JPS6066441A - ワイヤボンダ用ツ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の利用分野） 本発明はワイヤポンダ用ツールに関する。

（発明の背景） ワイヤポンダ用ツールは、第１図に示すようにアルミニ
ウム又は金等のワイヤを通すワイヤ挿通用穴１ａが垂１
ｒ１．に形成されたツールｌと、第２図に示すように下
端側面に傾斜してワイヤ挿通用穴２ａが形成されたツー
ル２とが用いられている。

ところで、かかるツールｌ、２はワイヤを基板に押し付
けて短時間にポンドするので、耐摩耗性に優れたタング
ステンカーバイド又はセラミック等によって一般に製作
されているが、長時間使用すると、ワイヤによって先端
が摩耗したり、ワイヤが付着したりして使用不能になる
。

摩耗については、第１図に示すツールｌはあまり問題は
生じなく、相当摩耗するまで使用できるが、第２図に示
すツール２は先端のテールレスカットする部分が摩耗す
ると、ワイヤ切れ、テール残り等が発生し、製品の信頼
性が低下する。

ワイヤが付着した場合は、ポンド強度が低下するので、
ツール１．２の寿命は著しく短い。そこ゛で、ワイヤが
４＝１着した場合は、洗滌を頻繁に行わなければならな
く、生産性が悪い。

例えば、ワイヤとしてアルミニウム線を用いた場合、ワ
イヤ径が２５〜８０ＪＬｍφの細線は主として摩耗によ
るので、約５０〜６０万ポンドで寿命となる。ワイヤ径
が８０ｇｍφ以」、の中線及び太線になると、Ｉｔｆｌ
ａ波発振のパワーも太きく、またツールを試料に押付け
る荷重も大きくなるので、ワイヤが付着し易くなり、ワ
イヤの付着によって約４万ポンド程度で寿命となる。こ
のようにワイヤが付着したものは、洗滌によってワイヤ
の４−１石を取除くことができるが、５〜６回の洗滌に
よってもワイヤの付着を取除くことができないものも生
じる。

（発明の目的） 本発明の目的は、耐摩耗性の向上及び長寿命化を図るこ
とができるワイヤポンダ用ツールを提供することにある
。

（発明の実施例） 本発明者は、ツールの先端を拡大して観察したところ、
その素材に無数の気泡が存在しており、その気泡にワイ
ヤが詰ってだんだん蓄積されてワイヤが付着しているこ
とが判った。

そこで、ツールの下端にツールの材料と同種もしくはそ
れより固い材料をイオン打込みし、前記気泡を塞いだと
ころ、ツールの先端が一層固くなり、耐摩耗性が向１；
シた。また気泡が塞がれ、ワイヤの付着が起きなくなり
、長寿命化が図れた。

実験の結果、耐摩耗性及び寿命は従来の約５０％伸びた
。

（発明の効果） 以上の説明から明らかな如く１本発明によれば、ツール
の下端にツールの材料と同種もし、〈はそれより固い材
料をイオン打込みしてなるので、耐摩耗性が向上し、か
つ長寿命化が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はツールの一部切欠ぎ断面で示すの正
面図である。 １．２・＠９ツール。 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ツールの先端にツールと同種もしくはそれより固い材料
   をイオン打込みしてなるワイヤポンダ用ツール。。