JPS6067809A - 放射線厚み測定装置 - Google Patents

放射線厚み測定装置

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JPS6067809A
JPS6067809A JP17659283A JP17659283A JPS6067809A JP S6067809 A JPS6067809 A JP S6067809A JP 17659283 A JP17659283 A JP 17659283A JP 17659283 A JP17659283 A JP 17659283A JP S6067809 A JPS6067809 A JP S6067809A
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JP
Japan
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frame
measured
radiation
thickness
detector
Prior art date
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Pending
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JP17659283A
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English (en)
Inventor
Kiyoshi Sato
清 佐藤
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/028—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring lateral position of a boundary of the object

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、被測定体のクラウン形状などを測定する放射
線厚み測定装置の改良に関する。
〔発明の技術的背景〕
第1図は従来の放射線厚み測定装置の構成図である。第
1図に警いて台車(Cフレーム)1には、その下部フレ
ーム1aに線源容器2および板端用の例えば光源3a、
3br3cが設けられ、上部フレーム1bに放射線厚み
検出器4および光検出器5a、5b、5cが設けられ、
それぞれ対向するように配置されている。つまり線源容
器2と放射線厚み検出器4とは対向配置され厚さ検出部
を構成し、また、光源3aと光検出器5a r 3 b
と5b、3aと5cとがそれぞれ対向して配置され、そ
れぞれ被測定体Mの板端を検出する端部検出部を構成1
−でいる。
そして、これら端部検出部3aと5a、31)と5 b
s 3 cと5cの各組は、クラウン形状測定において
基準値をめる被測定体M上での位置を得るために距離A
、Bをおいて被測定体1シの幅方向に対して平行に配置
されている。そうして、台車制御部(不図示)からの信
号にょシ駆動モークロが駆動するとCフレーム1はレー
ル7上を所定速度で速行し、被測定体Mの幅方向に対し
て走査を行なう。
クラウン形状測定は、例えば第2図(a)に示すような
りラウン測定走査シーケンスに従って行なわれる。なお
、Cフレーム1は被検査体Mの幅方向に対して平行に移
動するが、第2図1a)ではその移動を説明の度合上ず
らして示しである。
まず、厚み検出器4を被測定体Mの中央aに位置させる
。この位置aからCフレーム1を高速(例えば1001
11111/sea )で図面上右側に移動(これを以
下後退と呼ぶ)させて、厚み検出器4を被測定体Mの板
端外に位置させる。ここから逆にCフレーム1を図面上
左側に低速(例えば50m%5ec)で移動(以下、前
進と呼ぶ)させ、端部検出部J a r 5a Kよ勺
被測定体Mの端部が検出されるとその位置すでCフレー
ム1を停止させる。このとき、線源容器2と厚み検出器
4とは、b位置に到達しており、この位置すで被測定体
Mの厚みの平均値がめられ、その値を基準値とする。こ
の後、Cフレーム1が低速で前進し、これと同時に厚み
検出器4からの検出信号に基づいてクラウン形状測定が
行なわれる。そして、端部検出部、? c 、 5 e
により他方の端部が検出されるとCフレーム1は停止し
、厚み検出器4は位置Cに位置する。この位WCで再び
被測定体Mの厚みの平均値がめられ、この平均値をホー
ルドする。さらにCフレーム1を低速で前進させて端部
検出部Jb 、5bで端部を検出したところでCフレー
ム1を停止させる。そして、Cフレーム1を高速で後退
させて再び厚み検出器4を位置aに位置させる。
このよりにして被測定体M上を走査することKよシ第2
図(blに示すようなりラウン形状の測定結果が得られ
る。ガお、7は端部を検出したときの信号である。
〔背景技術の問題点〕
このように被測定体Mのクラウン形状を測定する場合、
その走査速度は、低速で、かつ一定である。このため、
幅の広い被測定体Mのクラウン形状の測定にはその走査
時間が長くなってしまう。特にクラウン形状測定は、被
測定体Mの走行を停止すなわちラインを停止させて行な
うため、走査時間が長くなる妃従ってそのラインの稼動
能率が悪くなってしまう。
さらに、クラウン形状の立上シの部分(クラウン形状測
定の基準値)bおよびこの部分すに対する他端部側の位
置Cでの測定精度を高くするには、その部分す、cの走
査速度を遅くしなければならない。
したがって、クラウン形状測定にかかる時間が長くなっ
てしまう。
〔発明の目的〕
本発明は上記実情に基づいてなされたもので、その目的
とするところは、クラウン形状測定の基準値の測定精度
を低下することなく、クラウン形状の測定時間を短縮し
得る放射線厚み測定装置を提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明は、被測定体の幅方向に走行するフレームに設け
られた放射線暉み検出器およびその線源をとおる被測定
体の走行方向線上に設けられた第1の端部検出部と、こ
の検出部から前記被測定体の端部と厚み基塩点との幅を
もって設けられた第2の端部検出部とに、さらに前記第
1の端部検出部から前記被測定体の端部と走行速度切換
点との幅をもって第3の端部検出部を設け、これら第1
1第2および第3の端部検出部からの信号によシ前記フ
レームの走行速度を変えて前記被測定体のクラウン形状
測定を行なう放射線厚み測定装置である。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を第3図ないし第4図La、)
 、 (b)を参照して説明する。なお、第1図および
第2図と同一部分には同一符号を付しである。第3図は
本発明に係る放射線厚み測定装置の構成図である。第3
図において台車(Cフレーム)1には放射線厚み検出器
4、第1の端部検出部を構成する光源3bおよび光検出
器5b。
第2の端部検出部を構成する光源3a、3aおよび光検
出器5a、5cが設けられている。つまり、Cフレーム
1の上部フレーム1aの先端から所定距離だけおいた位
置に放射線厚み検出器4が設けられており、この放射線
厚み検出器4は、下部フレーム1bにこの検出器4と対
向する位置に設けられた放射線源2から被測定体Mを透
過してきた放射線を検出し、その放射線に応じた検出信
号を出力するものである。
光検出器5bは、放射線厚み検出器4の放射線ビームが
通過する位置を通る被測定体Mの長手方向の所定位置に
設けられている。また、光検出器5a、5cは、光検出
器5bからそれぞれ被測定体Mに対して垂直方向に、被
測定体Mの端部と厚み基漁点との距離A、Bをもって配
置されている。つまシ、この距離A 、 Bは、第4図
(a) 、 (blに示す如く被測定体Mの端部から基
率値を得る位置す、cまでの距離に対応している。なお
、これら光検出器5a、5b、5cに対向する位置の下
部フレーム1bには、光源3a、3b、3cがそれぞれ
設けられている。
さらに、第3の板端検出部を構成する光検出器Ql、Q
2およびその光源Q P 、 Q 2’が光検出器5b
、光源3bから被測定体Mに対して垂直方向に、被測定
体Mの端部と走査速度(フレーム1の飛行速度)を変化
させる走行速度切換点との距離C,Dをもって配置され
ている。つまわ、放射線厚み検出器4が第4図(a) 
、 fb)に示す位置d、eにきたときその走査速度が
変化するように構成されている。なお、光検出器Ql。
Q2とその光源Ql’、Q2’とは、被測定体Mを介し
て対向するように設けられている。
また、このCフレーム1の後側には、このCフレーム1
を走行させる駆動モータ10が設けられている。この駆
動モータ10は例えば速度切換のスムーズなりCモータ
、コンパーメ制御によるACモータなどが用いられる。
なお、11゜12は車輪であシ、13はレールである。
そして、20ば、演算制御部であって、この演算制御部
20は、放射線厚み検出器4からの検出信号によシ被測
定体Mのクラウン形状を演算しめる演算部21と、光検
出器5 a 、 5 b +5cおよび光検出器Ql、
Q2からの検出信号に基づいて駆動モータ100回転速
度を制御する台車制御部22および記録計23などから
構成されている。この記録計23における記録紙(チャ
ート)送りは、Cフレーム1の走行速度に同期している
。
次に上記の如ぐ構成された装置の動作について説明する
。測定前、Cフレーム1は、放射線厚み検出器4が被測
定体(鋼板)Mのラインセで、台車制御部22によりC
フレーム1は、第4図(a)において右側方向に高速(
例えば100m/5ea)で後退し、放射線厚み検出器
4を被演1j定体Mの外側の位置に停止させる。この停
止は、光検出器5Cまたは光検出器Q2からの検出信号
によシ放射線厚み検出器4が被測定体Mを外れた位置に
きたと判断して行なわれる。ここで、放射線源2のシャ
ッタが開となる。
次に、Cフレーム1は、低速(例えば50閣/5eC)
で前進し、光検出器5aからの信号によシフラウン形状
測定の基量値を得る厚み基漁点すで停止する。つまシ、
放射線厚み検出器4は、端部から距離Aだけラインセン
タ側に位置している。ここで基量値とする被測定体Mの
板厚の平均値が測定される。
測定終了すると、再びCフレーム1は低速で前進し、光
検出器Qノが端部を検出すると、台車制御部22によ、
υCフレーム10走行速度は高速(100ジBeC)と
なる。すなわち、放射線厚み検出器4が走行速度切換点
dに達すると、Cフレーム1の走行速度は高速となる。
そうして、光検出器Q2が他方の被測定体Mの端部を検
出するとつtb放射線厚み検出器4が走行速度切換点e
に達すると、再びCフレーム1の走行速度は低速(50
−5ec )とな)、さらにこの低速で前進して光検出
器5cが他方の端部を検出すると、CフレームIは停止
する。このとき放射線厚み検出器4は第4図に示す位置
Cに位置し、この位置Cの板厚が測定され、この値をホ
ールドする。ホールド後、Cフレーム1は低速で前進し
、光検出器5bにょシ端部が検出サレると、Cフレーム
1は停止する。ここで、放射線源2のジャツメは閉じら
れる。そうして。
Cフレーム1は高速で後退し、測定開始前の位置(ライ
ンセンタ)aで停止する。このラインセンタでの停止は
、Cフレーム1に設けられているリミットスイッチによ
)行なわれる。
これによル、放射線厚み検出器4がらの検出信号に基づ
いて演算部21にょ)第4図(b) K示すようなりラ
ウン形状測定結果が得られる。なお、クラウン形状測定
を行なわない場合本装置は、被測定体Mの任意の位置例
えばラインセンタ部における板厚の連−続測定を行なう
。
このように本装置においては、光検出器5a。
5br5cおよびその光源3a、3b、3aの他に新た
忙光検出器Ql 、Q2およびその光源Q1’、Q2’
を設け、クラウン形状測定の基進値を得る近傍の走行速
度(走査速度)を遅くし、その他の部分の走行速度を速
くしてクラウン形状測定を行々うので、基池値を得る近
傍の値(板端部における立上りの測定値)の精度を低下
させず、かつり2ウン形状測定にかかる時間を従来のも
のよ)短縮するととができる。特に被測定体Mの幅が長
いものに対しては、その測定時間をはるかに短くすると
とができる。
これによシ、クラウン形状測定によるラインの停止時間
を短縮することができ、そのラインの稼動率を大幅に上
げることができる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものではない
。上記一実施例では、Cフレーム1の走行速度(放射線
厚み検出器4の走査速度)を高速(100Wuv/se
c )、低速(50+H6/aec)、としたが、これ
らの速度値に限定されるものではない。
また、第5図に示す如く台車制御部22に、速度設定器
3θを設は各間(例えばbからd%dからel θから
C・・・)における速度を任意に設定できるようにして
もよい。さらに、板端部およびその他の部分における走
査速度は、その測定の目的に応じて光検出器Ql、Q2
からの信号によって切換えるようにしてもよい。
また、演算部21、台車制御部22は、マイクロコンピ
ュータによ多構成してもよい。
〔発明の効果〕
本発明によれば、第1の端部検出部、被測定体の端部と
厚み基漁点との幅をもって設けられた第2の端部検出部
および被測定体の端部と走行速度切換点との幅をもって
設けられた第3の端部検出部からの信号に基づいて走査
速度を変えてクラウン形状測定を行なうので、クラウン
形状測定の基漁値の測定精度を低下−Fふとh方く、ク
ラウン形状の測定時間を短縮し得る放射線厚み測定装置
を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の放射線厚み測定装置の構成図、第2図(
a)、 lblは第1図に示す装置の測定動作を説明す
るための図、第3図は本発明に係る放射線厚み測定装置
の一実施例を示す構成図、第4図(a)、 [b)は本
装置の動作を説明するための図で、第4図(alはクラ
ウン測定走査シーケンス図、第4図Cb)はクラウン形
状測定の結果を示す図、第5図は本装置の変形例を示す
構成図である。 1・・・台車(Cフレーム)、2・・・線源容器、3a
。 J b 、 3 c・・・光源、4・・・放射線厚み検
出器、5a。 5 h * 5c・・・光検出器、Ql、Q2・・・光
検出器、Q 7’ 、 Q 2’・・・光源、10・・
・駆動モータ、20・・・演算制御部、21・・・演算
部、22・・・台車制御部、23・・・記録計、M・・
・被測定体。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被測定体の幅方向に対して走査を行ない前記被測定体の
    クラウン形状を測定する放射線厚み測定装置において、
    前記被測定体の幅方向に対して走行するフレームに設け
    られた放射線源および放射線厚み検出器と、これら放射
    線源および放射線厚み検出器をとおる前記被測定体の走
    行方向線上に設けられ前記被測定体の端部を検出する第
    1の端部検出部と、この第1の端部検出部から前記被測
    定体の端部とこの内側に位置する厚み基漁点との幅をも
    って配置された第2の端部検出部と、この第2の端部検
    出部の外側に前記第1の端部検出部から前記被測定体の
    端部と前記フレームの走行速度を切換える走行速度切換
    点との幅をもって配置された第3の端部検出部と、前記
    第11第2および第3の端部検出器からの信号によシ前
    記厚み基単位置近傍での前記フレームの走行速度よシ、
    それ以外の位置での前記フレームの走行速度を速くする
    制御手段と、前記放射線厚み検出器からの検出信号に基
    づいてクラウン形状をめる演算手段とを具備したことを
    特徴とする放射線厚み測定装置。
JP17659283A 1983-09-24 1983-09-24 放射線厚み測定装置 Pending JPS6067809A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2026042812A1 (ja) * 2024-08-22 2026-02-26 横河電機株式会社 測定装置、測定方法、および測定プログラム

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WO2026042812A1 (ja) * 2024-08-22 2026-02-26 横河電機株式会社 測定装置、測定方法、および測定プログラム

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