JPS6068270A - 帯電防止容器用シ−ト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、例えばシリコンウェハ、Ｉ　Ｃ８半導体素
子、電子機器、培養室等帯電やはこりを嫌うもののり１
？電防止容器用シートに関する。

従来、この種のシートとして、ポリ塩化ビニルなどの熱
可塑性樹脂にカーボンブラックを配合して成形した導電
性のプラスチックシ〜１・が知られている。しかしなが
らこのシートは、カーボンブラック粒子がシート内で連
続して存在するほど多用に配合しないと所期の導電性が
得られないこと、多量配合によりそのプラスチック本来
の機械的物性が低下することがあること、薄手のシート
オたはフィルムを得ようとするとピンホールを生ずるた
め厚みにおのずから限界があり、甘だ厚手にすることは
コスト高になり経済上不利に１．「ること、前記シート
は黒色となってノｌラー化が不可能であること１カーボ
ンブラツクの取扱いは作業環境上余り好ましくはないこ
と、得られたシートｆ、ｙ−ｐ＜空成形などの二次加工
に供すると導電（’ｆミがかなり低下する傾向があるこ
となど種々の欠点がある。

この発明は、上記のような従来の欠点を根本的に解決す
るためになされたもので、導電性繊維と熱溶、敵性繊維
とのｍ雑混合物から形成された不織布を基材に重ね合せ
、前記熱溶融性繊維の溶融温度以下の温度に加熱融着し
て一体化構造とすることによりすぐれた帯電防止性を存
し、しかも機械的物性がすぐれ、極めて薄手のものであ
ってもピンホールがなく、真空成形などの二次加工に供
しても導電性は低下せず、カラー化も可能な帯電防止容
器用シート全行ることを目的とする。

以下、この発明の実施例を図面により説明する。

第１図、第２図はこの実施例に使用する不織布の一例金
示す平面図および側面図で、不織布１は導電性繊維２と
熱溶融性繊ＭＥ３とを混合してバインター法、ニードル
パンチング法など公知の方法により製造される。

導電性ｍ維２としては、銅１１＾ン着繊維、金属メッキ
繊維、炭素複合繊維、金属蒸着繊維、金属細線等を使用
している。

熱溶融性繊維３としては、ポリオレフィン糸繊維、ナイ
ロン系ｍ維、ポリエステル系繊維、アクリル糸繊維等の
種々の合成ｚｍ等があげられる。

第３図は一実施例における熱圧前の貼合物の側面図であ
る。４は基材であって、プラスチックシート、プラスチ
ックフィルム、編、織布、不織布、クロス、レザー、ゴ
ムなどを使用し、特にプラスチックシート寸たはプラス
チックフィルムが重要である。不織布１を基材４の表面
（図においては」二面）に重ね合せて貼合物５をノ杉戊
する。

この貼合物５の−１−面から、不織布１の中の熱溶融性
繊維３の溶融温度以上の温度に加熱して不織布１を基材
４に加熱融着すると、第４図に示すように不織布１は基
材４と一体とｔｒって導電性繊維２が基材４の表面に網
目のように固着した構造の帯電防止容器用シート６が形
成される。

不織布１の基材４に対する重ね合せは、−上記のように
基材４の片面全面に行ってもよいが、両面に行ってもよ
く更に各面の一部分に行ってもよい。

捷だ上記重ね合せは単なる重ね合せのほか、バインター
法たは熱による接着ないし貼合でもよい７、更に上記加
熱は、不織布１と基材４とを圧着しながら行うか、圧着
をせず加熱のみでもよい。

以上において熱溶融性繊維３と基材４とを同質系統の材
料を用いると、熱融着時に基材４も同時に溶融ないし軟
化して両者は一体化して不織布１は形態が消滅して導電
１１：繊維２のみが網目状に固着したシートとｌ「る。

第５図は不織布１を基材４の両面に加圧融着して帯電防
止容器７に形成したものである。

不織布１の厚さは特に限定はなく２０．Ｏｒ／ｍ″を越
える厚手のものから数グ／　ｍＩ程度の極薄のもの１で
用いることができる。この場合極薄の不織布１を用いて
も充分な導電性金示すシート又はフィルムが得られる。

また、不織布１を形成する繊維混合物中の導電性繊維２
０割合は００１〜９９（重量）係というように広い範囲
のものを使用できるが、好捷しい範囲は０１〜９５チで
ある。導電性繊−維２の割合が極端に少ないと導電性の
シート捷たはフィルムが得られず、一方導電性繊維２の
割合が極端に多いと相対的に熱溶融性繊維３が不足する
ため、基材４に対する導電性繊維２の固着が完全にはで
きなくなる。

不織布１を形成する熱溶融性繊維３の割合は、導電性繊
！２の割合に１．００％から引いた残余であるが、その
他の繊維を用いるときでも一全体の１係以上は用いない
と基材４に対する導電性繊維２さらには他の繊維の固着
効果が不足するようＧこなる０ 以上において、不織布１と基材４とを加熱するとき、こ
の加熱は基材４がプラスチックシートまたはフィルムで
あるときは、これらのプラスチックシート４たはフィル
ム製造時のダイスから吐出された直後の溶融樹脂の熱全
利用してもよく、また重ね合せた貼合物（積層物）５′
ｆＫ：真空成、形等に供するときの熱を利用してもよい
。加熱工程のいくつかを例示してみると次のようになる
。。

（イ）不織布１と基材４を重ね合せると同時に、加熱ロ
ール間を通す。

（ロ）不織布１と基材４を貼合後、加熱ロール間を通す
。

（ハ）重ね合せ寸たけ貼合した不織布１と基材４に加熱
気体を吹きったり赤外線照射して、加熱融着する。ある
、いはその後さらにロールで圧着する。

に）重ね合せまたは貼合した不織布１と基材４に加熱ロ
ールを押しあてる。

（ホ）不織布１上に基材４を溶融押出ラミネートして圧
着する。

（へ）不織布１と基材４を貼合後、真空成形や深絞成形
に供する。

かくしで得られたシートまたはフィルムは、さらに必要
に応じ延伸処理、真空成形、深絞成形、製袋等の工程に
供することができる。

なお、こうようにして得られる帯電防止容器用シート６
．７はこれらの製造中せたけ製造後に他の層を伺加して
もよい。

次に上記帯電防正賓器用シートの具体例について述べる
。

（イ）導電性繊維２として、太さ３デニール、長さ５．
の金属吸着繊維を１０％、熱溶融性繊維３として太さ３
デニール、長さ５（ｚのポリプロピレン繊維９０ｃ＄よ
りなる繊維混合物から作られた２　０　？　／　ｍ’の
不織布１を厚み０．２　ｍｍのポリプロピレンシートか
ら４「る基材４上に接着剤を用いて貼合した貼合物５を
温度１６０℃の熱ロール間を通過さセて不織布１古井材
４と全一体化して一層にしたものは、基材４の表面に金
属吸着繊維である導電性繊維２のみが網目状に固着した
ｆ＋）電防正賓器用シート６．７が得らねる。

このようＧこしで得られた’：’ｒ’ｆ電１（ｆｉ止止
器器用シート、導体繊維２の固着した表向を布で強く摩
擦したり、爪でこすったりしても全く剥耶せず機械的物
′ｌ’ｌ：のよいものが得られた。またロータリースタ
チックメータによる摩擦・ｊ１７電圧６Ｊ温＋＜；２（
１゜Ｃ１湿出１１０俤ＲＨでＯ，１Ｋ、　Ｖ以下であり
、裏面の摩擦帯電圧も１．、５　ｒ＜　ｖと小さく、元
のポリプロピレンシートのみのｌ’Ｋ　擦帯’ｆに圧力
が４６Ｋｖであったのに比しはるかに低い。また、この
シートの比抵抗はＪＯ°〜Ｉ　Ｏ−２，（１ｃｍであっ
た。

しかもこのシー　トを真空成形に供してトレーを製造し
たが導電性はほとんど低下しなかった。

（ロ）導電性繊維２としてニッケルメッキ繊維ヲ５チ、
熱溶−ＰＩ：　ｆ’ｆ二繊肩ｒ３としてナイロン繊糸ｆ
ｌ：６５チ、他の繊維としてアクリルｍ維３０％を混合
した不織布１をフィルム１にの基材４の両面に重ね合せ
た後、温度１６０℃で加熱圧着して一体化、一層とした
ものは両面に導電性絢１爵［２、アクＩＪ　／し繊維（
図示せず）が網目状に固着したフィルムとして得られる
。このフィルムの表面の摩擦（ｉ′ｇ電圧は（江ぽゼロ
で比抵１ず「は１０−５ΩＣ１ηであった。

（ハ）具体例（イ）におりる不織布１をパイル目イゴ８
００ｙ　／　ｍ’のアクリルカーペットの裏面に貼り付
熱融着したところ、強制バ１擦によっても２３００ｖｔ
でしか帯電せず、電撃感知限界である３０００Ｖに達し
なかった。７′：（お、裏１ｆ１３に不織布１余貼り付
目なかった場合は強制ザ擦により帯？Ｉｉ圧は７０００
Ｖ以」−になった（、 第６図は、」二記帯電防正賓器用シート６．７を用いて
真空成形し−〔形成した半導体等の帯電防止容器８を示
し、半導体等を収納する収納凹部９が適数段りら・れた
ものである。このようｌ「帯電防止容器８を用いること
により半導体を静電気による破壊全防止することができ
る。

以上のようにこの発明によれば、導電′１１供ｔｅｌと
熱溶融性繊維のｔＪ＋２　＠ｐ混合物から／「る不織布
を熱融着等により基材に導電性繊維を網目状に固着した
構造であるから、カーボンブラック等の粉体の取扱いが
ない。従って作業環境がよい。またカーホンブランクに
よる黒化がないからシートのカラー化が可能である。基
材としてプラスチックシートあるいはプラスデックフィ
ルムを使用することによりシートの厚みを広い範囲でと
れ、薊くてもピンホールがなく、厚くてもコストが高く
ならｔ「い。

更にこのシートを真空成形や深絞成１影、柾伸／ｚＱ理
、製袋等のに程に供しても機械的物性のめだった低下は
ない。また爪産にも適する等幾多の効宋がある。

【図面の簡単な説明】

図面はいずれもこの発明にかかわるもので、鉛１図は不
織布の一実施例を示す平面図、第２図は同じく側面図、
第３図は不織布と基材の貼合物を示す側面図、第４図は
完成した帯電防止容器用シートの−・実施例を示す側面
図、第５図は他の実施例を示す側面図、第６図は帯電防
止容器用シートで形虚１した弗電肋止容器の一例を示す
斜視図である。 １・・・・・・・不織布 ２・・・・・・・・導電性繊維 ３・・・・・・・・熱溶ば４；性繊維 ４・・・・・・・・・基　材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）　基材に、導電性繊維と熱溶融性繊維との繊維混
   合物から形成された不織布を融着して前記導電性繊維を
   網目状に前記基材と一体化したことを特徴とする帯電防
   止容器用シート。
2. （２）前記不織布全形成する前記繊維混合物中の導電性
   繊維の重量割合が００１〜９９チである特許請求の範囲
   第１項記載の帯電防止容器用シート。
3. （３）前記不織布を形成する繊維混合物中の導電性繊維
   の重量割合が０１〜９５％である特許請求の範囲第１項
   記載の帯電防止容器用シート。
4. （４）前記幕開がプラスチックシートまたはプラスチッ
   クフィルムである特許請求の範囲＠１項乃至第３項いず
   れか記載の帯電防止容器用シート。