JPS6067360U - 電子ビ−ム蒸発装置 - Google Patents

電子ビ−ム蒸発装置

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JPS6067360U
JPS6067360U JP12736084U JP12736084U JPS6067360U JP S6067360 U JPS6067360 U JP S6067360U JP 12736084 U JP12736084 U JP 12736084U JP 12736084 U JP12736084 U JP 12736084U JP S6067360 U JPS6067360 U JP S6067360U
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JP
Japan
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electron beam
hearth
hopper
beam evaporation
evaporation device
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JP12736084U
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征彦 中島
御子神　昭夫
正志 長谷川
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Denka Co Ltd
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Denki Kagaku Kogyo KK
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の電子ビーム蒸発装置の断面図、第２図
、第３図は本発明の実施例を示し、第２図はホッパ一部
の保護具の斜視図、第３図はホッパ一部及びハース部の
保護具を装填した部分の断面図である。　　　　　　　
　′− 符号、１・・・ホッパ一部、２・・・ハース部、３・・
・蒸発金属、４・・・切り欠き部、５・・・ホッパ一部
の保護具、６・・・ハース部の保護具。 −〇＼

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ホッパ一部とハース部の内側に蒸発金属に対し耐食性の
    セラミックスから構成された保護具を装填してなる電子
    ビーム蒸発装置において、前記保護具がホッパ一部のも
    のとハース部のものに分割されたものからなり、しかも
    ホッパ一部とハース部に密着するように形成され、かつ
    ハース部の側面に電子ビームが通過する切り欠き部を設
    けたものを装填してなることを特徴とする電子ビーム蒸
    発装置。
JP12736084U 1984-08-22 1984-08-22 電子ビ−ム蒸発装置 Granted JPS6067360U (ja)

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JP12736084U JPS6067360U (ja) 1984-08-22 1984-08-22 電子ビ−ム蒸発装置

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Publication Number Publication Date
JPS6067360U true JPS6067360U (ja) 1985-05-13
JPH0139713Y2 JPH0139713Y2 (ja) 1989-11-29

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JPH0139713Y2 (ja) 1989-11-29

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