JPS6063452A - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
- Publication number
- JPS6063452A JPS6063452A JP17101883A JP17101883A JPS6063452A JP S6063452 A JPS6063452 A JP S6063452A JP 17101883 A JP17101883 A JP 17101883A JP 17101883 A JP17101883 A JP 17101883A JP S6063452 A JPS6063452 A JP S6063452A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lithium chloride
- heating electrode
- temperature
- film
- chloride layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、塩化リチウム液を用いて露点検出を行なう感
温素子に関するものでるる。
温素子に関するものでるる。
従来加熱用電極を巻きつけて塩化リチウム層で覆った管
の内部に感温素子を収容したこの種の感湿素子に対し、
小形にできるものとして、例えば実公昭４９−３５８３
８号公報に開示されるように電気的絶縁性基板の一工面
に温度検出素子、他面に加熱用電極と塩化リチウム層と
を設けた構造のものがるる。しかし、塩化リチウム層の
平衡温度を、電気的絶縁性基板を介して他面の温度検出
素子で検知するため感度・応答性が悪く、精確ム露点検
出が困難でるるという欠点を有する。ｔ−た、特開昭５
２−７５３８８号公報に開示されるように温度素子部を
、加熱用電極および塩化リチウム１台からなる湿度素子
部２個でサンドインチ状に挾んだ構造のものもめる。す
なわち、塩化リチウム層の平衡温度を、中間に位置する
温度素子によって検出するものでるるか、電気的絶縁性
基板が２個ないし３個介在するために平衡温度の検知に
おける感度・応答性が低下し、精確な露点検出が困難で
るる。さらに、前者は一王面に温度検出素子、他面に加
熱用１１極等を被着した基板を環状の取付枠に張るとい
うもので８シ、また後者は各基板を相互に貼シ合せるな
ど、いずれも構造および製造プロセス〃：複雑となる。
の内部に感温素子を収容したこの種の感湿素子に対し、
小形にできるものとして、例えば実公昭４９−３５８３
８号公報に開示されるように電気的絶縁性基板の一工面
に温度検出素子、他面に加熱用電極と塩化リチウム層と
を設けた構造のものがるる。しかし、塩化リチウム層の
平衡温度を、電気的絶縁性基板を介して他面の温度検出
素子で検知するため感度・応答性が悪く、精確ム露点検
出が困難でるるという欠点を有する。ｔ−た、特開昭５
２−７５３８８号公報に開示されるように温度素子部を
、加熱用電極および塩化リチウム１台からなる湿度素子
部２個でサンドインチ状に挾んだ構造のものもめる。す
なわち、塩化リチウム層の平衡温度を、中間に位置する
温度素子によって検出するものでるるか、電気的絶縁性
基板が２個ないし３個介在するために平衡温度の検知に
おける感度・応答性が低下し、精確な露点検出が困難で
るる。さらに、前者は一王面に温度検出素子、他面に加
熱用１１極等を被着した基板を環状の取付枠に張るとい
うもので８シ、また後者は各基板を相互に貼シ合せるな
ど、いずれも構造および製造プロセス〃：複雑となる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その
目的は、塩化リチウム層の平衡温度を温１．ｆ検出累子
が検矧する場合の感度・応答性が良好で、しかも製造プ
ロセスが簡単で低価格な感湿素子を提供することにある
。
目的は、塩化リチウム層の平衡温度を温１．ｆ検出累子
が検矧する場合の感度・応答性が良好で、しかも製造プ
ロセスが簡単で低価格な感湿素子を提供することにある
。
このような目的を達成するために、本発明は、電気的絶
縁性基板の一方の主面に、膜状の温度検出素子と、膜状
の加熱用電極および塩化リチウム層とをＰ３紅ｉ・と全
弁してｍ層しで設け、他面に加熱用ｋＩ４ｉ極および塩
化リチウム層金設けたものである。
縁性基板の一方の主面に、膜状の温度検出素子と、膜状
の加熱用電極および塩化リチウム層とをＰ３紅ｉ・と全
弁してｍ層しで設け、他面に加熱用ｋＩ４ｉ極および塩
化リチウム層金設けたものである。
以下笑′ｈ例を用い−Ｃ本発明の詳細な説明する。
第１図に示すように、アルミナ〃）らなる電気絶縁性基
板１の一王表面上に白金ベースｉｆ所定のパターンにス
クリーン印刷して焼成し、温度検出素子２足形成する。
板１の一王表面上に白金ベースｉｆ所定のパターンにス
クリーン印刷して焼成し、温度検出素子２足形成する。
その上に第２図に示すようにガラスハυからなる保簡絶
縁層３ヶ被榎する。次いで、その保わ絶縁層３上および
基板１の裏面にそれぞれ１対のくし状金電極からなる加
熱用電極４を所定パターンのマスクを用いた真空蒸着ま
たはスパッタリングにより形成した後、その表面に塩化
リチウム層５全デイツピングにょシ被覆する。
縁層３ヶ被榎する。次いで、その保わ絶縁層３上および
基板１の裏面にそれぞれ１対のくし状金電極からなる加
熱用電極４を所定パターンのマスクを用いた真空蒸着ま
たはスパッタリングにより形成した後、その表面に塩化
リチウム層５全デイツピングにょシ被覆する。
第３因に断面図全庁す。
以上、温度検出素子として白金ベースｌ使用してスクリ
ーン印刷した厚膜を用いた例について説明したが、この
他に、真壁蒸着、スパッタリングなどの薄膜技術により
形成した白金薄膜丑たｔユニッケル、パーマロイなどの
薄膜もしくは厚膜など音用いることもできる。
ーン印刷した厚膜を用いた例について説明したが、この
他に、真壁蒸着、スパッタリングなどの薄膜技術により
形成した白金薄膜丑たｔユニッケル、パーマロイなどの
薄膜もしくは厚膜など音用いることもできる。
また、絶縁層３および基板１の裏面上にｉ没ける金電極
は、所定パターンの金箔をヒートスタンプで被着する方
法、あるいは金ベース）ｆ用いた厚膜技術などにより形
成してもよい。
は、所定パターンの金箔をヒートスタンプで被着する方
法、あるいは金ベース）ｆ用いた厚膜技術などにより形
成してもよい。
さらに、塩化リチウム層５は、ディッピング以外に、は
け塗シ（塗布）、スポイトでの滴下などにより形成して
もよい。
け塗シ（塗布）、スポイトでの滴下などにより形成して
もよい。
上流構成から明らかなように、温度検出素子２を、基板
１に対して塩化リチウムＮＩ５および加熱用電極４と同
一工面上に設けたことにょシ、雰囲気温度と平衡した塩
化リチウム層の温度を感度・応答性良く精確に検印でき
る。また、温度検出素子２を設けない基板１の他面に対
してもさらに塩化リチウム層５および加熱用電極４を設
けたことにより応答性をさらに向上させることができる
。
１に対して塩化リチウムＮＩ５および加熱用電極４と同
一工面上に設けたことにょシ、雰囲気温度と平衡した塩
化リチウム層の温度を感度・応答性良く精確に検印でき
る。また、温度検出素子２を設けない基板１の他面に対
してもさらに塩化リチウム層５および加熱用電極４を設
けたことにより応答性をさらに向上させることができる
。
さらに、温度検出素子２および加熱用電極４ともに、基
板１に対して通常の厚膜技術、薄膜技術を順次適用する
のみで形成できるため、製造プロセスはきわめて簡単で
ろるとともに低価格化が可能でるる。
板１に対して通常の厚膜技術、薄膜技術を順次適用する
のみで形成できるため、製造プロセスはきわめて簡単で
ろるとともに低価格化が可能でるる。
し発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、電気的絶縁性基
板の一方の工面に、膜状の温度検出素子と、膜状の加熱
用電極および塩化リチウム層とを絶縁層を介して積層し
て設けるとともに、他面に加熱用電極および塩化リチウ
ム層を設けたことにより、感度・応答性が良好な感湿素
子ｔ、簡単なプロセスで、しかも低価格に実現できる。
板の一方の工面に、膜状の温度検出素子と、膜状の加熱
用電極および塩化リチウム層とを絶縁層を介して積層し
て設けるとともに、他面に加熱用電極および塩化リチウ
ム層を設けたことにより、感度・応答性が良好な感湿素
子ｔ、簡単なプロセスで、しかも低価格に実現できる。
第１図は本発明の一実施例の製造途中の状態を示す平面
図、第２図は完成状態を示す平面図、第３図は同じく断
面図である。 １・・・・電気的絶縁性基板、２・・・・温度検出素子
、３・・・・絶縁層、４・・・・加熱用電極、５・・・
・塩化リチウム層。 特許出願人 山武７１ネウエル株式会社代理人 山川政
樹（ほか１名）
図、第２図は完成状態を示す平面図、第３図は同じく断
面図である。 １・・・・電気的絶縁性基板、２・・・・温度検出素子
、３・・・・絶縁層、４・・・・加熱用電極、５・・・
・塩化リチウム層。 特許出願人 山武７１ネウエル株式会社代理人 山川政
樹（ほか１名）
Claims (1)
- 電気的絶縁性基板の一王面に膜状の温度検出素子と、膜
状の加熱用電極およびこの加熱用電極を檄う塩化リチウ
ム層とを、相互に絶縁層を介して積層して設けるととも
に、上記基板の他王面に膜状の加熱用電極およびこの加
熱用電極を覆う塩化リチウムｍを設けてなる感温素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17101883A JPS6063452A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17101883A JPS6063452A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | 感湿素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6063452A true JPS6063452A (ja) | 1985-04-11 |
Family
ID=15915562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17101883A Pending JPS6063452A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | 感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6063452A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6163149U (ja) * | 1984-10-01 | 1986-04-28 | ||
| JPH02228546A (ja) * | 1989-03-01 | 1990-09-11 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 温度・湿度センサー |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5275388A (en) * | 1975-12-18 | 1977-06-24 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Humidity detector |
-
1983
- 1983-09-16 JP JP17101883A patent/JPS6063452A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5275388A (en) * | 1975-12-18 | 1977-06-24 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Humidity detector |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6163149U (ja) * | 1984-10-01 | 1986-04-28 | ||
| JPH02228546A (ja) * | 1989-03-01 | 1990-09-11 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 温度・湿度センサー |
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