いくつかが欠落してトレイ（２）の上に所定数のデバイ
スが配置されていない場合、デバイス（１）の欠けた位
置の真空吸Ｍ盤（３）より、大気が入り、真空吸着装置
（６）の真空吸着を不安定にする問題があった。

例えば、ＩＣフラットパッケージのテスト・ハンドラー
用火空吸石装首においては、トレイ（２）に配置された
］列のデバイス（１）が１０個のうち、２個不足してい
ても残り８個を真空吸着することは可能であるが、１列
のデバイス１０個のうち３個以上不足した場合は、これ
ら３個の真空吸着盤より大気が入り、他の残りのデバイ
スを真空吸着することは不安定となる。殊１こ、ＩＣフ
ラットパッケージのＩＣテスト工程等においては、ＩＣ
テストの結果、良品、不良品、その他に分類するため、
供給側のトレ伺２）には必ずしもデバイス（１）が所定
数すべて配置されているとは限らず、いくつかのデバイ
ス（１）がトレイ（２）上に配置賀されていない場合が
必然的に＠発し、この場合には真空吸着装置はきわめて
不安定となり、デバイス落下による生産性が低下すると
いう問題があった。

更に、上記例のように各真空吸着盤（３）が共通真空路
（８）を形成するマニホールド（４）に突設していない
構造、例えば各真空吸着盤（３ンに真空チューブ（５）
が直接設けられている構造になっていても、各真空チュ
ーブ（５）は、１個の真空タンク及び真空ポンプに接続
されるのが通常であるので、デバイスを吸着しない真空
吸着盤が大気を流入させることになれば、真空タンクの
真空圧力を低下させ、真空吸着装置はやはり（Ｎ順性を
欠くことになる。

そのため、真空吸着盤より大気が流入し、他の真空吸着
盤の真空圧力が低下するような前記問題に対し、その対
策を従来より各捕提案されているか、いずれも満足する
ものではない。例えば、特公昭５４−３０５８５号公報
に紹介されている真空吸着装置では、各真空吸着盤と共
通真空部との間に、それぞれ電磁弁及び真空ゲージを取
りつけ、デバイスを吸着し吊り上げたとき、ある真空吸
着盤の真空圧力が異常に低下すれば、該真空吸着盤と係
合した電磁弁を閉塞し、他の真空吸着盤への影響を防ぎ
、安全な吊り上げ運搬を行うようにしている。この場合
、ＩＣフラットパッケージのような寸法の小さいデバイ
スを吊り上げる真空吸着装置においては、電磁弁や真空
ゲージを付設するスペースがなく、且つコストも高くな
るという問題が依然として伏在している。

そこで本発明は、従来技術の問題を解決するため創作さ
れたもので、すなわち、複数個配列されたデバイスのう
ち、いくつか不足の状態にあっても、残りのデバイスを
確実に吸着できる真空吸着装置であって、構造が簡易で
安価な＠置を提供しようとするものである。

以下、本発明の構成を添付図面に示す実施例にもとづき
詳細に説明する。

第３図は本発明の茅１の実施例を示し、真空吸着盤（３
）とマニホールド；４）内の共通真空路（８）とを接続
する分岐真空路（７）に逆止弁を設けたものである。

すなわち、この逆止弁は分岐真空路（７）の開口部であ
るシール部（１］）の外径より大なる外洋を育するテー
バ部（１０）が形成され、該テーバ部（１０）は該分岐
真空路（７）内をその連通方向に移動自在に配設されて
いる。譲テーバ部（１０）の先端部分にはデバイス（１
）の有無養判別する判別手段（この実施例においては当
接杆（９））が接合されて、前記テーバ部と一体化され
ている。該テーバ部ＧＯ＋の背部は常時、抑圧バネ（１
２）で付勢されている。該抑圧バネ（１２）のバネ力は
、真空作用によって分岐真空路（７）の断面積に大気の
押圧力がテーバ部００）に作用し、当接杆（９）を押上
げようとする力が働くが、この力より大きくし、且つデ
バイス（１）に対し当接杆（９）が当接したとき、その
反力てテーバ部（１０）が開口するような大きさにして
いる。尚、当接杆（９）が真空吸着盤（３）より突出し
た分の長さは、デバイス（１）の厚さより短かくしてい
る。（Ｉ３）はプラグてテーバ部（川）及び抑圧バネ（
１２）を内蔵し、マニホールド（４）に螺着している。

第１の実施例は以上のように権威しているので該真空吸
着装置（６）は、第１図（１〕）のデバイス（」）のう
ぢ、いくつかがトレイ（２）に配設されていない場合も
、他の残りのデバイス（１）に当接した当接杆（９）の
みが、当該デバイスで押され、デバイス（１）は真空吸
着盤（３）によって確実に真空吸着され、吊り上げられ
る。一方、デバイス（１）のない個所においては、当接
杆（９）は押上げられず、当該真空吸着盤（３）と共通
真空路（８）とは連通しないため、大気を吸い込むこと
はない。

なお、第３劇において、真空吸着盤（３）をゴム製にし
、当接杆（９）をテフロン（商品名）、シール部（１１
）及びマニホールド（４）を金属製としている。また、
シール部（１１）にゴム製のＱ　ＩＪソング付設すれは
、当接杆（９）は金属製にしてもよい。金駆製の当接杆
（９）のｊ易台、その自重が抑圧バネ（１２）の押圧力
を代用し、該バネを省略してもよい。

第゛４図１は第２の実施例を示し、第１の実施例の真空
吸Ｈａ＋３＋の代りにゴム製のＯリング（３）′を用い
、その中心で表面が突出するようにボール弁（１０＋’
を真突吸稲盤（３）内にｉ出入しており、シール部（Ｊ
ｌ）に該ボール弁ｆｉｌ）’が抑圧バネ（１２）により
当接している。したがってこの実施例においては、ｍ　
１の実施例における逆止弁と当接杆の機能をボール弁ｆ
１０１’か兼ねている。そして、Ｏリング（３）′も本
明細書では真空吸着盤と称する。

穿５図ＣＪ第３の実施例を示し、その構成は図面から明
らかであるので省略するが、第１の実施例の当接杆（９
）を真空吸着盤（３）の中心に設けず、並設している。

そのため、真空タンクに連通ずる共通真空路（８）に対
し、分岐真空路（７）は迂回している。

この場合゛、真空吸着盤（３）及び分岐真空路（７）の
容積が大となり、小形の真空吸着盤（３）が使用できる
が、マニホールド（４）はトレイ（２）に対し、常に平
行状態で降下する必要がある。（１４）は当接杆（９）
に用いたシール用の０リングを示す。

なお、以」二第１、第２及び第３の実施例において、デ
バイス（１）を落下させるには、マニホールド１４）内
の共通真空路（８）と図示しない真空ポンプとの間に電
磁弁を設り、該電磁弁を作動し、共通真空路（８）内を
大気に開放させると、デバイス（１）の自重、当接杆（
９）またはボール弁ａｏ＋’の自重及び押圧バネ（Ｉ２
）の力により、デバイス（１）は真空吸着盤（３）また
は１３）′より分１雛し治下する。

以上の説明の他に、マニホールドにおける真空吸着盤の
配列は１列に限らず、蝮数列の平面板であってもよく、
また、押圧バネの代りにテーバ部及びソール部に磁力を
持たせてもよい。

以上要するに本発明は、単一の支持遺体に複数の真空吸
着３・琳を列設し、該真空吸着盤に接続した頁空吸：ｔ
４　”Ｊ　Ｆ＝”により、前記真空吸着盤を介して、被
吸着物を吸着・保持するようにした真空吸着装（６にお
いて、真空吸引装置に連通ずる共通真空路き各具空吸眉
盤とを連通ずる各分岐真空路上に逆上弁を備えるととも
に、前記真空吸着盤の対向位ｆ＋Ｊｔに被成？）物があ
るか否かを判別する判別手段を備えてなり、被吸着物の
有無に応じて前記判別手段により選択的に目：、１記逆
上弁を開閉するようにしたことを特徴とする真空吸引装
置であるから次の効果を奏する。

■被吸着物と接触する真空吸着盤のみに１吸着作用が生
じ、そのため、吸着の応答性か早く、且つ、不要な大気
を吸入しない。

■真空吸ａ”ｉｆ＋’ｆが被吸着物と接触する直前に被
吸着物に当接する狛１別手段をセン→ｊ−一として逆圧
弁が開くので、真空吸着盤を多数配列しても、大型の装
置にならない。

■凹凸のある平面の板状物、またはプリント回路板のよ
うな多数の孔を有する平板を被吸着物としても、また、
個々の表面積か異なる多数の小片を流す生産ラインに用
いても、いすれも本真空吸着装置は適用でき汎用性を有
する。

■なお、マニホールドに外気を導入する弁を設ければ、
吸着解除時、判別手段か元に戻り、被吸着物は真空吸着
盤より敏速に離脱することができ、搬送時間を短縮する
ことができる。

■更に実施態様のようにずれは装置自体の構造を簡素と
することかでき、且つ、その製造コストを低く抑えるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

んも１図（ａ）は一般のトレイの平面図、（ｂ）はｆａ
）のＸ〜Ｘ断面図、第２図は従来の真空吸引装置の一部
切断要部図、第３図は本発明の第１の実施例の要部断面
図、第４図は同第２の実施例の要部断面図、第５図は同
第３の実施例の要部断面図を示す。 １・・・デバイス、３・・・真空吸着盤、４・・・マニ
ホールド、９・・・係合杆。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）単一の支持構体に複数の真空吸着盤を列設し、該
   真空吸着盤に接続した真空吸引装置により、前記真空吸
   着盤を介して、被吸着物を吸着・保持するようにした真
   空吸着装置におい゛て、真空吸引装置に連通する共通真
   空路と各真空吸着盤とを連通ずる各分岐真空路上に逆出
   弁を備えるとともに、前記真空吸着盤の対向位置に被吸
   着物があるか否かを判別する判別手段を備えてなり、被
   吸着物の刊゛釦に応じて前記判別手段により選択的に前
   記逆止弁を開閉するようにしたことを特徴とする真空吸
   着装置”。 １２）　’Ｍｌ記逆正逆止弁岐真空路を閉塞するに足る
   外径を有するテーバ部からなり、該テーバ部の移動によ
   って真空吸着盤と共通真望路との連通を開閉するように
   した特許請求の範囲第１項に記載の真空吸引装置。 （３）　前記判別手段は真空吸着盤の先端位置から突出
   した突出方向に移動自在の当接部材よりなり、前記当接
   部材が被吸着物と当接したとき、前記逆比弁を開くよう
   にした特許請求の範囲第１項に記載の真空吸着装置。 （４）前記逆止弁及び当接部材は、分岐真空路を閉塞す
   るに足るテーバ部の端部に真空吸着盤の先端位置から突
   出した突出方向に移動自在の当接杆を接合することによ
   って一体化されてなる特許請求の範囲第１項ないし第３
   項のいずれかに記載の真空吸着装置。 （５）前記逆比弁は、分岐真空路を閉塞するに足る外径
   を有するボール体からなり、該ボール体の移動によって
   真空吸着盤の基部を開閉するようにした特許請求の範囲
   第１項に記載の真空吸着装置。 （６）前記逆止弁及び当接部材は、分岐真空路を閉塞す
   るに足る外径を有するとともに真空吸着盤の先端位置か
   ら突出した突出方向に移動自在のボール体である特許請
   求の範囲第１項、第３項又は第５項記載の真空吸着装置
   。