JPS6067363U - 真空処理装置用治具 - Google Patents
真空処理装置用治具Info
- Publication number
- JPS6067363U JPS6067363U JP15937383U JP15937383U JPS6067363U JP S6067363 U JPS6067363 U JP S6067363U JP 15937383 U JP15937383 U JP 15937383U JP 15937383 U JP15937383 U JP 15937383U JP S6067363 U JPS6067363 U JP S6067363U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- protrusion
- vacuum processing
- processing equipment
- processed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図および第２図はそれぞれ本考案の一実施例を示し
たもので、第１図は正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線
における断面図である。 １・・・ホルダ、２・・・中空部、３・・・突起、４・
・・磁石、５・・・凹部、６・・・固定金具、７・・・
把手部、８・・・開口、９・・・マスク。
たもので、第１図は正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線
における断面図である。 １・・・ホルダ、２・・・中空部、３・・・突起、４・
・・磁石、５・・・凹部、６・・・固定金具、７・・・
把手部、８・・・開口、９・・・マスク。
Claims (1)
- 表面に被処理物を係支する突起が設けられた平板状のホ
ルダの内部に、複数の磁石を配設し、上記突起に係合す
るとともに上記磁石の磁力により上記突起に吸着される
固定金具を設けてなり、上記被処理物が係支された突起
に上記固定金具を吸着することにより、上記被処理物を
取付けるようにしたことを特徴とする真空処理装置用治
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15937383U JPS6067363U (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | 真空処理装置用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15937383U JPS6067363U (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | 真空処理装置用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6067363U true JPS6067363U (ja) | 1985-05-13 |
| JPH0126766Y2 JPH0126766Y2 (ja) | 1989-08-10 |
Family
ID=30350848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15937383U Granted JPS6067363U (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | 真空処理装置用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6067363U (ja) |
-
1983
- 1983-10-17 JP JP15937383U patent/JPS6067363U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0126766Y2 (ja) | 1989-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5859368U (ja) | 直流モ−タ用磁気回路 | |
| JPS60107551U (ja) | 電磁継電器 | |
| JPS608952Y2 (ja) | ビス入れ | |
| JPS598326Y2 (ja) | 吸着器 | |
| JPS58147214U (ja) | 鉄製枠付磁石 | |
| JPS58128698U (ja) | 液体処理装置 | |
| JPS60110920U (ja) | 照明器具 | |
| JPS5933838U (ja) | 搬送装置 | |
| JPS5928380U (ja) | 鉄製の扉に脱着の容易な牛乳の受箱 | |
| JPS6033575U (ja) | 電磁吸着器 | |
| JPS60126722U (ja) | 壁面取付具 | |
| JPS60138332U (ja) | 永久磁石界磁の保持装置 | |
| JPS58113083U (ja) | 表示装置 | |
| JPS6067193U (ja) | 液体処理装置 | |
| JPS5849915U (ja) | 係脱具 | |
| JPS5941565U (ja) | マグネツト式吸着具 | |
| JPS59126068U (ja) | ガラス扉用吸着具 | |
| JPS58169989U (ja) | 磁気脱着装置 | |
| JPS5950443U (ja) | ウエハホルダ装置 | |
| JPS58158541U (ja) | 水晶発振式タイマ−装置の取付具 | |
| JPS59128354U (ja) | 磁性ワ−クの研磨治具 | |
| JPS59170263U (ja) | 磁気探傷装置 | |
| JPS59171584U (ja) | 磁気吸着式掛け具 | |
| JPS607932U (ja) | 枠組治具 | |
| JPS5926859U (ja) | 質量分析装置のイオン源装置 |