JPH02103408A - シート厚さ測定装置 - Google Patents

シート厚さ測定装置

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JPH02103408A
JPH02103408A JP63256459A JP25645988A JPH02103408A JP H02103408 A JPH02103408 A JP H02103408A JP 63256459 A JP63256459 A JP 63256459A JP 25645988 A JP25645988 A JP 25645988A JP H02103408 A JPH02103408 A JP H02103408A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁界利用センサーと光センサーとを併用して
紙シート等のシートの厚さを測定するためのシート厚さ
測定装置に関するものである。
従来の技術 従来のこの種のシート厚さ測定装置は、添付図面の第5
図に概略的に示すように、金属性バックアッププレート
1の上に載置した紙シート2の上にそって磁気センサー
や渦電流センサー等の磁界利用センサー3と光センサ−
4とを含むセンサー組合せ体5を走査していくことによ
り、紙シート2の厚さを測定している。原理的には、金
属性バックアッププレート10表面までの距離l、を磁
界利用センサー3にて測定し、紙シート2の上面までの
距離12を光センサ−4にて測定し、その点での紙シー
ト2の厚さtを、次の式にて求めることによっている。
t=1.−12 ・・・・・・・・・(1)発明が解決
しようとする課題 しかしながら、このような従来のソート測定装置によっ
て実際に測定してみると、1/100+nm程度の精度
では問題なく測定できるのであるが、1/1000+n
m程度の精度まで測定しようとすると問題があった。こ
の問題は、金属性ハックアンププレートに対してセンサ
ーを移動させながら測定する場合に特に著しい。
例えば、紙シート2が載置されていない金属性バックア
ッププレート1の表面上にそってセンサー組合せ体5を
走査させて、その時の磁気センサー3の出力特性と光セ
ンサ−4の出力特性を記録してみると、第6図に示すよ
うになった。第6図(A) は、磁気センサー3の出力
特性の一例を示し、第6図(B)は、光センサ−4の出
力特性の一例を示している。この場合における磁気セン
サー3の出力特性と光センサーの出力特性とは、同一の
面を測定しているのであるから、同一形状とならなけれ
ばならないのであるが、第6図(八)と第6図(B) 
 とを比較すると明らかなように、磁気センサー3の出
力特性は、光センサ−4の出力特性の変化に比べて大き
く複雑に変化している。この原因は、各種の実験、文献
調査等から推察できることであるが、金属性バックアッ
ププレートの局部的な帯磁、材質の不均一等が磁気セン
サーの誤差原因となっているものと思われる。また、金
属性バックアッププレートに磁性体を使用した場合、部
にマグネット等を付は局部的に帯磁(数ガウス程度)さ
せた後、走査すると、磁気利用センサーの出力は、数十
μm分の変動を示す。また、ガウスメーターでバックア
ッププレートの表面を調べ、変動の全くないところ(ガ
ウスメーターの分解能は、0.1ガウス)でも、大きな
変動を示すところがある。このようなことは、金属性バ
ックアッププレートに非磁性体を使用し、渦電流型磁気
センサーを使用しても同様の問題が生じてしまう。この
ような、特に、磁界利用センサーによる誤差が、この種
のシート厚さ測定装置の測定精度を上げる上での支障と
なっているものと考えられる。
本発明の目的は、前述したような従来の問題点を解消し
たシート厚さ測定装置を提供することである。
課題を解決するための手段 本発明によれば、金属性バックアップ面の上のシートに
そって磁界利用センサーおよび光センサーを走査して、
前記磁界利用センサーの距離測定値と前記光センサーの
距離測定値とに基づいて、前記シートの厚さを測定する
シート厚さ測定装置において、前記シートの載置されて
いない状態にて、前記磁界利用センサーおよび光センサ
ーのうち、少なくとも前記磁界利用センサーによって前
記金属性バックアップ面上にそって測定した距離測定値
に基づく補正用測定値を記憶するための記憶手段と、前
記金属性バックアップ面の上に前記シートが載置された
状態にて測定された前記磁界利用センサーおよび光セン
サーによる距離測定値のうち、少なくとも前記磁界利用
センサーによって測定された距離測定値を、前記記憶手
段に記憶された前記補正用測定値によって補正する補正
手段とを備えることを特徴とする。本発明のシート厚さ
測定装置は、補正手段によって、少なくとも磁界利用セ
ンサーによる距離測定の誤差を補正することにより、シ
ート厚さの測定精度を向上させることができる。
実施例 次に、添付図面の第1図から第4図に基づいて、本発明
の実施例について本発明をより詳細に説明する。
第1図は、本発明の一実施例としての紙シート厚さ測定
装置の概略構造を示す正面図、第2図は、その側面図で
ある。第1図によく示されるように、両側の支持フレー
ム100間に水平に金属性バックアッププレート11が
支持されている。また、支持フレームlOの間には、金
属性バックアッププレート11の上にそれと平行に間隔
を置いてリニアベアリング12が支持されている。この
リニアベアリング12には、磁界利用センサーと光セン
サーとを組み合わせて有する紙厚さセンサー50がスラ
イド可能に支持されている。この紙厚さセンサー50は
、走査用ステッピングモーター13によって駆動される
スプロケット14の間に掛けられたチェーン15に接続
されていて、走査用ステッピングモーター13の作動に
より、リニアベアリング12にそって移動させられるよ
うになっている。さに、図において左側のスプロケット
14の近傍には、原点検出用近接スイッチ16が配置さ
れている。
このような本発明のシート厚さ測定装置においては、金
属性バックアッププレート11の上の紙シートの厚さの
測定に入る前に、金属性バックアッププレー)11の上
に紙シートのない状態において、次のようにして、磁気
利用センサーの誤差原因である、その金属性バックアッ
ププレート11の磁気パターンを読み込む作業を行う。
第3図は、第1図および第2図に示したシート厚さ測定
装置の制御部の構成を略示したブロック図であり、この
第3図の示されるように、この制御部は、主として、マ
イクロコンピュータ等で構成される中央処理装置CPU
と、各種測定データを記憶しておくためのメモリー17
と、紙厚さセンサー50の磁界利用センサー51による
距離測定信号を増幅する増幅器18と、紙厚さセンサー
50の光センサ−52による距離測定信号を増幅する増
幅器19と、各増幅器18および19によって増幅され
たアナログ値である各距離測定信号をそれぞれデジタル
データに変換するためのA/Dコンバーター20および
21と、走査用ステッピングモーター13の作動を制御
するためのステッピングモーターコントロール回路22
と、原点検出用近接スイッチ16およびその他の制御用
近接スイッチ16A(第1図および第2図には示してい
ない)のための入出力回路23と、測定結果をCRT、
レコーダー、プリンタ等へ出力するための出力回路24
とを備えている。
まず初めに、中央処理装置CPUは、走査用ステッピン
グモーター13へ指令を送り、紙厚さセンサー50が原
点位置にくるようにせしめる。すなわち、紙厚さセンサ
ー50によって原点検出用近接スイッチ16が作動され
る位置まで、走査用ステッピングモーター13を作動さ
せて、紙厚さセンサー50を移動させる。次に、その原
点位置より、紙厚さセンサー50による走査を開始させ
る。この走査は、基準渣の読み込みのための記憶走査と
称する。走査用ステッピングモーター13によって、紙
厚さセンサー50が一定距離送られる毎に、磁界利用セ
ンサー51の距離測定信号を、増幅器18およびA/D
コンバーター20を介してメモリー17にデジタルデー
タとして記憶させ、且つ光センサ−52の距離測定信号
を、増幅器19およびA/Dコンバーター21を介して
デジタルデータとしてメモリー17に記憶させる。すな
わち、紙シートを載置していない金属性バックアッププ
レート11の上にそって紙厚さセンサー50を走査させ
ながら、各点における測定データは、第4図(A)およ
び(B)に示すようなイメージで、中央処理装置CPU
を介してメモリー17に記憶されていく。第4図(A)
は、磁界利用センサー51による各測定ポイントにおけ
る測定データの変化を示し、第4図(B)は、光センサ
−52による各測定ポイントにおける測定データの変化
を示している。各測定点での磁界利用センサー51によ
る距離測定値(金属性バックアッププレート11の上面
から磁界利用センサー51までの距離)を、1.1.と
し、光センサ−52による距離測定値(金属性バックア
ッププレート11の上面までの距離)を、12stdと
する。
次回からの走査(計測走査と称する)は、金属性バック
アッププレート11の上の測定すべき紙シートを載置し
た状態において行う。紙厚さセンサー50を再び原点か
ら移動させて、紙厚さセンサー50が各測定ポイントに
達する毎に、中央処理装置CPUは、その時々の磁界利
用センサー51による距離測定値(金属性バックアップ
プレート11の上面までの距離)を1111Es、光セ
ンサ−52による距離測定値(紙シートの上面までの距
離)を12111ESとして、前の記憶走査において取
り込んだ基準値11sLdおよび12stdとの間のそ
れぞれの差し引き変化分Δ11およびΔ12を次の式に
従って算出する。
Δ11 ” 11std  l IMES・・・・・・
(2)Δ12=12St、−12.4.s・・・・・・
(3)この結果から、紙シートの厚さtを次の式に従っ
て求める。
t=Δ11−Δ12 ・・・・・・・・(4)このよう
にすれば金属性バックアッププレート11が磁界利用セ
ンサー51に与える悪影響を取り除くことができる。
なお、基準値記憶走査において、光センサ−52による
12std値を一々記憶しなくとも理論的には可能であ
るが、この場合には、紙厚さセンサー50と金属性バッ
クアッププレート11との間の距離をどの走査位置にお
いても同一に保つ必要がある。また、前述の実施例では
、l 1itdおよび12iLdを各々別々にメモリー
17に記憶させたのであるが、次のような式に従ってj
stdを算出してそのjitdを記憶し、 j std ” l l!tcl  l 1std・・
・・・・(5)計測走査時のデータ’ +112s% 
 12)IEsとがら、次の式に従って紙シートの厚さ
tを求めるようにしてもよい。
j ;11MES  I 2MES  i std  
・・・・(6)この方法のほうが、メモリー17の容量
が半分以下ですむ。
さらにまた、前述した実施例では、基準値の記憶走査を
片方向走査のみで説明したが、精度向上のためには、基
準値の記憶走査を、紙厚さセンサーの往復移動によって
行うようにしてもよい。また、紙厚さセンサー50の走
査動力にステッピングモーターを使用し、駆動と位置制
御とをオープンループ方式にて行う場合について説明し
たのであるが、サーボモーターとロータリーエンコーダ
ーとを使用してフィードバック方式にて行うようにする
こともできる。
また、前述した実施例の説明では、測定基準面に金属性
バックアッププレートを用いた場合であったが、被測定
材によってはプレートに擦れることを嫌う場合がある。
この場合には、測定基準面をロールとする必要がある。
測定基準面をロールにした場合には、紙厚さセンサーと
ロール面との相対位置の変化は、走査方向だけでなく、
ロールの回転方向成分も加わることになる。従って、ロ
ール表面の同一位置を螺旋状に記憶および計測走査して
やらなければならない。そのためには、ロールの回転量
を計測するセンサー(ロータリーエンコーダー等)と回
転方向の原点信号を計測するセンサーを追加設置する必
要がある。この回転量信号と原点信号をもとに、紙厚さ
センサーの移動速度および移動開始点をロールの回転量
に同期して適切に制御すれば、常に、ロールの同一面を
走査することができる。
発明の効果 本発明によれば、金属性バックアップ面の上のシートに
そって磁界利用センサーおよび光センサーを走査して、
前記磁界利用センサーの距離測定値と前記光センサーの
距離測定値とに基づいて、前記シートの厚さを測定する
シート厚さ測定装置において、前記磁界利用センサーに
よる距離測定の誤差を補正することができるので、シー
ト厚さの測定精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例のシート厚さ測定装置の構
造を概略的に示す正面図、第2図は、第1図のシート厚
さ測定装着の構造を概略的に示す側面図、第3図は、第
1図および第2図のシート厚さ測定装置の制御部の構成
を概略的に示すブロック図、第4図は、第3図の制御部
による基準値の記憶走査における各センサーによるデー
タの取り込み態様を説明するための図、第5図は、従来
のシート厚さ測定装置の原理を説明するための概略図、
第6図は、第5図のシート厚さ測定装置の磁界利用セン
サーおよび光センサーによる距離測定値の変化を例示す
る図である。 2・・・・・・紙シート、  10・・・・・・支持フ
レーム、11・・・・・・金属性バックアッププレート
、12・・・・・・リニアベアリング、 13・・・・・・走査用ステッピングモーター14・・
・・・・スプロケット、  15・・・・・・チェーン
、16・・・・・・原点検出用近接スイッチ、17・・
・・・・メモリー、 18.19・・・・・・増幅器、
20.21・・・・・・A/Dコンバーター22・・・
・・・ステッピングモーターコントロール回路、23・
・・・・・入出力回路、  2 50・・・・・・紙厚さセンサー 51・・・・・・磁界利用センサー 4・・・・・・出力回路、 52・・・・・・光センサー 第1図 第2図 第4図 磁 各溝定ポイント 各測定ポイント 第5図 m− 第6区 走査位置 不 走査位置

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 金属性バックアップ面の上のシートにそって磁界利用セ
    ンサーおよび光センサーを走査して、前記磁界利用セン
    サーの距離測定値と前記光センサーの距離測定値とに基
    づいて、前記シートの厚さを測定するシート厚さ測定装
    置において、前記シートの載置されていない状態にて、
    前記磁界利用センサーおよび光センサーのうち、少なく
    とも前記磁界利用センサーによって前記金属性バックア
    ップ面上にそって測定した距離測定値に基づく補正用測
    定値を記憶するための記憶手段と、前記金属性バックア
    ップ面の上に前記シートが載置された状態にて測定され
    た前記磁界利用センサーおよび光センサーによる距離測
    定値のうち、少なくとも前記磁界利用センサーによって
    測定された距離測定値を、前記記憶手段に記憶された前
    記補正用測定値によって補正する補正手段とを備えるこ
    とを特徴とするシート厚さ測定装置。
JP63256459A 1988-10-12 1988-10-12 シート厚さ測定装置 Expired - Lifetime JPH0648185B2 (ja)

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