JPS6062147A - バイアス電圧発生回路 - Google Patents

バイアス電圧発生回路

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JPS6062147A
JPS6062147A JP58169189A JP16918983A JPS6062147A JP S6062147 A JPS6062147 A JP S6062147A JP 58169189 A JP58169189 A JP 58169189A JP 16918983 A JP16918983 A JP 16918983A JP S6062147 A JPS6062147 A JP S6062147A
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JP
Japan
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memory
node
ring
inverter
circuit
Prior art date
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Application number
JP58169189A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro Yoshida
昌弘 吉田
Yoshiaki Onishi
良明 大西
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Hitachi Microcomputer System Ltd
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Microcomputer Engineering Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6062147A publication Critical patent/JPS6062147A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05F—SYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
    • G05F3/00—Non-retroactive systems for regulating electric variables by using an uncontrolled element, or an uncontrolled combination of elements, such element or such combination having self-regulating properties
    • G05F3/02—Regulating voltage or current
    • G05F3/08—Regulating voltage or current wherein the variable is DC
    • G05F3/10—Regulating voltage or current wherein the variable is DC using uncontrolled devices with non-linear characteristics
    • G05F3/16—Regulating voltage or current wherein the variable is DC using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices
    • G05F3/20—Regulating voltage or current wherein the variable is DC using uncontrolled devices with non-linear characteristics being semiconductor devices using diode- transistor combinations
    • G05F3/205—Substrate bias-voltage generators

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [技術分野] 本発明は、バイアス電圧発生技術に関し、特に基板バイ
アス電圧発生回路を有する半導体記憶装置に適用して効
果のある技術に関する。
[背景技術] たとえば、半導体記憶装置(以下、メモリまたはメモリ
チップと称する)には、その内部回路の高速動作化を図
るために、半導体基板またばウェル領域の電位をある値
にする基板バイアス電圧発生回路が設けられる。基板バ
イアス電圧発生回路(以下、VBB発生回路と称する)
は、たとえば複数のインバータによって構成されたリン
グオンジレータと、その出力信号を受けるチャージポン
プ回路とによって構成される。チャージポンプ回路は、
一種の整流回路であって、キャパシタを有している。こ
のキャパシタは、上記リングオンジレータの出力信号が
、たとえばある電圧以上のとき電源電圧によって充電さ
れる。そして、上記出力信号の電位が上記電圧よりも低
下したとき、上記キャパシタの充電電圧によって、半導
体基板と回路の接地電位点との間にある浮遊容量が充電
される。このような浮遊容量への充電が繰り返されるこ
とによって半導体基板の電位がある値にされる。
ところで、VBB発生回路において、リングオンジレー
タを構成するインバータの段数はメモリの選択、非選択
にかかわりなく一定であった。言い換えるならば、リン
グオンジレータの発振周波数は、メモリが選択(アクテ
ィブ)状態でも非選択(スタンバイ)状態であっても一
定であった。このため、低消費電力となるべきスタンバ
イ状態であっても、チャージポンプ内のキャパシタは、
スクンバイ状態のときと同じ周期で充電が行われ、上記
浮遊容量も同じ周期で充電が行われる。そのため、特に
、半導体基板の電位を所定の値にして、そこに形成され
た回路の高速動作化を図る必要のないスタンバイ状態で
あっても、VBB発生回路で比較的大きな電力が消費さ
れてしまい、スタンバイ状態のときにメモリの消費電力
が比較的大きくなってしまうということが、本願発明者
によって明らかにされた。
[発明の目的] 本発明の目的は、スタンバイ状態での消費電力の低減を
図ることのできるメモリを提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
[9発明の概要] 本願におい“て開示される発明のうち代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、メモリのスタンバイ時等の状態に応じてリン
グオンジレータを構成3るインバータの段数を切り換え
、段数を可変としたことにより、スタンバイ時における
メモリの無駄な電力消費を抑制することができるもので
ある。
[実施例1コ 第1図は、本発明を適用したVB8発生回路の一実施例
の概略図であり、第2図はその要部回路図である。
第1図に示されているVB8発生回路は、周知の半導体
集積回路技術によって、図示されていないメモリセル、
アドレスデコーダなどとともに同一の半導体基板に形成
されている。同図において、1−1ないし1−3および
2−1.2−2はそれぞれインバータである。メモリが
スタンバイ状態のときには、上記した5個のインバータ
がカスケード接続されて、リングオンジレータが構成さ
れる。これに対して、メモリがアクティブ状態のときに
は、上記5個のインバータのうちの3個のインバータ1
−1.1−2および1−3がカスケード接続され、リン
グオンジレータが構成される。
これにより、メモリがスタンバイ状態のときのリングオ
ンジレータの発振周波数は、メモリがアクティブ状態の
ときのそれに比べ低くされる。メモリがスタンバイ状態
とアクティブ状態のときとで、リングオンジレータを構
成するインバータの段数を変えるために、後で第2図を
用いて詳しく述べるような切り換え回路が設けられる。
第1図では、理解を容易にするために、この切り換え回
路は、メモリチップの選択信号(チップイネーブル信号
)鼾によってスイッチ制御されるスイッチsw1 、s
w2として示されている。チップイネーブル信号面をロ
ウレベルとすることにより、メモリが選択される。この
場合には、スイッチSW1、sw2のそれぞれの共通端
子Cが端子a側に接続される。これにより、上述したよ
うに3個のインバータによってリングオンジレータが構
成される。
これに対して、上記チップイネーブル信号面をハイレヘ
ルにすることにより、メモリは非選択状態にされる。こ
の場合には、スイッチSWi、SW2の共通端子Cが端
子す側に接続され、上述したように5個のインバータに
よってリングオンジレータが構成される。
上記リングオンジレータによって形成された発振出力信
号は、次に述べるチャージポンプ回路に供給される。
チャージポンプ回路は、特に制限されないが、ダイオー
ド接続されたNチャンネルMO3FETQ3、Q4と、
MO,Sキャパシタc1と、このキャパシタc1を充電
させるための駆動インバータを構成するPチャンネルM
O3FET’Q1 、NチャンネルMO3FETQ2と
によって構成されてイル。上記PチャンネルMO3FE
TQ1(7)7−スには電源電圧Vccが供給され、上
記NチャンネルMO3FETQ2のソースには、回路の
接地電位が供給されている。
上記チャージポンプ回路の出方ノードN2と上記半導体
基板とは、オーミック接続されている。
Csは、上記出方ノードN2と回路の接地電位点との間
に存在する浮遊容量である。
この実施例においては、上述したようにリングオンジレ
ータの発振周波数が、メモリのアクティブ状態に比ベス
タイバイ状態のときの方が41にりされる。このため、
単位時間におい(、−1M03FETQ1を介して電源
電圧VccによりキャパシタC1を充電する回数は、メ
モリがアクティブ状態のときに比ベスタンバイ状態のと
きの方が少なくなる。
また、ノードN1の電位がハイレベル(はぼ電源電圧V
 、cc )に立ち上がり始めることに応答して、浮遊
容量Csが、キャパシタC1の充電電圧によって充電さ
れる回数も、スタンバイ状態のときの方が少なくなる。
すなわち、メモリがスタンバイ状態にされているときの
方が容量への充電回数が少なくなる。これにより、スタ
ンバイ状態のときに、VBB発生回路で消費される電力
を低減することができ、スタンバイ状態でのメモリの消
費電力を低減できる。
なお、チャージポンプ回路の動作は、次に述べるように
して行われる。
リングオンジレータの出力ノードの電位がロウレベル(
はぼ回路の接地電位)のとき、MO3FETQ1を介し
て容量C1が電源電圧Vccにより充電される。このと
きMO3FETQ4は、カットオフ状態にされている。
次に出力ノードN1の電位がハイレベル(はぼ電源電圧
Vcc)になることにより、M OS F E T Q
 2が、オン状態にされる。これにより、容量Csは、
容量C1に保持されている充電電圧によって充電される
。この充電により、ノードN2の電位、すなわち半導体
基板の電位は、負の電位に低下する。上述した動作がリ
ングオンジレータの発振に応じて繰り返され、半導体基
板の電位は、次第に負のある値へと低下していく。
メモリのスタンバイ状態においては、外部データのメモ
リセルへの書き込み、あるいは読み出し動作が行われな
いため、半導体基板の電位を所定の値にして、内部回路
の高速動作化を図る必要は特にない。したがって、上述
したように、リングオンジレータの発振周波数を低くし
て、容量Csへの充電回数を減らすことにより、半導体
基板の電位が所望の負の電位よりも高い値になっても特
に問題は生しない。
次に、上述した切り換え回路の具体的回路について、第
2図を参照しながら説明する。
同図において、3はチップイネーブル信号面を受ける入
力断面図であって、チップイネーブル信号ばかロウレベ
ルにされた場合、I)チャンネルMOS F E T 
Q sのゲートにロウレベルの出力信号を出力し、Nチ
ャンネルM OS F E T Q eのゲートにもロ
ウレベルの出力信号を出力する。これにより、M OS
 F E T Q、 sがオン状態にされ、MOS F
 E T Q sがオフ状態にされる。
ノードN3の電位がハイレベルとなることにより、Nチ
ャンネルMO3FETQsがオン状態にされ、Pチャン
ネルMO3FETQ7がオフ状態にされる。これにより
、ノードN4がロウレベルにされるため、Nチャンネル
MO3FETQIO1GLtaがオフ状態にされる。こ
れに対して、PチャンネルMO3FETQ9がオン状態
にされるため、ノードN5がハイレベルとなり、Nチャ
ンネルMO3FETQ、11がオン状態にされる。これ
により、上記インバータ3の出力信号はMO3FETQ
ttを介して、上記ノードN1に伝えられる。このとき
、上述したようにMO3FETQtaはオフ状態にされ
ているため、上記インバータ1−3の出力信号は、上記
インバータ2−1の入力端子には供給されない。このよ
うに、インバータ1−3の出力信号がノードN1に伝え
られるため、チップイネーブル信号面をロウレベルにす
ることにより、メモリをアクティブ状態にしたときには
、上記3個のインパーク1−1ないし1−3によってリ
ングオンジレータが構成され、これにより、リングオン
ジレータから比較的高い周波数の出力信号が上記チャー
ジポンプ回路に供給され、チャージポンプ回路によって
容量Csの充電が急速に行われるようになる。
これに対して、チップイネーブル信号面をハイレベルに
することによって、メモリを非選択状態にした場合、上
記人力段3は、ハイレベルのチソブイネーブル信号αに
応答して、MO3FETQ5のゲートにハイレベルの出
力信号を出力し、MO3FETQ6のゲートに対しても
ハイレベルの出力信号を出力する。これにより、上記M
O3FETQ5は、オフ状態にされ、MO3FETQs
は、オン状態にされる。この場合ノードN3にはM O
S F E T Q sを介して、回路の接地電位が供
給されるため、ノードN3はロウレベルとなり、Pチャ
ンネルMO3FETQ7がオンし、NチャンネルMO3
FETQ8がオフする。これにより、上記MO3FET
Q13のゲートには、MO3FETQ7、Q8によって
構成されたCMOSインバータからハイレベルの出力信
号が供給され、上記MO3FETQIIのゲートには、
MO3FETQ9、Qloによって、構成されたCMO
Sインバータからロウレベルの出力信号が供給される。
これによって、上記MO3FETQ+、がオン状態にさ
れ、上記MO3FE’l’Quはオフ状態とされる。
このオン状態のMO3FETQ13を介して、上記イン
バータ1−3の出力信号は、上記インバータ2−1の入
力端子に供給される。また上記インバータ2−2の出力
信号は、上記MO3FETQ舅と同様にゲートに電源電
圧vccが印加されたMOSFETを介して、ノードN
4がそのゲートに接続されたトランスファMO3FET
を介してノードN1に伝えられる。なお、これらのMO
SFETは上記MO3FETQ1.、Q14と同様な働
きをするので図示しない。この場合には、5個のインバ
ータ1−1ないし2−2によって、リングオンジレータ
が構成されるため、リングオンジレータの発振周波数が
低くなる。このため、容量C1、Csを充電する回数が
減るため、VBB発生回路、メモリの消費電力が低減さ
れる。
なお、MO3FETQ12は、いわゆるカットMO3F
ETであり、MO3FETQ11のゲート電圧が、その
ゲート電極とチャンネルとの間に形成された容量による
ブートスランプ作用によって昇圧されたときに、上記容
量の電荷が、電源電圧側へぬけるのを防止するためのも
のである。すなわち、ブーストラップ効果によりMO3
FETQ11のゲート電圧が上昇したとき、そのゲート
電極側のMO8FETQ12の一方の電極がドレインと
して作用し、そのソース電圧およびゲート電圧がほぼ同
じ電源電圧となるため、このMO3FET’Qセはカッ
トオフする。MO3FE’l”Q14もこのMO3FE
TQ12と同様な効果を得るために設けられたカットM
O3FETである。このようなカン)MOSFETを設
けることにより、インバータ1−3から出力されたハイ
レベルの出力11号をMO3FETQx1またはQ13
のしきい値電圧によるレベル損失無くノードN1または
インバータ2−1の入力端子に伝えることができる。
この実施例のように、リングオンジレータを構成するイ
ンバータの段数をアクティブのとき、00段であったも
のをスタンバイのときにはno+rno段に増加(mo
段だけ増加)させた場合の消費電力と、常にno段のイ
ンバータで構成されたリングオンジレータを用いた場合
のそれとの比較が表1に表されている。同表には、スタ
ンバイのときのみが表されている。
−JL−し− この表1より、本実施例ではメモリのスタンバイ時のバ
イアス電圧発生回路の消費電力が大巾に低減されること
が明らかである。
この実施例では、インバータ1−1ないし2−2および
切り換え回路内のインバータなどがCMO8回路で構成
されている。このため、リングオンジレータ、切り換え
回路などにおける消費電力少なくすることができる。ま
た、説明を容易にするために、上記ノードN2はP型の
半導体基板に接続されているものとして説明しであるが
、特にこれに制限されない。
[実施例2] 切り換え回路の他の実施例が第3図に示されている。
同図に示されている切り換え回路は、NチャンネルMO
3FETによって構成されている。同図において、3は
、メモリ外からのチップイネーブル信号αを受ける入力
段であって、メモリをアクティブ状態にするためにチッ
プイネーブル信号面がロウレベルにされたとき、Nチャ
ンネルMO3FETQ15に対してロウレベルの出力信
号を出力し、Nチャンネ7LzMO3FETQ16、(
h7に対してハイレベルの出力信号を出力する。これに
より、MO3FETQ15はオフ状態にされ、MO3F
ETQ15、Q17はオン状態にされる。MO3FET
Q16がオン状態にされることにより、ノードN6はロ
ウレベル(はぼ回路の接地電位)にされる。
これによって、NチャンネルMO3FETQ21はオフ
状態にされる。一方、MO3FETQ17がオン状態に
されることにより、NチャンネルMO3FETQ19の
ゲートは、ハイレベル(はぼ電源電圧V cc )とさ
れ、MO3FETQ19はオン状態にされる。これによ
り、上記インバータ1−3の出力信号は、上記ノードN
1に伝えられる。これによって、3個のインバータ1−
1ないし1−3によって、リングオソシレータが構成さ
れる。リングオツシレータの発振周波数が比較的高くな
るため、チャージポンプ回路の駆動力が上昇する。
これに対して、メモリをスタンバイ状態にするために、
チップイネーブル信号面がハイレベルにされた場合、上
記入力段3は、MO3FETQtsに対してハイレベル
の出力信号を出力し、MO3FET16に対してロウレ
ベルの出力信号を出力する。この結果として、上記MO
3F、ETQ19がオフ状態にされ、上記MO3FET
Q21がオン状態にされる。
これにより、上記インバータ1−3の出力信号は、上記
インバータ2−1の入力端子に供給される。なお、特に
制限されないが、上記MO3FETQ21と同様に、上
記ノードN6の電圧によってスイッチング制御されるN
チャンネルMO3FET(図示しない)が上記インバー
タ2−2の出力端子と上記ノードN1との間に設けられ
ている。
また、このMOSFETのゲート電極と上記ノードN6
との間には、そのゲートに電源電圧が供給されたNチャ
ンネルMO3FETQ22と同様なNチャンネルMO3
FET (図示しない)が設けられている。これによっ
て、スタンバイ状態においては、上記インバータ1−3
の出力信号がMO3F E T Q21を介して上記イ
ンバータ2〜1に供給され、上記インバータ2−2の出
力信号は、上記図示しないMOSFETを介して、ノー
ドN1に供給される。この結果、メモリがスタンバイ状
態のときには、5個のインバータ1−1ないしi3およ
び2−1.2−2によってリングオソシレータが構成さ
れるようになり、リングオソシレータの発振周波数が比
較的低くなる。これによりチャージポンプ回路の駆動能
力は低下するが、低消費電力化が図れる。
なお、NチャンネルMO3FETQ2.、Q22のそれ
ぞれは上述したMO3FETQ12と同じ働きを有する
カットMO3FETである。
[効果] (1)、メモリの状態に応じてチャージポンプ回路に供
給される信号の周波数を変えるようにしたことニヨリ・
メモリの消費電力をそのときの状態に応じた最適な値に
することが可能であるという効果が得られる。
(21、V BB発生回路を構成する発振回路の発振周
波数が、メモリのアクティブ状態のときよりもスタイバ
イ状態のときの方が低くされるようにしたことにより、
スタンバイ状態のとき、チャージポンプ回路に供給され
る信号の発振周波数が低くなるため、VBB発生回路の
消費電力を低減することができ、これによりメモリの低
消費電力化を図ることができるという効果が得られる。
(3)、メモリをスタンバイ状態にするがアクティブ状
態にするかを決める外部信号を用いてリングオンジレー
タの段数をスタンバイ状態とアクティブ状態とで変える
ようにして、スタンバイ状態でのメモリの低消費電力化
を図るようにしたことにより、リングオンジレータを制
御するための特別な信号をメモリ外から供給しな(てち
よいという効果が得られる。
(4)、低消費電力のメモリであるため、バッテリバン
クアンプされるメモリとして使う場合には、バッテリの
寿命を長くすることが可能であるという効果が得られる
。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、バイアス電圧発生回路の構成は前記実施例1
.2以外にも種々のものが考えられる。
また、リングオンジレータの段数あるいはその追加段の
段数等にも何ら制限はない。
さらに、オンジレータの段数の切り換えは外部信号以外
のものを基準として行ってもよい。
また、リングオンジレータは、インバータのみで構成す
るのではなく、必要な発振周波数を得るために遅延回路
を挿入するようにしてもよい。
また、上記インバータとしては、低消費電力化のために
はCMOSインバータがよいが、E/D型インバータ、
E/E型インバータであってもよい。
[利用分野] 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるNMO8型およびC
’MO3型のRAMに適用した場合について説明したが
、それに限定されるものではなく、たとえば、ROMの
ように、バイアス電圧発生回路を用いるものであれば広
く適用できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるバイアス電圧発生回路の一実施例
の概略ブロック図、 第2図はその部分回路図、 第3図は他の実施例による部分回路図である。 1−L 1−2.1−3・ ・・イン7\−タ、2−1
.2−2・・・インバータ、C1°・°キャパシタ、Q
1〜Q22・・・MOSFET、3・・・入力段。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. リングオンジレータを備えてなるバイアス電圧発生回路
    において、リングオンジレータの段数を十分大きくし、
    メモリの状態に応じてリングオンジレータの段数を可変
    としたことを特徴とするバイアス電圧発生回路。
JP58169189A 1983-09-16 1983-09-16 バイアス電圧発生回路 Pending JPS6062147A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58169189A JPS6062147A (ja) 1983-09-16 1983-09-16 バイアス電圧発生回路

Applications Claiming Priority (1)

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JP58169189A JPS6062147A (ja) 1983-09-16 1983-09-16 バイアス電圧発生回路

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JPS6062147A true JPS6062147A (ja) 1985-04-10

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ID=15881876

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JP58169189A Pending JPS6062147A (ja) 1983-09-16 1983-09-16 バイアス電圧発生回路

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JP (1) JPS6062147A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4742250A (en) * 1985-12-20 1988-05-03 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Inner Potential generating circuit
US6184754B1 (en) 1998-03-03 2001-02-06 Nec Corporation Voltage-controlled oscillator circuit and voltage-controlled oscillating method

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US4742250A (en) * 1985-12-20 1988-05-03 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Inner Potential generating circuit
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