JPS6060553A - ガス中の複数の微量成分の検出方法および検出装置 - Google Patents
ガス中の複数の微量成分の検出方法および検出装置Info
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- JPS6060553A JPS6060553A JP17031184A JP17031184A JPS6060553A JP S6060553 A JPS6060553 A JP S6060553A JP 17031184 A JP17031184 A JP 17031184A JP 17031184 A JP17031184 A JP 17031184A JP S6060553 A JPS6060553 A JP S6060553A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
- G01N27/64—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode using wave or particle radiation to ionise a gas, e.g. in an ionisation chamber
- G01N27/66—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode using wave or particle radiation to ionise a gas, e.g. in an ionisation chamber and measuring current or voltage
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- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はイオンの検出分野に係り、更忙詳しくは、空気
を含むキャリアガス中に低濃度で存在するガス状の不純
物や蒸気を検出するための装置ならびに方法に関する。
を含むキャリアガス中に低濃度で存在するガス状の不純
物や蒸気を検出するための装置ならびに方法に関する。
大気中の微量のガスや蒸気の検出ならびに同定のために
は高感度の特殊彦技術が要る。かかる技術の例としては
、質重分析計、イオン移動度分析計およびイオン拡散技
術がある。これらの技術にとっては、微量成分は検出の
ためにイオン化ないし桧合イオンに形成されることを要
する。これらの環境において用いられる一つの装置は、
米国特許第３，８３５．３２８号にみられるイオン化検
出セルである。
は高感度の特殊彦技術が要る。かかる技術の例としては
、質重分析計、イオン移動度分析計およびイオン拡散技
術がある。これらの技術にとっては、微量成分は検出の
ためにイオン化ないし桧合イオンに形成されることを要
する。これらの環境において用いられる一つの装置は、
米国特許第３，８３５．３２８号にみられるイオン化検
出セルである。
ある種の微量成分は大気圧では容易にイオン化（電離）
せず、特に、水蒸気が存在するとそうであることそして
これらの物質の測定装置の感度は低いことが知られてい
る。このことは、ある程度この取シ扱い難い成分を、よ
シ容易にイオン化する酸化物の如き形態の物に変換する
ことにより改善し得るし、また、このことはオゾンのよ
うな反応性ガスの適切な混合物によって為すことができ
る。しかしながら、この方法は特定の微量成分に関し、
所望の結果を得るに十分な濃度の反応性ガスを用いると
、このガスは、他の微量成分を部分的に分解してしまい
、その結果これら他の微量成分に対する装置の感度が現
実に下がってし１うという欠点を有する。
せず、特に、水蒸気が存在するとそうであることそして
これらの物質の測定装置の感度は低いことが知られてい
る。このことは、ある程度この取シ扱い難い成分を、よ
シ容易にイオン化する酸化物の如き形態の物に変換する
ことにより改善し得るし、また、このことはオゾンのよ
うな反応性ガスの適切な混合物によって為すことができ
る。しかしながら、この方法は特定の微量成分に関し、
所望の結果を得るに十分な濃度の反応性ガスを用いると
、このガスは、他の微量成分を部分的に分解してしまい
、その結果これら他の微量成分に対する装置の感度が現
実に下がってし１うという欠点を有する。
本発明はサンプルガスにオゾンを間欠的に渭７合する装
置からなり、ある期間にわたって、種々の成分に対する
装置の感度は改善され、それにより、種々の成分の最適
な検出を交番に得るものである。
置からなり、ある期間にわたって、種々の成分に対する
装置の感度は改善され、それにより、種々の成分の最適
な検出を交番に得るものである。
本発明の目的および効果等の理解を容易にするために図
面に示した好個な実施し１１について、以下、詳細に説
明する。
面に示した好個な実施し１１について、以下、詳細に説
明する。
第１図は５本発明の一実施例である好イ［６１な装置を
示す。図において、１０は、ポンプ１２によって吸引さ
れるサンプルガスが通る検出器１１を含む装置である。
示す。図において、１０は、ポンプ１２によって吸引さ
れるサンプルガスが通る検出器１１を含む装置である。
検出器１１は、例えば、質鼠分析計、ガスクロマトグラ
フィ、イオン移動度分析舊−１またはイオン拡散技術に
基づいて動作するもので、適した電源１３から給電を受
け、力・つ、微量成分をイオン化する装置を含む。
フィ、イオン移動度分析舊−１またはイオン拡散技術に
基づいて動作するもので、適した電源１３から給電を受
け、力・つ、微量成分をイオン化する装置を含む。
サンプルガスば、コロナ管１４として示す反応性ガス源
を経て検出器１１に吸引される。そして、このコロナ管
１４はガス中の酸素の一部をオゾンすなわち、その反応
性物質に変換する。コロナ管１４０機能は検出器１１の
イオン化機能を置換するためにあるのではなく、微量ガ
ス成分と結合させるためにオゾンを伊給することだけに
ある。そしてこれによシ、水蒸気が存在しても非常に容
易にイオンを帯びるスルホキシドやスルホンのような物
質を作るのである。
を経て検出器１１に吸引される。そして、このコロナ管
１４はガス中の酸素の一部をオゾンすなわち、その反応
性物質に変換する。コロナ管１４０機能は検出器１１の
イオン化機能を置換するためにあるのではなく、微量ガ
ス成分と結合させるためにオゾンを伊給することだけに
ある。そしてこれによシ、水蒸気が存在しても非常に容
易にイオンを帯びるスルホキシドやスルホンのような物
質を作るのである。
コロナ管１４は電源１５によって付勢される。
電源１６から電力が高圧電源１７に与えられ５次に、高
圧電源１７けカレントモニタ２０を経てコロナ管１４を
付勢する。比較器２１は、カレントモニタ２０とカレン
トレファレンス２２とかう信号を受ケる。カレントレフ
ァレンス２２はタイマ２３から信号を受ける。
圧電源１７けカレントモニタ２０を経てコロナ管１４を
付勢する。比較器２１は、カレントモニタ２０とカレン
トレファレンス２２とかう信号を受ケる。カレントレフ
ァレンス２２はタイマ２３から信号を受ける。
上述の構成によりコロナ管１４は第１の期間にはオゾン
を発生させるのに十分な駆動電圧を受けるが第２の期間
には、オゾンを発生させるには不十分な電圧を受ける。
を発生させるのに十分な駆動電圧を受けるが第２の期間
には、オゾンを発生させるには不十分な電圧を受ける。
この第１および第２の期間は必要に応じその長さを可変
してもよい７５；望ましくは等しい期間である。
してもよい７５；望ましくは等しい期間である。
ポンプ１２は連続して動作するので、検出器１１にはサ
ンプルガスが供給される。し力・し１サンプルガスは第
１の期間にはオゾンを含む力＝第２の期間にはオゾンを
含まない。この第１の期間においては、２−クロロエチ
ルサルファイドのような微量ガスに対する検出器１１の
感度は増大する７５＝ジメチルメチルホスホネート（ｄ
ｔｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈｙｌｐｈｏ −５ｐｈｏｎａ
ｔｅ ）のようなガスに対する感度は減、Ｊ＼する。
ンプルガスが供給される。し力・し１サンプルガスは第
１の期間にはオゾンを含む力＝第２の期間にはオゾンを
含まない。この第１の期間においては、２−クロロエチ
ルサルファイドのような微量ガスに対する検出器１１の
感度は増大する７５＝ジメチルメチルホスホネート（ｄ
ｔｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈｙｌｐｈｏ −５ｐｈｏｎａ
ｔｅ ）のようなガスに対する感度は減、Ｊ＼する。
他方、第２の期間においては、ジメチルメチルホスホネ
ートに対する検出器の感度は回復するカニ、２−クロル
エチルサルファイドに対する感度は減小する。十分な期
間にわたって検出器１１はこのように両方の微量成分に
対して良好な感度で動作する。
ートに対する検出器の感度は回復するカニ、２−クロル
エチルサルファイドに対する感度は減小する。十分な期
間にわたって検出器１１はこのように両方の微量成分に
対して良好な感度で動作する。
上述の説明から明らかなように本発明はイオン化に：り
複数の微量ガスに対する検出器の感度を上げるための装
置ならびに方法からなるもので。
複数の微量ガスに対する検出器の感度を上げるための装
置ならびに方法からなるもので。
微量成分のイオン化を間欠的に増大せしめるべくオゾン
の如き反応性ガスを間欠的に混合させる。
の如き反応性ガスを間欠的に混合させる。
上述したように本発明によれば、オゾンの如き反応性ガ
スをサンプルガスに間欠的に混合してイオン化すること
により、複数の微にガスの検出感度を上げる装置ならび
に方法が実現できる。
スをサンプルガスに間欠的に混合してイオン化すること
により、複数の微にガスの検出感度を上げる装置ならび
に方法が実現できる。
なお、ここに示した実施例装置は説明のためのもので、
細部の変更、例えば、各部分の形状、サイズならびに配
列については、本発明の範囲内で変更可能であるので、
この実施例に限定されない。
細部の変更、例えば、各部分の形状、サイズならびに配
列については、本発明の範囲内で変更可能であるので、
この実施例に限定されない。
第１図は、本発明の一実施例を示す好個な装置である。
１１：検出器、１２；ポンプ、１４：コロナ管。
１５：電源、１７：高圧電源。
２０：カレントモニタ、２１：比較器。
Claims (6)
- （１） ガス中の複数の微量成分を容易にイオンを帯び
るように間欠的に酸化せしめるステップを含むガス中の
複数の微量成分の検出方法。 - （２）間欠的に酸化せしめるステップはガスに反応性ガ
スを間欠的に混合せしめるステップであることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載のガス中の微量成分の
検出方法。 - （３） ガス中の複数の微量元素を検出するためのイオ
ン化検出器と。 前記検出器に前記ガスを流す手段と。 前記検出器に流れ込む前に前記微量元素を間欠的に、容
易にイオン化される形態に転換する手段とからなるガス
中の複数の微量成分検出装置。 - （４）微量元素を間欠的に容易にイオン化される形態に
転換する手段はガスに反応性ガスを間欠的に加える手段
であることを特徴とする特許請求の範囲第３項に記載の
ガス中の複数の微１成分検出装曾。 - （５）反応性ガスはオゾンであることを特徴とする特許
請求の範囲第４項に記載のガス中の複数の微量成分検出
装置。 - （６）微量元素を間欠的に容易にイオン化されやすい形
態に転換する手段はオゾン間欠発生器であり、ガスを流
す手段はガスをこの間欠オゾン発生器を経てのち、検出
器に流すことを特徴とする特許請求の範囲第３項せたは
第４項に記載のガス中の複数の微量成分検出装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US52347883A | 1983-08-15 | 1983-08-15 | |
| US523478 | 1983-08-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6060553A true JPS6060553A (ja) | 1985-04-08 |
Family
ID=24085196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17031184A Pending JPS6060553A (ja) | 1983-08-15 | 1984-08-15 | ガス中の複数の微量成分の検出方法および検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0135135A3 (ja) |
| JP (1) | JPS6060553A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0256163A1 (de) * | 1983-05-03 | 1988-02-24 | Drägerwerk Aktiengesellschaft | Verfahren zum Nachweis phosphorhaltiger Substanzen in Luft |
| GB2175399B (en) * | 1985-05-20 | 1989-10-11 | Us Energy | Selective chemical detection by energy modulation of sensors |
| WO1987001204A1 (en) * | 1985-08-15 | 1987-02-26 | Global Geochemistry Corporation | Chemical analysis by controlled sample modulation and detection correlation |
| IT1205001B (it) * | 1987-05-07 | 1989-03-10 | Getters Spa | Matodo ed apparechio per rivelare la presenza di tracce di gas come impurezze in azoto o gas rari |
| CN114755329B (zh) * | 2022-04-01 | 2022-11-11 | 北京东西分析仪器有限公司 | 一种臭氧层干扰物质的检测方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3749929A (en) * | 1971-10-07 | 1973-07-31 | Monsanto Res Corp | Chemiluminescent method and apparatus |
| US3856473A (en) * | 1974-02-26 | 1974-12-24 | Thermo Electron Corp | Apparatus for measuring no{11 {11 concentrations |
| US4062650A (en) * | 1976-12-29 | 1977-12-13 | The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration | Thermoluminescent aerosol analysis |
| US4205956A (en) * | 1979-05-21 | 1980-06-03 | The International Nickel Company, Inc. | Nickel carbonyl analyzer |
-
1984
- 1984-08-13 EP EP84109626A patent/EP0135135A3/en not_active Withdrawn
- 1984-08-15 JP JP17031184A patent/JPS6060553A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0135135A3 (en) | 1987-04-15 |
| EP0135135A2 (en) | 1985-03-27 |
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