JPS606500B2 - 感光材料及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、支持体上に感光性カルコゲンガラス層及び金
属層を有する感光材料に関するものである。

従来、特公昭４７一２８２０２号、同４７−２３７２３
号あるいは同４７一３３６４４号の各公報に記載されて
いるごとく、支持体上に感光性カルコゲンガラス層及び
金属層が互に隣接して設けられてなる感光材料に対して
光照射すると、両層間で相互に反応を起すことが知られ
ている。

このような感光材料において光反応が生ずると、具体的
には互に一方が他方に拡散した状態となり、その部分は
電気抵抗や光導霞性あるいは光起電力などの電気的性質
に変化を生じたり、あるいは光の透過率や反射率、さら
にアルカリ性溶液に対する溶解度など、諸々の性質にお
いてもとの物質の性質とは著しく異なるごとく変化する
のである。この種の感光材料における光による性質の変
化は写真技術の観点からするときわめて有用であり、多
岐にわたる応用分野で利用されつつあるが、その主要な
応用分野の一つは画像形成のための感光材料である。従
来この種の感光材料は、支持体上に感光性カルコゲンガ
ラス層及び金属層をたとえば１０‐５〜１０‐７ｔｏｎ
という高度の真空度のもとで真空蒸着により形成せしめ
て製造していた。従って支持体上に設けられた各層間あ
るいは支持体とそれに隣接する層との間の接着強度はき
わめて大きく、たとえば冒頭に例挙した各公報にも記載
されているごとく、アルカリ性水溶液によって処理する
工程を含む印刷版製造方法を適用しても十分に耐えうる
ものであり、層の掌髪嶺暑さ弾きさ鼻暑劣菱幸号蕪鷲多
…ら長年研究を重ねていたが、上述したごとき感光材料
における層間の接着強度の点に着目し、新たな製造条件
で真空蒸着の工程を実施したところ、新たな特性を有し
かつ新たな画像形成プロセスが実現されうろことを見出
し本発明をなすに至ったものである。すなわち本発明は
支持体上に感光性カルコゲンガラス層及び金属層を有す
る感光材料において、該感光性カルコゲンガラス層と金
属層との接着力が該支持体とそれに接する該感光性層又
は金属層との接着力よりも小さいことを特徴とする感光
材料と支持体上に真空蒸着によりカルコゲンガラス又は
金属からなる第１層を設け、さらに金属又はカルコゲン
ガラスからなる第１層とは異なる成分の第２層を設ける
ことにより特許請求の範囲第１項に記載の感光材料を製
造する方法において、第１層を形成せしめる際の真空度
を１０‐４ｔｏｒｒ以下とし、第２層を形成せしめる際
の真空度を１ぴｔｏｒｒ〜１０‐２ｔｏｒｒの範囲内と
して真空蒸着を行なうことを特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載の感光材料を製造する方法である。まず本
発明による感光材料について説明すると、これは基本的
には上述したように支持体、金属層及びカルコゲンガラ
ス層からなり、支持体は写真材料の業界において通常理
解されている概念のものであって、その上に接着して設
けられる薄層が当初の形状を保持して自然に破壊するこ
とのないように支持し、得られる感光材料の使用目的に
よっては可操性を有し、あるいは透明であり、又は着色
しており、さらには凹凸、起状、球面、円筒側面のごと
く平面でない表面のものであってもよく、薄層を支持す
る機能の他にこれら自らの性質が使用目的の上で利用さ
れることもある。

そして支持体の素材としては、アルミニウムや亜鉛のご
とき金属の板や箔「ポリエチレンテレフタレートやポリ
カーポネート、三酢酸セルロース「ポリ塩化ビニルなど
のごときプラスチックの板又はフィルム、ガラス板、セ
ラミック板「紙、合成紙などあり、使用目的に応じて適
当な素材、形状、強度のものが選択され使用される。ま
たカルコゲンガラス層はＳｅ、Ｔｅ、Ｓなど酸素族の原
子を含むガラス状物からなる層であり、ガラス状物の素
材はガラス状セレンやガラス状硫黄のほか、Ａｓ−Ｓ系
、Ａｓ一Ｔｅ系、Ａｓ−Ｓｅ系、Ｃも−Ｓ系、Ｓ−Ｓｉ
系、Ｓｅ−Ｓ系、Ｓｅ−Ｔｅ系、Ｓｂ−Ｓｅ系、Ｓｂ−
Ｔｅ系、Ｂｉ−Ｓｅ系、Ｓｉ−Ｓ系、Ｂｊ一Ｔｅ系など
の二九カルコゲンガラス、ＡＳ−Ｓ−Ｔｅ系、Ａｓ−Ｓ
ｅ−Ｔｅ系、Ｓｂ−船−Ｓｅ系、Ａｓ−Ｓ−Ｓｅ系「Ａ
ｓ−Ｓ−ｏｅ系、Ｓｅ−Ｓ−蛇系、あるいは船−Ｓｅ−
Ｇｅ系などの三元系カルコゲンガラス、Ａｓ−Ｓ−Ｓｅ
−Ｔｅ系、Ａｓ−Ｓ−Ｓｅ−蛇系などの四元力ルコゲン
などがある。またカルコゲンガラスには、あらかじめた
とえばハロゲン、戊、Ｓｉなど各種の元素を活性剤ある
いは増感剤などとして添加しておくこともできる。これ
ら上記のカルコゲンガラスのうち、本発明の感光材料の
ため特に有効な結果を与えるものはＡＳ−Ｓ系、Ａｓ−
Ｓｅ系、Ｃら−Ｓ系、Ｓｅ−Ｓ系、Ｓｉ−Ｓ系の二元カ
ルコゲンガラス、Ａｓ−Ｓ−Ｔｅ系、Ａｓ−Ｓｅ−Ｔｅ
系、Ａｓ−Ｓ−Ｓｅ系などの三元カルコゲンガラス、Ａ
ｓ−Ｓ一Ｓｅ−技の四元ガラスである。力ルコゲンガラ
ス層の厚さは特に制約されないが普通には２００〜１５
０瓜ｈ払好ましくは３００〜１００仇ｈ仏程度に設けら
れる。一方、金属層はＡｇ又はＣｕ，ＡｇとＣｕ、Ａｇ
やＣｕを含む合金であって「合金の例としてはＣ比ＯＡ
ｇ６０、Ｃｕ，ＯＡｇ９０、Ｃ−ＯＡｇ８０、Ｃ比ＯＡ
ｇ７〇、Ｃ馬ＯＡｇ５Ｑ〜 Ｃ叱ＯＡｇ４０、Ｃｕ７０
Ａｇ３０、Ｃ蝿ＯＡｇ２０、ＣもＯＡｇ，〇、Ａｇ斑Ｃ
ｕ６８、Ａ鞍日＆５ 、Ａ＆。

ｌｎ７０、Ａｇ９，Ｌｊ９、Ａｇ７Ｐは３、Ａｇ２ＭＴ
ｅ小６、Ａｇ，．５ＴＩ９８．５、Ｃｕ，５Ｇａ８７
、 Ｃ比日鞍９ 、 Ｃ４１Ｑ５ 、 Ｃｕ７Ｓ山３
、Ｃｕ，６Ｔｅ８４、Ｑ５Ｓｎ９５、Ｍｇ２．２Ｐｂの
．８などである。金属層の厚さには特に制約されないが
、通常１００〜８００△、好ましくは２００〜５００Ａ
に設定される。支持体上に設けられるカルコゲンガラス
層及び金属層は、両者が隣接している限り、いずれが支
持体表面に接着していてもよい。しかしながら支持体面
に援している第１層は支持体に強固に接着し、第２層は
第１層と比較的緩かに接着していなければならない。こ
の点が本発明の最も特徴とするところである。かかる特
徴を有する本発明による感光材料は「たとえば次のごと
き方法によって製造されうる。

すなわち前述したごとき支持体上に真空蒸着により金属
層及びカルコゲンガラス層を設けるのであるが、この際
に第１層を形成せしめる場合の真空度を、従釆真空蒸着
によりこの種の感光材料を製造する場合に条件とされて
いた１０‐４ｔｏｎ以下、通常１０‐５〜１０‐７のｒ
ｒ程度として真空蒸着し、次いで第２層を特に真空度を
１ぴ〜１０‐２のｒｒ程度として素材を真空蒸着するこ
とにより形成せしめるのである。第１層を形成せしめる
場合は、真空度はかなり大きいので「装置内に存在する
気体はし、かなるものであってもよいが、第２層を形成
せしめる場合には真空度は小さく圧力はかなり高いので
、内部の気体は空気、より望ましくは不活性ガスである
ことが必要である。この場合には蒸着源となる物質は、
一応は微小な粒子になって飛ぶが、平均自由行程はせし
、ぜし、１〜１０伽程度で粒子の多くは自由飛行ののち
気体中に浮遊し、やがて支持体の壁面に付着する。従っ
て形成された膜は、支持体に対しては弱い接着力で付着
しており、極端な場合はわずかに接触しただけでも剥脱
してしまう程度である。この後着強度は、真空蒸着装層
内の気圧に依存し、真空度が高まるにつれて増大する。
従って真空蒸着の際の気圧を調節することによってこの
接着強度を適度な値に調節することができる。この真空
蒸着の際の気圧と接着強度との関係は物質によって異な
るので「必要により試行して両者の関係をあらかじめ求
めておくとよい。本発明の感光材料を製造するには、支
持体上にまず金属層を設けたのち、第２層としてカルコ
ゲンガラス層を真空蒸着により設けてもよく、また支持
体上に第１層としてカルコゲンガラス層を設け、次いで
第２層として金属層を設けてもよい。もし第２層の第１
層に対する接着力が弱すぎる場合には、ポリビニルアセ
タール、ポリ塩化ビニル「ポリビニルアルコール、ゼラ
チン「特開昭４８一９５８２０号、特開昭４８−９５８
２１号、特開昭５１−８８０２３号及び特開昭５１一８
８０２４号の各公報に記載の保護層を設けるとよい。こ
のようにして支持体上に設けた第１層及び第２層のそれ
ぞれ支持体及び第１層に対する接着強度は公知の方法に
より測定することができ、本発明に包含されるか否かは
同一の方法により両者の接着強度を対比するだけで判断
しうる。

なお一般的には」第１層及び第２層間の接着強度はおよ
そ０．５〜５０夕／伽程度である。次に本発明の感光材
料に画像を形成せしめる方法について説明する。

もちろん当該材料に対してスクラィブ記録などは可能で
あるが、特にカルコゲンガラス層の感光性を利用した本
来の画像形成方法を例にして説明する。まず本発明の感
光材料の表面（第１層及び第２層が設けられている面）
に像露光する。像露光には高圧水銀燈、超高圧水銀燈、
キセノンランプなど化学作用的には強力な紫外線を多量
に含む光源を用い、光量としては１ぴｌｕｘ・ｓｅｃ以
上、好ましくは１ぴ１脳・ｓｅｃ以上とし、必要により
加熱した雰囲気中で行なうことによりさらに少し、時間
とすることができる。像露光の際にフオトマスクを使用
することや操作上の事項については通常の複写技術によ
り公知であるので、それらを利用することができる。感
光材料への像露光により、金属層及びカルコゲンガラス
層との間にフオトドーピングと称せられる現象が生ずる
。

これはその一の層の成分が他層へ拡散し、成分同志が互
に反応して第三の物質を生成する現象と考えられている
。フオトドーピングが生じた場合、通常アルカリ性水溶
液に対する溶解度、親水性−親油性の度合、表面電気抵
抗あるいは層間の接着強度など多くの物性に変化が生ず
るのである。従って本例の場合には像露光後は、露光部
分ではフオトドーピングが生じて接着強度が小さい第２
層が第１層に対してより強固に接する。像露光後、画像
形成面をたとえば柔かし、布地や綿地又はスポンジ状物
で場合によっては液体を含ませて際すると、第１層とは
きわめて緩やかに付着していた非露光部分の第２層は容
易に剥脱し除去される。

その結果、非露光部分はその後露光されてもフオトドー
ピングは起らず、つまり定着された状態となるのである
。この第２層の除去にはその他粘着テープあるいはシー
トを圧嬢せしめ、これを剥離することにより行なうこと
もできる。このようにして得られた感光材料上の画像は
そのまま実用に供されてもよいが、その後画像部分ある
いは非画像部分をエッチング処理などで除去することに
より、第１層による画像又はフオトドーピングした部分
による画像とすることができる。エッチング処理等の技
術については周知であり、所望の方法を適宜選択して実
施することができる。本発明により感光材料は、上述し
たように第２層をきわめて簡単に除去することができ、
しかもこれが感光材料の定着処理に相当するもので、そ
の上に画像を形成させることが容易であるという特長を
有する。

そして当該感光材料は「ＩＣ回路形成材料、印刷版材料
あるいはフオトマスクといったようにきわめて多岐にわ
たる用途を有し、従って本発明は当業界において有用か
つ重要な材料を提供するものである。以下本発明を実施
例に基づいて具体的に説明する。

実施例 １ ポリエチレンテレフタレートフィルムに真空度１０−５
ｔｏｒｒとした真空蒸着装贋内で銀を２００△蒸着し、
さらに続いて真空度１■ｒｒのもとでＡｓ２Ｐ３を蒸着
した。

この感光材料に出力２５０Ｗの水銀燈下２０ｃｍの距離
を隔てて１分間画像露光をした後水を含ませたスポンジ
で表面をこするとフオトドーピングが生じた露光部分及
び未露光部分のＡｓ２Ｓ３層も基板から除去され、上記
フィルム上には銀の画像が形成された。実施例 ２ ポリエチレンテレフタレートフィルムに真空度１０−０
ｔｏｒｒとした真空蒸着装層内でＡｓ２Ｓ３を１０００
Ａ蒸着し、さらに続いて真空度１０−ｌｔｏｒｒのもと
でＡｇを平均約３００Ａ蒸着した。

この感光材料に出力２５０Ｗの水銀燈から距離２０伽離
して１分間画像露光した後「布で表面をこすると禾露光
部分のＡｇ層及び露光部分の光反応層の一部が除去され
た。その結果、露光部分は未露光部分に比べ光透過度が
低い画像が形成された。実施例 ３ 表面を親水化処理したポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に真空度１０‐予ｏｒｒとした真空蒸着装層内で
銀を１５０△蒸着し、さらに続いて真空度約１のｒｒの
もとにＡｓ２Ｓ３を蒸着して感光材料を作成した。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 支持体上に感光性カルコゲンガラス層及び金属層を
   有する感光材料において、該感光性カルコゲンガラス層
   と金属層との接着力が該支持体とそれに接する該感光性
   層又は金属層との接着力よりも小さいことを特徴とする
   感光材料。 ２ 支持体上に真空蒸着によりカルコゲンガラス又は金
   属からなる第１層を設け、さらに金属又はカルコゲンガ
   ラスからなる第１層とは異なる成分の第２層を設けるこ
   とにより支持体上に感光性カルコゲンガラス層及び金属
   層を有し、該感光性カルコゲンガラス層と金属層との接
   着力が該支持体とそれに接する該感光性層又は金属層と
   の接着力よりも小さい感光材料を製造する方法において
   、第１層を形成せしめる際の真空度を１０＾−＾４ｔｏ
   ｒｒ以下とし、第２層を形成せしめる際の真空度を１０
   ＾２ｔｏｒｒ〜１０＾−＾２ｔｏｒｒの範囲内として真
   空蒸着を行なうことを特徴とする感光材料を製造する方
   法。