JPS6059801U - サ−ボバルブ - Google Patents

サ−ボバルブ

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JPS6059801U
JPS6059801U JP15270683U JP15270683U JPS6059801U JP S6059801 U JPS6059801 U JP S6059801U JP 15270683 U JP15270683 U JP 15270683U JP 15270683 U JP15270683 U JP 15270683U JP S6059801 U JPS6059801 U JP S6059801U
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JP
Japan
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micro
oscillating member
servo valve
diaphragm
opening
Prior art date
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JP15270683U
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English (en)
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JPH0224963Y2 (ja
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中務　栄治
英文 斎藤
三郎 佐々木
末藤　敏一
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Shimadzu Corp
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Shimadzu Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示し、第１図は、正断面図、
第２図は平面図、第３図は第１図における■−■線断面
図、第４図は第１図におけるＡ部を示す拡大図である。 １・・・・・・微小揺動部材（フラッパ）、２・・・・
・・開口部、・５・・・・・・ボディ、６・・・・・・
電磁アクチュエータ、７・・・・・・ダイヤフラム、８
・・・・・・ヒンジ点、９・・・・・・先端部材、１０
・・・・・・基端部材、１１・・・・・・ボルト部、１
２・・・・・・ねじ穴部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 先端部の偏位により流体の圧力変化を惹起させるフラッ
    パあるいはジェットパイプ等の微小揺動部材と、この微
    小揺動部材の先端部が挿入される開口部を有し内部に前
    記流体が存在するボディと、このボディの開口端に装着
    され前記微小揺動部材を偏位させる電磁アクチュエータ
    と、前記ボディの開口部を密閉するダイヤフラムとを具
    備してなり、このダイヤフラムに前記微小揺動部材を嵌
    通支持させてその支持部を該微小揺動部材のヒンジ点と
    したことを特徴とするサーボバルブ。
JP15270683U 1983-09-30 1983-09-30 サ−ボバルブ Granted JPS6059801U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15270683U JPS6059801U (ja) 1983-09-30 1983-09-30 サ−ボバルブ

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15270683U JPS6059801U (ja) 1983-09-30 1983-09-30 サ−ボバルブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6059801U true JPS6059801U (ja) 1985-04-25
JPH0224963Y2 JPH0224963Y2 (ja) 1990-07-10

Family

ID=30338057

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15270683U Granted JPS6059801U (ja) 1983-09-30 1983-09-30 サ−ボバルブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6059801U (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4725005U (ja) * 1971-04-10 1972-11-21
JPS4934228U (ja) * 1972-06-28 1974-03-26
JPS57137704U (ja) * 1981-02-25 1982-08-28

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4725005U (ja) * 1971-04-10 1972-11-21
JPS4934228U (ja) * 1972-06-28 1974-03-26
JPS57137704U (ja) * 1981-02-25 1982-08-28

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Publication number Publication date
JPH0224963Y2 (ja) 1990-07-10

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