JPS606824A - 原点回路 - Google Patents
原点回路Info
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- JPS606824A JPS606824A JP11408883A JP11408883A JPS606824A JP S606824 A JPS606824 A JP S606824A JP 11408883 A JP11408883 A JP 11408883A JP 11408883 A JP11408883 A JP 11408883A JP S606824 A JPS606824 A JP S606824A
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- JP
- Japan
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- origin
- signal
- circuit
- detector
- selection
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/06—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for operation by a null method
- G01D3/063—Comparing the measuring value with a reference value which periodically or incidentally scans the measuring range
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は原点回路、特に工作機械の工具位置の制御等の
ために使用される位置検出器と原点検出器とを組合せて
その位置検出器のスケールの格子点の間隔内で発生タイ
ミング可変の選択信号から原点検出器の出力に応答して
原点位置信号を選択する方式の原点検出回路における原
点位置信号の発生点の調整手段の改良に関する。
ために使用される位置検出器と原点検出器とを組合せて
その位置検出器のスケールの格子点の間隔内で発生タイ
ミング可変の選択信号から原点検出器の出力に応答して
原点位置信号を選択する方式の原点検出回路における原
点位置信号の発生点の調整手段の改良に関する。
背景技術とその問題点
従来、位置検出装置、例えば磁気スケール装置を使用し
て、工作機械の工具位置等Ｙ読取る場合、原点検出用と
して高精度な原点検出器ｌ・使用し。
て、工作機械の工具位置等Ｙ読取る場合、原点検出用と
して高精度な原点検出器ｌ・使用し。
そのオン−オフ４１４号を原点位置信号として利用して
（・た。しかして、数値制御装置では例えはレゾルバ、
インダクトシン等ヶ位置検出装置として使用しその格子
点信号を原点検出器の出力によって選択して、それ馨原
点位置信号とする方法が一般的に行なわれている。この
場合５位置検出装置の格子点のピッチが長い（２Ｎ）た
め、原点検出器としては、ドッグとリミットースイッチ
ン併用したものが用いられ、該スイッチから格子点選択
信号ン作っている。
（・た。しかして、数値制御装置では例えはレゾルバ、
インダクトシン等ヶ位置検出装置として使用しその格子
点信号を原点検出器の出力によって選択して、それ馨原
点位置信号とする方法が一般的に行なわれている。この
場合５位置検出装置の格子点のピッチが長い（２Ｎ）た
め、原点検出器としては、ドッグとリミットースイッチ
ン併用したものが用いられ、該スイッチから格子点選択
信号ン作っている。
一方、前記碌２気スケール装＠ン位置検出装置どして使
用１−る場合でも、最近より高精度な位餘読取りが要求
されるため、上述した数値制御装置における原点検出力
式ケ採用することが検討されている。
用１−る場合でも、最近より高精度な位餘読取りが要求
されるため、上述した数値制御装置における原点検出力
式ケ採用することが検討されている。
しかしながらかかる位置検出装置においては磁気スケー
ルの格子点ピッチが０．２ ｇと短いため、原点検出器
としては例えば、磁気抵抗素子ン内蔵した高精度スイッ
チを使用し、該スイッチの出力によって格子点信号を選
択しなければならない。
ルの格子点ピッチが０．２ ｇと短いため、原点検出器
としては例えば、磁気抵抗素子ン内蔵した高精度スイッ
チを使用し、該スイッチの出力によって格子点信号を選
択しなければならない。
しかも高精度な格子点信号の選択を可能とするにはＪ：
記高清夏スイッチは格子点ピッチの中央でオン１−るよ
うに設定する必袈がある。なぜならば選択信号（スイッ
チ出力）が格子点ピッチの中央で得られれば、何らかの
外乱によって最大格子点ピッチの半分まで選択信号の発
生位置がすれても原点位置信号として高精度な格子点信
号ン使用できるからである。
記高清夏スイッチは格子点ピッチの中央でオン１−るよ
うに設定する必袈がある。なぜならば選択信号（スイッ
チ出力）が格子点ピッチの中央で得られれば、何らかの
外乱によって最大格子点ピッチの半分まで選択信号の発
生位置がすれても原点位置信号として高精度な格子点信
号ン使用できるからである。
しかし上記選択信号が格子点ピッチの中央で？ｑられる
ように、前記高精度スイッチの設定位置を機械的かつ高
精度に微調整することは、前述したように格子点ピッチ
が非常に短いので大変難しい。
ように、前記高精度スイッチの設定位置を機械的かつ高
精度に微調整することは、前述したように格子点ピッチ
が非常に短いので大変難しい。
発明の目的
従って本発明の目的は原点検出器の設定位置の機械的な
微調整を不要とした原点回路ン提供するにある。
微調整を不要とした原点回路ン提供するにある。
本発明の他の目的は原点検出器の出力信号ン原点位置に
て選択する選択信号の発生タイミングを電気的に調整で
きる原点回路を提供するにある。
て選択する選択信号の発生タイミングを電気的に調整で
きる原点回路を提供するにある。
本発明の更に他の目的は特に位置検出器として位相変調
方式の磁気スケール装置を用いた原点回１２１ゲ提供す
るにある。
方式の磁気スケール装置を用いた原点回１２１ゲ提供す
るにある。
発明の概要
本発明の原点回路は上記目的を達成するため、被測定対
象との相対移動に応じて周期的に位置検出（ｉＩｉ号乞
兄生する位置検出器と、上記相対移動の原点位置近傍に
設置される原点検出器と、上記位置検出器のスケールの
格子点毎に該格子点の間隔内で元止タイミング可変の選
択信号乞発生する選択信号発生手段と、前記位置検出信
号より格子点間隔内の所足位置タイミングで原点基準信
号を発生１−る原点基準信号発生手段と、上記選択信号
のタイミング調整により原点基準信号との一致Ｙ検出す
る検出中段と、原点基準信号との一致時の選択（Ａ号及
び前記位１ａ検出伯号により上記原点検出器の出力信号
を選択して原点位置信号ン発生する原点位置イｈ号選択
手段と乞備えている。
象との相対移動に応じて周期的に位置検出（ｉＩｉ号乞
兄生する位置検出器と、上記相対移動の原点位置近傍に
設置される原点検出器と、上記位置検出器のスケールの
格子点毎に該格子点の間隔内で元止タイミング可変の選
択信号乞発生する選択信号発生手段と、前記位置検出信
号より格子点間隔内の所足位置タイミングで原点基準信
号を発生１−る原点基準信号発生手段と、上記選択信号
のタイミング調整により原点基準信号との一致Ｙ検出す
る検出中段と、原点基準信号との一致時の選択（Ａ号及
び前記位１ａ検出伯号により上記原点検出器の出力信号
を選択して原点位置信号ン発生する原点位置イｈ号選択
手段と乞備えている。
特に本発明の回路は前記位置検出器かイａ気スケールン
有する位相変調方式ンとる位置検出器であって、Ｍ記選
択信号発生手段が上記位置検出器からの周波像の異なる
基準信号より前記選択信号を発生させるように構成する
と品事１ν度の電気的に原点位置調整の可能な原点回路
として好適である。
有する位相変調方式ンとる位置検出器であって、Ｍ記選
択信号発生手段が上記位置検出器からの周波像の異なる
基準信号より前記選択信号を発生させるように構成する
と品事１ν度の電気的に原点位置調整の可能な原点回路
として好適である。
実施例
第１図は公仰り位相変調方式の磁気スケール装置乞使用
する位置検出回路の主要部の構成を示すブロック図で、
■は磁気スケール、２はｇ１％ ｌチャネル・ヘッド、
３は第２チヤネルｅヘツド、４は発振器、５は周ｅ敬逓
減回路、６は励磁回路、７は移相器、８はミキサ増幅回
路、９は帯域通過フィルタ、 １０はリミッタ増幅器、
１１は原点位置近傍に設置された前記高精度スイッチの
ような公仰の原点検１１＋器である。発振器４の出力信
号（基準信号）ケｆｏ、発振器出力の角周波数ゲＯＪ０
、逓減回路の出力をｆ ｏ ／ ２とするとき、ｆ６
＝ ｓｉｎ ω（ｔ で、リミッタ増幅器ＩＯの出力（位相変調信号）はスケ
ールの格子点ピッチをλ、スケールトヘッドとの相対変
位量ＹＸと１れば、 ５＝ｓｉｎ（ω。ｔ ＋−Ｅ−！！−ｘ ）λ である。
する位置検出回路の主要部の構成を示すブロック図で、
■は磁気スケール、２はｇ１％ ｌチャネル・ヘッド、
３は第２チヤネルｅヘツド、４は発振器、５は周ｅ敬逓
減回路、６は励磁回路、７は移相器、８はミキサ増幅回
路、９は帯域通過フィルタ、 １０はリミッタ増幅器、
１１は原点位置近傍に設置された前記高精度スイッチの
ような公仰の原点検１１＋器である。発振器４の出力信
号（基準信号）ケｆｏ、発振器出力の角周波数ゲＯＪ０
、逓減回路の出力をｆ ｏ ／ ２とするとき、ｆ６
＝ ｓｉｎ ω（ｔ で、リミッタ増幅器ＩＯの出力（位相変調信号）はスケ
ールの格子点ピッチをλ、スケールトヘッドとの相対変
位量ＹＸと１れば、 ５＝ｓｉｎ（ω。ｔ ＋−Ｅ−！！−ｘ ）λ である。
第２区は本発明による原点回路の一実施例の構成を示１
回路図で、ＦＦＩ及びＦＦ２はフリップフロラン回ＩＭ
、ＩＮＶＩ 〜ＩＮＶ３ バインバー７回路、ＬＧＰ。
回路図で、ＦＦＩ及びＦＦ２はフリップフロラン回ＩＭ
、ＩＮＶＩ 〜ＩＮＶ３ バインバー７回路、ＬＧＰ。
Ｌ Ｚ Ｄ Ｓ及びＬＺＧＳは発光ダイオード、八ＮＤ
Ｊ〜＾ＮＤ３はアンド回路、ＭＭはモノステーブルｓフ
ルチパ２イブレータ回路、Ｔはディジタル選択回路であ
る。
Ｊ〜＾ＮＤ３はアンド回路、ＭＭはモノステーブルｓフ
ルチパ２イブレータ回路、Ｔはディジタル選択回路であ
る。
ディジタル選択回路′■゛は複数のスイッチ８１〜Ｓｎ
、排他的論理和回路ＥＸ１〜ＥＸｎ及びアンド回路ＡＮ
Ｄ３等から成り、回路ＥＸ、〜ＥＸｎの夫々の一方の人
力には前記位置検出回路の周ｅ、数逓減回路５より周波
数の異なる基準信号ｆ□ｘｎｆＯが辱えられ、他方の入
力はスイッチＳ】〜Ｓｎ Ｙ介して接地されており、各
排他的論理和回路の出力はアンド回路ＡＮＤ３ ｙｒ−
介してアンド回路ＡＮＤＩの一方の人力に接続されてい
る。
、排他的論理和回路ＥＸ１〜ＥＸｎ及びアンド回路ＡＮ
Ｄ３等から成り、回路ＥＸ、〜ＥＸｎの夫々の一方の人
力には前記位置検出回路の周ｅ、数逓減回路５より周波
数の異なる基準信号ｆ□ｘｎｆＯが辱えられ、他方の入
力はスイッチＳ】〜Ｓｎ Ｙ介して接地されており、各
排他的論理和回路の出力はアンド回路ＡＮＤ３ ｙｒ−
介してアンド回路ＡＮＤＩの一方の人力に接続されてい
る。
フリップフロップ回路ＦＦＩのＤＩ端子と七ノステーブ
ル・マルチバイブレータ回路ＭＭの人力には位相変調信
号Ｓが与えられ、回路ＭＭの出力はアンド回゛路へＮＤ
Ｉの他方の入力に接続されており、該アンド回路の出力
はインバータ回路ＩＮＶＩ乞ブトして発光ダイオードＬ
ＰＧに接続されている。
ル・マルチバイブレータ回路ＭＭの人力には位相変調信
号Ｓが与えられ、回路ＭＭの出力はアンド回゛路へＮＤ
Ｉの他方の入力に接続されており、該アンド回路の出力
はインバータ回路ＩＮＶＩ乞ブトして発光ダイオードＬ
ＰＧに接続されている。
アンド回路ＡＮＤ２の入力にはアンド回路ＡＮＤ３の出
力へ、位相変調信号Ｓ及びフリップフロップ回路ＦＦ１
０）Ｑ１端子出力が辱えもれ、ＡＮＤ２の出力Ｃはフリ
ップフロップ回路ＦＦ２のり０ツク端子ＣＫ２に接続さ
れている。
力へ、位相変調信号Ｓ及びフリップフロップ回路ＦＦ１
０）Ｑ１端子出力が辱えもれ、ＡＮＤ２の出力Ｃはフリ
ップフロップ回路ＦＦ２のり０ツク端子ＣＫ２に接続さ
れている。
前記原点検出器］ｌの出力信号ＺＤＳはフリップフロッ
プ回路ＦＦ２のＤ２端子へ及びインバータ回に￥１ＩＮ
Ｖ２￥介して発光ダイオードＬＺＤＳに夫々りえられ、
ＦＦ２のＱ２端子はインバータ回路ＩＮＶ；３’ｔ−介
して発光ダイオードＪ、 Ｚ Ｇ Ｓに及び出力端子０
に夫々接続されて（・る。
プ回路ＦＦ２のＤ２端子へ及びインバータ回に￥１ＩＮ
Ｖ２￥介して発光ダイオードＬＺＤＳに夫々りえられ、
ＦＦ２のＱ２端子はインバータ回路ＩＮＶ；３’ｔ−介
して発光ダイオードＪ、 Ｚ Ｇ Ｓに及び出力端子０
に夫々接続されて（・る。
ディジタル選択回路Ｔにおいて、スイッチＳｌ〜Ｓｎは
２進的にオンオフできるバイナリイ・スイッチで、この
スイッチン適当に選択してオンすることにより第３図に
示す如（アンド回路ΔＮＤ３の出力（選択信号へ）は前
記スケールの格子点の間隔ｆ内でその発生タイミングを
調節できる。またモノステーブル書マルチバイブレーク
回路ＭＭは位相変調信号Ｓに応答して８ｇ３図に示１如
く格子点間隔内の所定位ＩＭタイミング（例えは中央）
で出力信号（原点基準信号Ｂ）を発生Ｊ゛る。
２進的にオンオフできるバイナリイ・スイッチで、この
スイッチン適当に選択してオンすることにより第３図に
示す如（アンド回路ΔＮＤ３の出力（選択信号へ）は前
記スケールの格子点の間隔ｆ内でその発生タイミングを
調節できる。またモノステーブル書マルチバイブレーク
回路ＭＭは位相変調信号Ｓに応答して８ｇ３図に示１如
く格子点間隔内の所定位ＩＭタイミング（例えは中央）
で出力信号（原点基準信号Ｂ）を発生Ｊ゛る。
さて工作６ａ４戒の工具のような被測定対象を前記スケ
ールに対し４１列移動させて原点位置近傍に来たら、発
光ダイオードＬ Ｚ Ｄ Ｓが点灯するまで、上記移動
乞ゆっくりと行なう。発光ダイオードＬ Ｚ Ｄ Ｓが
点灯した瞬間に上記移動を停止させ、この時、原点検出
器１１の出力信号ＺＤＳが発生しフリップフロップ回路
ＦＦ２７セツトする。
ールに対し４１列移動させて原点位置近傍に来たら、発
光ダイオードＬ Ｚ Ｄ Ｓが点灯するまで、上記移動
乞ゆっくりと行なう。発光ダイオードＬ Ｚ Ｄ Ｓが
点灯した瞬間に上記移動を停止させ、この時、原点検出
器１１の出力信号ＺＤＳが発生しフリップフロップ回路
ＦＦ２７セツトする。
上記停止位置でスイッチ８１〜Ｓｎを適白に選択してオ
ンさせて発光ダイオードＩ、ＵＰが点灯するように１〜
る。この時、選択信号Δは第４図（ａｌに示す如く原点
基準信号Ｂと一致しており、従って格子点間隔の中央に
設定されたことになる。
ンさせて発光ダイオードＩ、ＵＰが点灯するように１〜
る。この時、選択信号Δは第４図（ａｌに示す如く原点
基準信号Ｂと一致しており、従って格子点間隔の中央に
設定されたことになる。
次に上記停止位置より更に被測定対象を移動させると、
上述の如く設定された選択信号へと位相変調信号Ｓとの
相対位置関係は第４図（ｂＪに示ｔようになり、この時
、アンド回路ＡＮＤ、より原点位置信号Ｃが出力され、
フリツノフロップ回路ＦＦ２のクロｆツク端子ＣＫ２
Ｋ ％えられる。従ってこの位置（Ｘｆ）原点）でＦ’
Ｆ２のＱ２端子からは出方端子０に正確な原点位置信号
ＺＧＬ ＩＪ″−旬られる。
上述の如く設定された選択信号へと位相変調信号Ｓとの
相対位置関係は第４図（ｂＪに示ｔようになり、この時
、アンド回路ＡＮＤ、より原点位置信号Ｃが出力され、
フリツノフロップ回路ＦＦ２のクロｆツク端子ＣＫ２
Ｋ ％えられる。従ってこの位置（Ｘｆ）原点）でＦ’
Ｆ２のＱ２端子からは出方端子０に正確な原点位置信号
ＺＧＬ ＩＪ″−旬られる。
なお原点位置信号発生の確認は発光ダイオードＬＺＧで
行なってもよいが、これは必須のものではない。
行なってもよいが、これは必須のものではない。
また本発明は上記実施例に限定されるものではなく、例
えば、ウィンドコンパレーク等により作られたような所
定の幅をもったゲート信号の位置に前記選択信号馨合わ
せる場合等に適用できる。
えば、ウィンドコンパレーク等により作られたような所
定の幅をもったゲート信号の位置に前記選択信号馨合わ
せる場合等に適用できる。
発明の詳細
な説明した所から明らかなように本発明によれば、真の
原点位置に正確に対応し、た原点位置も号を得ることが
でき、しかも原点検出器用カ馨違択するための選択信号
の発生タイばングは電気的かつディジタルに調整できる
ので、原点検出器の機誠的微Ａ整は不要である。従って
原点検出器の精度は必らずしも高精度のものでなくても
よく。
原点位置に正確に対応し、た原点位置も号を得ることが
でき、しかも原点検出器用カ馨違択するための選択信号
の発生タイばングは電気的かつディジタルに調整できる
ので、原点検出器の機誠的微Ａ整は不要である。従って
原点検出器の精度は必らずしも高精度のものでなくても
よく。
特に磁気スケールのような格子点ピッチの狭い場合に好
適である。
適である。
第１図は位瞠恢出回路の一例な示づブロック図、第２図
は本発明の一実施例な示すブロック図、第３図及び第４
図１ａ）＊ （ｂＪは上記実施例の動作説ツ」用波形図
である。 ■・・・磁気スケール、２ 、 ３・・・ヘッド、１１
・・・原点検出器。 手続補正書 昭和５９年２り〆日 １、事件の表示 昭和５８年特許願 第１１４０８８号 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスクール株式会社４代理人〒１０
５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル５
補正の対象 （１） 本願明細書第６頁第１５行乃至第１７行を下記
の通り補正する。 「原点検出器である。逓減回路５の出力信号を〉４、そ
の角周波数を刃 とすると」 （２） 同書第８頁第７行ｆ−ＬＰＣ，Ｊを［しＧＰＪ
に補正する。 （３）同書第ｉｏ頁第４行ＵＡＮＤＩＪを「ＡＮＤ２Ｊ
に補正する。 （４） 同頁第ｉｏ行ｒ Ｌ Ｚ ＧＪをｒＬＺＧｓＪ
に補正する。 （５）第１図及び第２図を別紙の通り補正する。
は本発明の一実施例な示すブロック図、第３図及び第４
図１ａ）＊ （ｂＪは上記実施例の動作説ツ」用波形図
である。 ■・・・磁気スケール、２ 、 ３・・・ヘッド、１１
・・・原点検出器。 手続補正書 昭和５９年２り〆日 １、事件の表示 昭和５８年特許願 第１１４０８８号 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスクール株式会社４代理人〒１０
５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル５
補正の対象 （１） 本願明細書第６頁第１５行乃至第１７行を下記
の通り補正する。 「原点検出器である。逓減回路５の出力信号を〉４、そ
の角周波数を刃 とすると」 （２） 同書第８頁第７行ｆ−ＬＰＣ，Ｊを［しＧＰＪ
に補正する。 （３）同書第ｉｏ頁第４行ＵＡＮＤＩＪを「ＡＮＤ２Ｊ
に補正する。 （４） 同頁第ｉｏ行ｒ Ｌ Ｚ ＧＪをｒＬＺＧｓＪ
に補正する。 （５）第１図及び第２図を別紙の通り補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＋１） 被測定対象との相対移動に応じて周期的に位置
検出信号を発生する位置検出器と、上記相対移動の原点
位置近傍に設置される原点検出器と、上記位置検出器の
スケールの格子点毎に該格子点の間隔内で発生タイミン
グ可変の選択信号を発生する選択信号発生手段と、前記
位置検出信号より格子点間隔内の所定位置タイミングで
原点基準信号を発生する原点基準信号発生手段と、上記
選択４８号のタイミング調整により原点基準信号との一
致を検出する検出手段と、原点基準信号との一致時の選
択信号及び前記位置検出信号により上記原点検出器の出
力（ｇ号を選択して原点位置信号を発生する原点位置信
号選択手段とｔ備えたことを特徴とする原点回路。 ［２１前記位置検出器が値気スケール乞有する位相褒詞
方式χとる位置検出器であって、前記選択信号発生手段
が該位置検出器からの周波倣の異なる基準信号をディジ
タル的に選択するディジタル選択回路から成る特許請求
の範囲第１項記載の原点回路。 （３）前記ディジタル選択回路が核酸のスイッチと、該
スイッチと前記周波数の異なる基準信号とが夫々入力さ
れる複数の排他的論理和回路とを含むこと？：特徴とす
る特許請求の範囲第２項記載の原点１回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11408883A JPS606824A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 原点回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11408883A JPS606824A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 原点回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS606824A true JPS606824A (ja) | 1985-01-14 |
| JPH0370769B2 JPH0370769B2 (ja) | 1991-11-08 |
Family
ID=14628788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11408883A Granted JPS606824A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 原点回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606824A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003083771A (ja) * | 2001-07-03 | 2003-03-19 | Olympus Optical Co Ltd | エンコーダ |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP11408883A patent/JPS606824A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003083771A (ja) * | 2001-07-03 | 2003-03-19 | Olympus Optical Co Ltd | エンコーダ |
| US7825369B2 (en) | 2001-07-03 | 2010-11-02 | Olympus Corporation | Displacement sensor, method for detecting the optimal reference position, and method for judging stability of detecting reference position of displacement sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0370769B2 (ja) | 1991-11-08 |
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