JPS6068478U - 回転型ビ−ム電流測定装置 - Google Patents

回転型ビ−ム電流測定装置

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Publication number
JPS6068478U
JPS6068478U JP16122083U JP16122083U JPS6068478U JP S6068478 U JPS6068478 U JP S6068478U JP 16122083 U JP16122083 U JP 16122083U JP 16122083 U JP16122083 U JP 16122083U JP S6068478 U JPS6068478 U JP S6068478U
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JP
Japan
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electrode
rotationally movable
movable electrode
charged particle
path
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JP16122083U
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JPH0522864Y2 (ja
Inventor
横瀬　豊司
Original Assignee
日新ハイボルテージ株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の回転型ビーム電流測定装置の一例の構成
説明図、′第２図ａ、　ｂは第１図に示す装置における
荷電粒子ビームと電極の相対配置を示す断面図、第３図
はこの考案の回転型ビーム電流測定装置の一実施例の構
成説明図、第４図ａ、　ｂは第３図に示す装置における
第２図相当図、第５図はこの考案の他の実施例の模式的
構成説明図、第６図はこの考案のさらに他の実施例の模
式的構成説明図、第７図はさらにまた他の実施例の構成
説明図、第８図ａ、　ｂは第７図に示す装置における第
２図相当図である。 １１．２１，３１，４１・・・・・・回転型ビーム電流
測定装置、２・・・・・・回転円筒電極、３．　４．　
５・・・・・・穴、６・・・・・・電流計、７，８・・
・・・・固定遮蔽電極、９・・・・・・導体、１９・・
・・・・直流電源、Ｂ・・・・・・荷電粒子ビーム。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １（ａ）第１の位置と第２の位置との間で回転移動可能
    であり、第１の位置では荷電粒子ビームの進路を遮断し
    、第２の位置では荷電粒子ビームの進路外となる回転移
    動電極、 （ｂ）　　荷電粒子ビームの進路外に固定的に設置され
    、前記回転移動電極が第１の位置にあるときに、その回
    転移動電極への荷電粒子ビームの入射開口部分を除いて
    その回転移動電極のビーム入射面を外部空間から実質的
    に遮蔽する固定遮蔽電極、 （Ｃ）　　前記固定遮蔽電極に正または負またはＯ電位
    を与える電気的手段、および （ｄ）　　前記回転移動電極に流れる電流を検出する電
    流検出手段 を具備してなる回転型ビーム電流側測定装置。 ２　電気的手段が、回転移動電極と固定遮断電極との間
    に接続された直流電源回路である請求の範囲第１項記載
    の装置。 ３　電気的手段が、回転移動電極と固定遮断電極とを電
    気的に直結する導体である請求の範囲第１項記載の装置
    。゛
JP16122083U 1983-10-17 1983-10-17 回転型ビ−ム電流測定装置 Granted JPS6068478U (ja)

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JP16122083U JPS6068478U (ja) 1983-10-17 1983-10-17 回転型ビ−ム電流測定装置

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JPS6068478U true JPS6068478U (ja) 1985-05-15
JPH0522864Y2 JPH0522864Y2 (ja) 1993-06-11

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07302563A (ja) * 1994-05-06 1995-11-14 Shimadzu Corp 分析装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07302563A (ja) * 1994-05-06 1995-11-14 Shimadzu Corp 分析装置

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JPH0522864Y2 (ja) 1993-06-11

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