JPH0126766Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は真空処理装置用治具に係り、特に蒸着
等の真空処理時に被処理物を取付ける真空処理装
置用治具に関する。

〔考案の技術的背景とその問題点〕

真空蒸着やスパッタリング等の真空処理を行な
う場合には、従来、真空処理装置内に設置された
治具のホルダに、被処理物をボルトおよびナツト
等を用いて取付けるようになされていた。

しかし、一度に多数の被処理物を取付ける場合
には、上記のような手段では被処理物の取付けに
手間がかかるため、真空処理を行なうのに非常に
多くの時間が必要となり、作業効率を低下させて
しまうという欠点を有している。

さらに、ボルトおよびナツトにより被処理物を
取付ける際に、上記ボルト等に付着したごみ等が
被処理物に付着してしまうおそれがあるという欠
点をも有している。

〔考案の目的〕 本考案は上記欠点を解消するためになされたも
ので、容易に被処理物の取付けを行なうことがで
き、しかも被処理物を汚すことのない真空処理装
置用治具を提供することを目的とするものであ
る。

〔考案の概要〕

上記目的達成のため本考案の真空処理装置用治
具は、表面に被処理物を係支する突起が設けられ
た平板状のホルダの内部に、複数の磁石を配設
し、上記突起に係合するとともに上記磁石の磁力
により上記突起に吸着される固定金具を設けてな
り、上記被処理物が係支された突起に上記固定金
具を吸着することにより、上記被処理物を取付け
るようにしたことを特徴とするものである。

〔考案の実施例〕

以下、本考案の実施例を第１図および第２図を
参照して説明する。

第１図および第２図は本考案る一実施例を示し
たもので、平板状のホルダ１の内側には中空部２
が形成されており、このホルダ１の両表面には、
ホルダ１の中心位置であつて長手方向に一定間〓
を有するように円形状の突起３，３…が設けられ
ている。上記ホルダ１の中空部２には、上記突起
３に対応する位置および上記各突起３の中間位置
に複数の磁石４，４…が配設されている。

また、一面側に上記突起３に係合する凹部５が
形成された円板状の固定金具６を設け、この固定
金具６の他面側には把手部７が一体に形成されて
いる。

本実施例においては、中央に孔部を有する被処
理物Ａを、ホルダ１の突起３に係合した後、固定
金具６の凹部５を上記突起３に係合させることに
より、被処理物Ａを固定する。この固定金具６
は、上記磁石４の磁力により吸着されるものであ
るため、固定金具６の脱着作業を容易に行なうこ
とができる。

また、被処理物Ａの周縁部等、蒸着等の処理を
行なう必要がない部分を覆うため、被処理物Ａの
直径より小径の開口８を有するマスク９が取付け
られており、このマスク９も磁石４の磁力により
吸着するようになされている。

したがつて、本実施例においては固定金具６お
よびマスク９の脱着が容易であるため、被処理物
Ａの取付時間を著しく短縮することができ、さら
に、磁石４が固定金具６およびマスク９ではな
く、ホルダ１側に設けられているので、固定金具
６やマスク９に付着した蒸着物等を容易に洗浄す
ることができる。

〔考案の効果〕

以上述べたように本考案に係る真空処理装置用
治具は、平板状ホルダの内部に複数の磁石を配設
し、上記ホルダの表面に設けられた突起に係止さ
れる被処理物を、上記磁石の磁力で上記突起に吸
着される固定金具により取付けるように構成した
ので、固定金具の脱着が容易となり、被処理物の
取付時間を大幅に短縮することが可能となる。ま
た、固定金具の突起への吸着を磁力により行なう
ので、ボルトとナツトのように被処理物にごみ等
が付着することがなく、被処理物を清浄な状態に
保つことができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本考案の一実施
例を示したもので、第１図は正面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ線における断面図である。 １……ホルダ、２……中空部、３……突起、４
……磁石、５……凹部、６……固定金具、７……
把手部、８……開口、９……マスク。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 表面に被処理物を係支する突起が設けられた平
   板状のホルダの内部に、複数の磁石を配設し、上
   記突起に係合するとともに上記磁石の磁力により
   上記突起に吸着される固定金具を設けてなり、上
   記被処理物が係支された突起に上記固定金具を吸
   着することにより、上記被処理物を取付けるよう
   にしたことを特徴とする真空処理装置用治具。