JPS6059536U - チヤツキング・テ−ブル - Google Patents

チヤツキング・テ−ブル

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Publication number
JPS6059536U
JPS6059536U JP15032283U JP15032283U JPS6059536U JP S6059536 U JPS6059536 U JP S6059536U JP 15032283 U JP15032283 U JP 15032283U JP 15032283 U JP15032283 U JP 15032283U JP S6059536 U JPS6059536 U JP S6059536U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chatting
chucking
vacuum hole
wafer
porous metal
Prior art date
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Pending
Application number
JP15032283U
Other languages
English (en)
Inventor
勝義 山本
飛田　英喜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP15032283U priority Critical patent/JPS6059536U/ja
Publication of JPS6059536U publication Critical patent/JPS6059536U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来技術のウェハ固定を説明する図、第２図は
本考案の一実施例のチャッキング・テーブルの一部切欠
き斜視図、第３図は第２図示のチャッキング・テーブル
の要部断面図、第４図及び第５図はウェハに臂開誘導溝
を形成したところを示す図である。 １０・・・バキューム穴、１１・・・テーブル、１２・
・・ウェハ・ホルダ、１３・・・多孔質金属、１４・・
・半導体ウェハ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウェハを吸引固定するチャッキング・テーブルで
    あって、バキューム穴を有するテーブルと、このテーブ
    ル上に載置され前記バキューム穴に対応する部分に多孔
    質金属を有するウェハ・ホルダとを具備することを特徴
    とするチャッキングΦテーブル。
JP15032283U 1983-09-30 1983-09-30 チヤツキング・テ−ブル Pending JPS6059536U (ja)

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JP15032283U JPS6059536U (ja) 1983-09-30 1983-09-30 チヤツキング・テ−ブル

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JP15032283U JPS6059536U (ja) 1983-09-30 1983-09-30 チヤツキング・テ−ブル

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JPS6059536U true JPS6059536U (ja) 1985-04-25

Family

ID=30333438

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15032283U Pending JPS6059536U (ja) 1983-09-30 1983-09-30 チヤツキング・テ−ブル

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