JPS6063963U - レ−ザ装置 - Google Patents

レ−ザ装置

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Publication number
JPS6063963U
JPS6063963U JP15488083U JP15488083U JPS6063963U JP S6063963 U JPS6063963 U JP S6063963U JP 15488083 U JP15488083 U JP 15488083U JP 15488083 U JP15488083 U JP 15488083U JP S6063963 U JPS6063963 U JP S6063963U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
humidity
coolant
laser
laser oscillator
circulation pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15488083U
Other languages
English (en)
Inventor
青木　則佳
森　昭義
秀明 泉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP15488083U priority Critical patent/JPS6063963U/ja
Publication of JPS6063963U publication Critical patent/JPS6063963U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のレーザ装置の断面図、第２図はこの考案
の一実施例を示す断面図である。 図において１は外箱、２はレーザ発振器、３はレーザ媒
体、４は全反射鏡、５は部分反射鏡、６は冷却液流路、
７は冷却液循環ポンプ、８はレーザ光取り出し窓、９は
レーザ電源、１０は湿度センサ、１１は湿度検知装置、
１２は警報器、１３は制御器である。なお図中、同一あ
るいは相当部分には同一符号を付して示しである。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 液体により冷却されるレーザ発振器と、このレーザ発振
    器を駆動するレーザ電源と、上記レーザ発振器を密封し
    外気と隔離する外箱と、冷却液を上記レーザ発振器に導
    びく冷却液流路と、冷却液を循環させる冷却液循環ポン
    プと、上記外箱の内側に置かれ内部の気体の相対湿度を
    検出する湿度センサと、この湿度センサの出力から湿度
    の異常を検出し警報信号を出す湿度検知手段と、この湿
    度検知手段の出力信号により上記冷却液循環ポンプと上
    記レーザ電源を制御する制御器とを備えたことを特徴と
    するレーザ装置。
JP15488083U 1983-10-05 1983-10-05 レ−ザ装置 Pending JPS6063963U (ja)

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JP15488083U JPS6063963U (ja) 1983-10-05 1983-10-05 レ−ザ装置

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JP15488083U JPS6063963U (ja) 1983-10-05 1983-10-05 レ−ザ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6063963U true JPS6063963U (ja) 1985-05-07

Family

ID=30342228

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15488083U Pending JPS6063963U (ja) 1983-10-05 1983-10-05 レ−ザ装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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