JPS6058416B2 - 光透過度の測定法 - Google Patents
光透過度の測定法Info
- Publication number
- JPS6058416B2 JPS6058416B2 JP55026485A JP2648580A JPS6058416B2 JP S6058416 B2 JPS6058416 B2 JP S6058416B2 JP 55026485 A JP55026485 A JP 55026485A JP 2648580 A JP2648580 A JP 2648580A JP S6058416 B2 JPS6058416 B2 JP S6058416B2
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- Japan
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- light
- light source
- photodetector
- output
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/86—Investigating moving sheets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は一連の分離開孔パタンを持つ連続薄板の光透
過度を測定する方法に関する。
過度を測定する方法に関する。
カラーテレビ映像管に用いられているような多孔マスク
を製造する場合は、ロール巻きの金属薄板にホトレジス
ト材料を被着した後露光して一連のマスクパタンを形成
し、さらにこのロール巻きンを形成する開孔を穿け、こ
のエッチング終了後この多孔マスクパタンを検査して所
要レベルの透過度が得られているか否かを判定する。
を製造する場合は、ロール巻きの金属薄板にホトレジス
ト材料を被着した後露光して一連のマスクパタンを形成
し、さらにこのロール巻きンを形成する開孔を穿け、こ
のエッチング終了後この多孔マスクパタンを検査して所
要レベルの透過度が得られているか否かを判定する。
従来法においてもこの光透過度検査法は種々のものが提
案されているが、使用されている主な方法は開孔パタン
の一側に光源を置き、他側に光感知器を置くものである
。この光透過度検査をエッチング工程で金属薄板から各
マスクを切離す前に行うときは、光透過度を精密に測定
するために測定装置の全成分を一定に保つ必要がある。
しかしこの装置の各成分には種々の因子が影響して時間
と共に光透過度の測定精度が変化する。この因子には光
源、光感知器、電子回路の経年変化および環境依存変化
が含まれる。従つてこのような変化を自動的に補償する
ことのてきる先送過度測定法を提供することが望ましい
。この発明によれば薄板の一側に光源を置き、他側に光
感知器を置くが、その特徴として光源からの光の一部を
、連続的に、薄板を迂回して光感知器に導いてその迂回
光に応じた出力を取出し、一方光源と光感知器の間に薄
板が介在しないときの光感知器の出力を求め、両出力の
比に相当する値を較正常数として使用する。
案されているが、使用されている主な方法は開孔パタン
の一側に光源を置き、他側に光感知器を置くものである
。この光透過度検査をエッチング工程で金属薄板から各
マスクを切離す前に行うときは、光透過度を精密に測定
するために測定装置の全成分を一定に保つ必要がある。
しかしこの装置の各成分には種々の因子が影響して時間
と共に光透過度の測定精度が変化する。この因子には光
源、光感知器、電子回路の経年変化および環境依存変化
が含まれる。従つてこのような変化を自動的に補償する
ことのてきる先送過度測定法を提供することが望ましい
。この発明によれば薄板の一側に光源を置き、他側に光
感知器を置くが、その特徴として光源からの光の一部を
、連続的に、薄板を迂回して光感知器に導いてその迂回
光に応じた出力を取出し、一方光源と光感知器の間に薄
板が介在しないときの光感知器の出力を求め、両出力の
比に相当する値を較正常数として使用する。
具体的には、光源を光感知器の間に薄板の開孔パタンが
存在しないとこの光感知器の出力と、上記両者間に開孔
パタンが存在するときの光感知器の出力とをそれぞれ測
定し、この両測定値の差を求め、次にこの差を最初の測
定値て除して規準化した値を算出し、続いてこの規準化
値に上記較正常数を乗じ、その乗算結果として光透過度
を求める。次に添付図面を参照しつつこの発明をさらに
詳細に説明する。
存在しないとこの光感知器の出力と、上記両者間に開孔
パタンが存在するときの光感知器の出力とをそれぞれ測
定し、この両測定値の差を求め、次にこの差を最初の測
定値て除して規準化した値を算出し、続いてこの規準化
値に上記較正常数を乗じ、その乗算結果として光透過度
を求める。次に添付図面を参照しつつこの発明をさらに
詳細に説明する。
図示の装置は図示のように発光ダイオード等の光源１２
と、光電池のような対向光惑知器１４とを有し、この光
源１２と感知器１４との間に一連合分離開孔パタンを持
つ連続金属薄板１６が置かれている。
と、光電池のような対向光惑知器１４とを有し、この光
源１２と感知器１４との間に一連合分離開孔パタンを持
つ連続金属薄板１６が置かれている。
図には光源１２から薄板１６上の１つの開孔パタンに向
つて投射される光源の輪部１８が示され、光源１２の僅
か下方にはシャッタ２０が引込んだ位置にあるように示
されている。このシャッタ２０は装置の較正時に使用さ
れる。また図示のように一端を光線輪部１８の内側に、
他端を光感知器１４の能動部分に向けた光学繊維導光管
２２が配置され、光源１２から投射された光の一部を薄
板１６を迂回して惑知器１４に導くようになつている。
装置は最初薄板１６を用いずに較正される。
つて投射される光源の輪部１８が示され、光源１２の僅
か下方にはシャッタ２０が引込んだ位置にあるように示
されている。このシャッタ２０は装置の較正時に使用さ
れる。また図示のように一端を光線輪部１８の内側に、
他端を光感知器１４の能動部分に向けた光学繊維導光管
２２が配置され、光源１２から投射された光の一部を薄
板１６を迂回して惑知器１４に導くようになつている。
装置は最初薄板１６を用いずに較正される。
まずシャッタ２０を回転して光源からの光線の光学繊維
導光管２２に入るもの以外の全部を阻止した後、光惑知
器１４の出力を記録する。次にシヤツータを引込めて薄
板１６のない状態で光感知器１４を光源１２に完全に露
光し、このときの惑知器の出力て光で導光管２２だけを
通過したときの惑知器出力を割つて光導管２２のみによ
る露光量の全感知器露光量に対する比を求る。この比す
なわち．一較正常数Ｋは最終段において光透過度の較正
に用いられる。一旦装置が較正されると、光源１２と惑
知器１４との間に薄板１６を挿入することができる。
導光管２２に入るもの以外の全部を阻止した後、光惑知
器１４の出力を記録する。次にシヤツータを引込めて薄
板１６のない状態で光感知器１４を光源１２に完全に露
光し、このときの惑知器の出力て光で導光管２２だけを
通過したときの惑知器出力を割つて光導管２２のみによ
る露光量の全感知器露光量に対する比を求る。この比す
なわち．一較正常数Ｋは最終段において光透過度の較正
に用いられる。一旦装置が較正されると、光源１２と惑
知器１４との間に薄板１６を挿入することができる。
光源１２と感知器１４との間に開孔パタン相互間のこ部
分のように開孔パタンのない部分が来たときは、薄板１
６が導光管２２を通る光の一部を除くすべての光の光源
１２から感知器１４への伝送を遮断し、この状態に対す
る惑知器出力ＦＯＬが抽出保持ユニット２４に供給され
、さらに双投スイＺツチ２８を介して蓄積ユニット２６
に供給される。装置の全成分が一定ならこの出力ＦＯＬ
は較正の段階において導光管による伝送によつて得られ
た出力に等しい。薄板１６が移動すると光源１２感知器
１４との間に開孔パタンが来て、光線１８の何パーセン
トかがパタンの開孔を通過する。このときの感知器の出
力ＦＯＬ＋ＭＴＬは導光管２２を通つて迂回した光と開
孔パタンを通過した光との関数である。この出力もまた
抽出保持ユニット２４を通るが、次にスイッチ２８が図
示の点線位置に切換えられることにより第２の蓄積ユニ
ット３０に供給される。この点で開孔パタンの光透過度
を決定するにｊ充分な情報が得られる。ユニット２６，
３０に蓄積された２つの出力ＦＯＬ，ＦＯＬ＋ＭＴＬは
減算ユニット３２に供給されて、出力ＦＯＬ＋ＭＴＬか
ら出力ＦＯＬが減算され、純粋にパターンの光透過量を
示す信号が得られる。
分のように開孔パタンのない部分が来たときは、薄板１
６が導光管２２を通る光の一部を除くすべての光の光源
１２から感知器１４への伝送を遮断し、この状態に対す
る惑知器出力ＦＯＬが抽出保持ユニット２４に供給され
、さらに双投スイＺツチ２８を介して蓄積ユニット２６
に供給される。装置の全成分が一定ならこの出力ＦＯＬ
は較正の段階において導光管による伝送によつて得られ
た出力に等しい。薄板１６が移動すると光源１２感知器
１４との間に開孔パタンが来て、光線１８の何パーセン
トかがパタンの開孔を通過する。このときの感知器の出
力ＦＯＬ＋ＭＴＬは導光管２２を通つて迂回した光と開
孔パタンを通過した光との関数である。この出力もまた
抽出保持ユニット２４を通るが、次にスイッチ２８が図
示の点線位置に切換えられることにより第２の蓄積ユニ
ット３０に供給される。この点で開孔パタンの光透過度
を決定するにｊ充分な情報が得られる。ユニット２６，
３０に蓄積された２つの出力ＦＯＬ，ＦＯＬ＋ＭＴＬは
減算ユニット３２に供給されて、出力ＦＯＬ＋ＭＴＬか
ら出力ＦＯＬが減算され、純粋にパターンの光透過量を
示す信号が得られる。
この信号が他のユニット３４において出力ＦＯＬで除算
される。この除算段階においてパタンに関係する透過量
が規準化され、これによつて装置成分の変化に起因する
精度不良が事実上除去される。このユニット３４の出力
はさらに他のユニット３６に供給され、最初の較正常数
Ｋを乗することにより試験対象のパタンの光透過度Ｔが
得られる。この発明の方法によれば金属薄板材料のロー
ル全長に亘つて較正が４０％変化しても一定の結果が得
られる状況を次の例によつて示す。
される。この除算段階においてパタンに関係する透過量
が規準化され、これによつて装置成分の変化に起因する
精度不良が事実上除去される。このユニット３４の出力
はさらに他のユニット３６に供給され、最初の較正常数
Ｋを乗することにより試験対象のパタンの光透過度Ｔが
得られる。この発明の方法によれば金属薄板材料のロー
ル全長に亘つて較正が４０％変化しても一定の結果が得
られる状況を次の例によつて示す。
従つて上記例から、装置成分の変化に拘らず、この方法
により常に正確な透過度が生成されることが判る。
により常に正確な透過度が生成されることが判る。
上述のこの発明の方法を実施するための電子部品は当業
者に公知であるからこれ以上説明しない。
者に公知であるからこれ以上説明しない。
さらにこの方法に必要な計算は容易に筆算で行い得るこ
とも注意すべきである。＜図面の簡単な説明 図はこの発明による光透過度測定方式の略図人種々の電
子部品の機能をブロック形式で示卜。
とも注意すべきである。＜図面の簡単な説明 図はこの発明による光透過度測定方式の略図人種々の電
子部品の機能をブロック形式で示卜。
１２・・・・光源、１４・・・・・・光感知器、１６・
・・・・・薄！、１８・・・・・・光、２２・・・・光
学繊維導光管（迂回各）。
・・・・・薄！、１８・・・・・・光、２２・・・・光
学繊維導光管（迂回各）。
Claims (1)
- １ 一連の分離された開孔パタンを持つ連続薄板の光透
過度を測定する場合、その薄板の一方側に光源を置き、
他方の側に光感知器を置き、上記光源からの光の一部を
連続的に上記基板を迂回して上記光感知器に導き、上記
光源と光感知器との間に開孔パタンが存在しないときの
光感知器出力を測定し、上記光源と光感知器との間に開
孔パタンが存在するときの光感知器出力を測定し、上記
光感知器出力の最初の測定値を２回目の測定値から差引
いてその差出力を取出し、この差出力を上記最初の測定
値で除算して規準化された値を算出し、次に光源と光感
知器との間に薄板が存在しないときの光感知器出力に対
する上記迂回光のみによる光感知器出力の比に等しい常
数を上記規準化された値に乗じ、この乗算結果として上
記開孔パタンの光透過度を測定する方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/018,909 US4289406A (en) | 1979-03-09 | 1979-03-09 | Light transmission measurement method |
| US18909 | 1979-03-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55121131A JPS55121131A (en) | 1980-09-18 |
| JPS6058416B2 true JPS6058416B2 (ja) | 1985-12-19 |
Family
ID=21790378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55026485A Expired JPS6058416B2 (ja) | 1979-03-09 | 1980-03-03 | 光透過度の測定法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4289406A (ja) |
| JP (1) | JPS6058416B2 (ja) |
| FI (1) | FI70749C (ja) |
| SU (1) | SU1327801A3 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5848563A (ja) * | 1981-09-18 | 1983-03-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像読取系における検出装置 |
| US4400233A (en) * | 1982-11-12 | 1983-08-23 | Rca Corporation | System and method for controlling an etch line |
| JPS59107242A (ja) * | 1982-12-11 | 1984-06-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | フイルムの黒化量測定装置 |
| US4556902A (en) * | 1984-01-19 | 1985-12-03 | Rca Corporation | System and method for measuring the area and dimensions of apertures in an opaque medium |
| US4662757A (en) * | 1984-05-18 | 1987-05-05 | Rca Corporation | Motion tracking system and method |
| US4641256A (en) * | 1984-12-04 | 1987-02-03 | Rca Corporation | System and method for measuring energy transmission through a moving aperture pattern |
| GB9014407D0 (en) * | 1990-06-28 | 1990-08-22 | Ncr Co | Document sensing apparatus |
| DE4130677C2 (de) * | 1991-09-14 | 1995-11-23 | Roland Man Druckmasch | Vorrichtung zur lichtelektrischen Überwachung des Laufes von Bahnen in Rotationsdruckmaschinen |
| US5625196A (en) * | 1995-05-30 | 1997-04-29 | Abb Industrial Systems, Inc. | Method and apparatus for monitoring/calibrating a process measuring system |
| US7411603B2 (en) * | 2005-03-29 | 2008-08-12 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Light guide |
| GB2560299B (en) | 2017-02-01 | 2021-07-07 | Nicoventures Trading Ltd | Heating element and method of analysing |
| GB201701633D0 (en) | 2017-02-01 | 2017-03-15 | Nicoventures Holdings Ltd | Heating element selection method |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1939034C2 (de) * | 1969-07-31 | 1971-01-28 | Bio Cal Instr Gmbh | Photometer zum Durchfuehren von Messungen bei unterschiedlichen Wellenlaengen |
| DE2211073A1 (de) * | 1972-03-08 | 1973-09-13 | Bosch Gmbh Robert | Truebungsmessgeraet |
| US3808067A (en) * | 1972-11-24 | 1974-04-30 | Western Electric Co | Method of controlling an etching process |
| US4099607A (en) * | 1977-02-04 | 1978-07-11 | Gte Sylvania Incorporated | Aperture mask conveyor and inspection system |
| US4126510A (en) * | 1977-10-06 | 1978-11-21 | Rca Corporation | Etching a succession of articles from a strip of sheet metal |
-
1979
- 1979-03-09 US US06/018,909 patent/US4289406A/en not_active Expired - Lifetime
-
1980
- 1980-03-03 FI FI800645A patent/FI70749C/fi not_active IP Right Cessation
- 1980-03-03 JP JP55026485A patent/JPS6058416B2/ja not_active Expired
- 1980-03-07 SU SU802894293A patent/SU1327801A3/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55121131A (en) | 1980-09-18 |
| FI70749C (fi) | 1986-10-06 |
| FI800645A7 (fi) | 1980-09-10 |
| SU1327801A3 (ru) | 1987-07-30 |
| FI70749B (fi) | 1986-06-26 |
| US4289406A (en) | 1981-09-15 |
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