JPS6070306A - 厚さ測定方法 - Google Patents
厚さ測定方法Info
- Publication number
- JPS6070306A JPS6070306A JP17995483A JP17995483A JPS6070306A JP S6070306 A JPS6070306 A JP S6070306A JP 17995483 A JP17995483 A JP 17995483A JP 17995483 A JP17995483 A JP 17995483A JP S6070306 A JPS6070306 A JP S6070306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- time
- reflected
- thickness
- value
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
- G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電磁超音波発生装置を用いて被測定材表面から
超音波を伝播させ、裏面からの反射超音波を表面側で検
出し、その反射超音波の検出時間差に基づき被測定材の
厚さを測定する方法に関する。
超音波を伝播させ、裏面からの反射超音波を表面側で検
出し、その反射超音波の検出時間差に基づき被測定材の
厚さを測定する方法に関する。
熱間鋼材等の厚さを測定する方法として電磁超音波発生
装置を用いて被測定材表面から超音波を伝播させて、表
面と裏面間で往復反射する超音波を表面側で検出し、そ
のときの検出時間のうち相前後する反射波の検出時間を
下記（１１式に代入して厚さＤをめる方法が知られてい
る。
装置を用いて被測定材表面から超音波を伝播させて、表
面と裏面間で往復反射する超音波を表面側で検出し、そ
のときの検出時間のうち相前後する反射波の検出時間を
下記（１１式に代入して厚さＤをめる方法が知られてい
る。
Ｄ＝ （Ｔｎ−１＝Ｔｎ ） ・Ｖ／ ２ ＝（１，１
但し、Ｔｎ ：超音波伝播開始時点からｎ番目の反射超
音波検出までの時間 Ｔｎ、１：超音波伝播開始時点からｎ −１−１番目の
反射超音波検出までの時間 Ｖ ：被測定材中の音速 而して裏面からの反射超音波以外に被測定材中に欠陥部
又は不純物等が存在する場合は、それらからの反射超音
波も検出されて裏面からの反射波と紛られしいので、裏
面からの反射超音波出力値よりも低いレベルでしかも欠
陥部又は不純物等からの反射超音波の出力値よりも高い
レベルにしきい値を設定し、或いは検出不要な時間帯に
不感帯を設定して厚さを測定することが行われている。
但し、Ｔｎ ：超音波伝播開始時点からｎ番目の反射超
音波検出までの時間 Ｔｎ、１：超音波伝播開始時点からｎ −１−１番目の
反射超音波検出までの時間 Ｖ ：被測定材中の音速 而して裏面からの反射超音波以外に被測定材中に欠陥部
又は不純物等が存在する場合は、それらからの反射超音
波も検出されて裏面からの反射波と紛られしいので、裏
面からの反射超音波出力値よりも低いレベルでしかも欠
陥部又は不純物等からの反射超音波の出力値よりも高い
レベルにしきい値を設定し、或いは検出不要な時間帯に
不感帯を設定して厚さを測定することが行われている。
しかしながらこのような場合においても裏面からの反射
超音波以外の高出力の反射超音波がしいき値を超えて検
出されることがあり、また不感帯は被測定材の厚さが変
動することがら余裕をみて設定されるので不感帯外で裏
面からの反射超音波以外のもの、つまり裏面に近い位置
の欠陥部等からの反射波が検出されることがままあり、
そしてこの場合には被測定材の厚さが厚いときよりも薄
いときの方が誤差が大きがった。つまり不感帯は信号間
の分離程度を考慮して設定しているため、その反射波を
検知し得る欠陥部の裏面からの距離は薄物においても厚
物とさほど変らず、相対的に精度が低くなるのである。
超音波以外の高出力の反射超音波がしいき値を超えて検
出されることがあり、また不感帯は被測定材の厚さが変
動することがら余裕をみて設定されるので不感帯外で裏
面からの反射超音波以外のもの、つまり裏面に近い位置
の欠陥部等からの反射波が検出されることがままあり、
そしてこの場合には被測定材の厚さが厚いときよりも薄
いときの方が誤差が大きがった。つまり不感帯は信号間
の分離程度を考慮して設定しているため、その反射波を
検知し得る欠陥部の裏面からの距離は薄物においても厚
物とさほど変らず、相対的に精度が低くなるのである。
したがってしきい値及び不感帯を設定して測定してもそ
れだけでは十分とは言い難かった。
れだけでは十分とは言い難かった。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、従来
同様にしきい値を設定すると共に、測定に利用する複数
の反射波夫々につき不感帯を設定し、更に超音波伝播開
始から裏面からの反射超音波の検出時点までの時間はど
の反射波についても本来は１往復時間の整数倍であるこ
とを利用して補正演算することにより、特に被測定材厚
さが薄い場合にも高精度で厚さを測定し得る方法を提供
することを目的とする。
同様にしきい値を設定すると共に、測定に利用する複数
の反射波夫々につき不感帯を設定し、更に超音波伝播開
始から裏面からの反射超音波の検出時点までの時間はど
の反射波についても本来は１往復時間の整数倍であるこ
とを利用して補正演算することにより、特に被測定材厚
さが薄い場合にも高精度で厚さを測定し得る方法を提供
することを目的とする。
本発明に係る厚さ測定方法は被測定材表面から電磁超音
波を伝播させて、その裏面からの反射超音波を表面側に
て検出するに際して、所定レベルのしきい値を設定する
と共に、該しきい値を超える反射超音波が検出される都
度所定時間を不感帯として設定し、検出された反射超音
波の超音波伝播開始時点からの時間Ｔｎ （ｎは裏面で
の反射回数を示す添字）をめ、この時間を用いて下式に
より厚さＤを算出することを特徴とする。
波を伝播させて、その裏面からの反射超音波を表面側に
て検出するに際して、所定レベルのしきい値を設定する
と共に、該しきい値を超える反射超音波が検出される都
度所定時間を不感帯として設定し、検出された反射超音
波の超音波伝播開始時点からの時間Ｔｎ （ｎは裏面で
の反射回数を示す添字）をめ、この時間を用いて下式に
より厚さＤを算出することを特徴とする。
又は
但し、Ｖ：被測定材中の音速
Ｎ：裏面での反射回数ｎの補正値
Ｔｎ
’（）：（）内の数値に最も近
い整数値とする記号
ｍ：自然数
次に本発明を図面に基づき具体的に説明する。
第１図は本発明の実施状態を示す模式図であり、図中１
は電磁超音波発生部を示す。電磁超音波発生部１は鋼管
Ｐを磁化すると共に鋼管２表面に誘導電流を発生せしめ
また鋼管２表面の電流を検出するものであり、その下方
を鋼管Ｐが軸方向に移送されている。
は電磁超音波発生部を示す。電磁超音波発生部１は鋼管
Ｐを磁化すると共に鋼管２表面に誘導電流を発生せしめ
また鋼管２表面の電流を検出するものであり、その下方
を鋼管Ｐが軸方向に移送されている。
発生部１の磁化装置は、断面Ｃ字形の鉄心２及びその中
間部に内装された励磁コイル３ａ、３ｂからなり、鉄心
２の対向する先端部で挾まれた開口部２ａは鋼管Ｐに向
けられてあって、励磁コイル３ａ、３ｂには図示しない
直流電源が接続されている。したがって鉄心２の開口部
２ａの端部が磁極となって鋼管Ｐの開口部２ａに対向す
る部分に軸方向の直流磁界を付与する。開口部２ａには
リング状の送信コイル４ａとそれよりも大径でリング状
の受信コイル４ｂとが同心状に組合されて、その軸長方
向を鋼管Ｐの半径方向に一致させた状態で配されている
。送信コイル４ａにはパルス電流発生回路６が接続され
ており、同期パルス発生回路５からのトリガー信号に基
づいたパルス電流が与えられる。
間部に内装された励磁コイル３ａ、３ｂからなり、鉄心
２の対向する先端部で挾まれた開口部２ａは鋼管Ｐに向
けられてあって、励磁コイル３ａ、３ｂには図示しない
直流電源が接続されている。したがって鉄心２の開口部
２ａの端部が磁極となって鋼管Ｐの開口部２ａに対向す
る部分に軸方向の直流磁界を付与する。開口部２ａには
リング状の送信コイル４ａとそれよりも大径でリング状
の受信コイル４ｂとが同心状に組合されて、その軸長方
向を鋼管Ｐの半径方向に一致させた状態で配されている
。送信コイル４ａにはパルス電流発生回路６が接続され
ており、同期パルス発生回路５からのトリガー信号に基
づいたパルス電流が与えられる。
前記励磁コイル３ａ、３ｂにより直流磁界と上記パルス
電流とはそれ自体公知の電磁超音波発生作用をなす。つ
まり励磁コイル３ａ、３ｂによる鋼管Ｐのコイル４ａ、
４ｂの直下部分に軸方向の直流磁界を与えておき、送信
コイル４ａにパルス電流を印加すると鋼管Ｐの半径方向
の磁束が変化し、この磁束変化に伴って鋼管Ｐの表面に
渦電流が発生ずる。この渦電流と、予め与えておいた前
記直流磁界の鋼管２表面に平行な方向の磁界とによるロ
ーレンツ力が発生して鋼管２表面と垂直な方向（フレミ
ングの左手の法則）に変化する歪が発生し、該歪は鋼管
Ｐの表面と垂直な方向に伝播する。ｍＪ’３鋼管Ｐ表面
から縦波の超音波が発生する。この超音波は鋼管Ｐ内を
伝播し、鋼管Ｐ内周面で反射し、この反射超音波は前述
と逆の過程（フレミングの右手の法則）により受信コイ
ル４ｂで渦電流により発生する誘起電圧として検出され
る。
電流とはそれ自体公知の電磁超音波発生作用をなす。つ
まり励磁コイル３ａ、３ｂによる鋼管Ｐのコイル４ａ、
４ｂの直下部分に軸方向の直流磁界を与えておき、送信
コイル４ａにパルス電流を印加すると鋼管Ｐの半径方向
の磁束が変化し、この磁束変化に伴って鋼管Ｐの表面に
渦電流が発生ずる。この渦電流と、予め与えておいた前
記直流磁界の鋼管２表面に平行な方向の磁界とによるロ
ーレンツ力が発生して鋼管２表面と垂直な方向（フレミ
ングの左手の法則）に変化する歪が発生し、該歪は鋼管
Ｐの表面と垂直な方向に伝播する。ｍＪ’３鋼管Ｐ表面
から縦波の超音波が発生する。この超音波は鋼管Ｐ内を
伝播し、鋼管Ｐ内周面で反射し、この反射超音波は前述
と逆の過程（フレミングの右手の法則）により受信コイ
ル４ｂで渦電流により発生する誘起電圧として検出され
る。
受信コイル４ｂの端子電圧は増幅器７へ与えられて、こ
こで増幅され、増幅された信号は同期検波器８にて包絡
線検波されて〔第２図（イ）〕時間差測定回路９へ与え
られる。
こで増幅され、増幅された信号は同期検波器８にて包絡
線検波されて〔第２図（イ）〕時間差測定回路９へ与え
られる。
時間差測定回路９はｎ番目、ｎ＋１番目、ｎ＋２番目・
・・の反射波の１−リガー信号からの各時間Ｔｎ。
・・の反射波の１−リガー信号からの各時間Ｔｎ。
Ｔｎ、、、 ”ｒ、、２ ・・・を計測するものであり
、その構成は次のようになっている。即ち、第３図は時
間差測定回路９のブロック図を示している。同期パルス
発生回路５からのトリガー信号がカウンター９５゜タイ
マー９６及びタイマー９７に与えられると、カウンター
９５はその信号によりリセノ１〜されると共にクロック
パルス発生回路９９からのクロックパルスを計数開始す
る〔第２図（ハ）〕。これと同時にタイマー９６は計時
を開始し、予め設定された時間、例えば超音波が鋼管Ｐ
の表裏面間を略々ｎ−２回往復するに要する時間〔第２
図（ニ）〕ハイレベル信号を出力する。この信号はＯＲ
ゲート９８を介してＡＮＤゲート９１の負論理入力端子
に与えられる。
、その構成は次のようになっている。即ち、第３図は時
間差測定回路９のブロック図を示している。同期パルス
発生回路５からのトリガー信号がカウンター９５゜タイ
マー９６及びタイマー９７に与えられると、カウンター
９５はその信号によりリセノ１〜されると共にクロック
パルス発生回路９９からのクロックパルスを計数開始す
る〔第２図（ハ）〕。これと同時にタイマー９６は計時
を開始し、予め設定された時間、例えば超音波が鋼管Ｐ
の表裏面間を略々ｎ−２回往復するに要する時間〔第２
図（ニ）〕ハイレベル信号を出力する。この信号はＯＲ
ゲート９８を介してＡＮＤゲート９１の負論理入力端子
に与えられる。
ＡＮＤゲート９１の他端子には同期検波器８の出力が与
えられている。タイマー９６がハイレベル信号を出力し
ている間ＡＮＤゲート９１は閉しられており、同期検波
器８出力は後段の比較器９３へ入力されない。つまりこ
の間不感帯となる。またタイマー９７はリセットされる
。そしてタイマー９６の設定時間に達するとタイマー９
６出力はローレベル信号となり、これによりＡＮＤゲー
ト９１が開いて同期検波器８からの信号は比較器９３へ
与えられる。比較器９３にはしきい値設定器９２からし
きい値とする所定レベル電圧が与えられており、入力信
号がしきい値より高い場合にハイレベル信号が出力され
て、ワンショットマルチ９４へ送られる。ワンショ□ｙ
ｌ−マルチ９４はこの信号によりトリガーされて短時
間幅のパルス信号を発する〔第２図（ロ）〕。このパル
ス信号はタイマー９６．タイマー９７に与えられ、タイ
マー９６はリセットされて再び計時を開始し、またタイ
マー９７は計時を開始し超音波が鋼管Ｐの表裏面間を１
往復する時間より少し短い期間（８０％程度）〔第２図
（ホ）〕ハイレベル信号をＡＮＤゲート９１へ出力する
。従ってこの間の同期検波器８出力は比較器９３に入力
されず、不感帯となる。
えられている。タイマー９６がハイレベル信号を出力し
ている間ＡＮＤゲート９１は閉しられており、同期検波
器８出力は後段の比較器９３へ入力されない。つまりこ
の間不感帯となる。またタイマー９７はリセットされる
。そしてタイマー９６の設定時間に達するとタイマー９
６出力はローレベル信号となり、これによりＡＮＤゲー
ト９１が開いて同期検波器８からの信号は比較器９３へ
与えられる。比較器９３にはしきい値設定器９２からし
きい値とする所定レベル電圧が与えられており、入力信
号がしきい値より高い場合にハイレベル信号が出力され
て、ワンショットマルチ９４へ送られる。ワンショ□ｙ
ｌ−マルチ９４はこの信号によりトリガーされて短時
間幅のパルス信号を発する〔第２図（ロ）〕。このパル
ス信号はタイマー９６．タイマー９７に与えられ、タイ
マー９６はリセットされて再び計時を開始し、またタイ
マー９７は計時を開始し超音波が鋼管Ｐの表裏面間を１
往復する時間より少し短い期間（８０％程度）〔第２図
（ホ）〕ハイレベル信号をＡＮＤゲート９１へ出力する
。従ってこの間の同期検波器８出力は比較器９３に入力
されず、不感帯となる。
一方ワンショソトマルチ、９４が出力するパルス信号は
インターフェース１０を経て演算回路１１に与えられ、
演算回路１１はその時点でカウンター９５の計数値をイ
ンターフェース１０を介して読込む。この計数値は超音
波がｎ−１回往復するに要した時間Ｔ ｎ、１に相当す
る。
インターフェース１０を経て演算回路１１に与えられ、
演算回路１１はその時点でカウンター９５の計数値をイ
ンターフェース１０を介して読込む。この計数値は超音
波がｎ−１回往復するに要した時間Ｔ ｎ、１に相当す
る。
タイマー９７の設定時間が経過するとその出力がローレ
ベルとなって／ＩＮＤゲート９１が開き、同期検波器８
出力は比較器９３へ入力される。そうするとｎ回目の反
射波がしきい値を超えたところでワンショットマルチ９
４がトリガーされ、その時点のカウンター９５の計数値
を読込む。この計数値は超音波がｎ回往復するに要した
時間Ｔｎに相当する。
ベルとなって／ＩＮＤゲート９１が開き、同期検波器８
出力は比較器９３へ入力される。そうするとｎ回目の反
射波がしきい値を超えたところでワンショットマルチ９
４がトリガーされ、その時点のカウンター９５の計数値
を読込む。この計数値は超音波がｎ回往復するに要した
時間Ｔｎに相当する。
以下同様にして所要数のデータＴ ｎ−１＋ Ｔ ｎ−
ｚ ・・・を読込む。なおこの間タイマー９６出力はロ
ーレベルを維持したままである。
ｚ ・・・を読込む。なおこの間タイマー９６出力はロ
ーレベルを維持したままである。
次に演算回路１１における演算内容につき説明する。ま
ずＴｎ−１”Ｉ’ｎの減算を行い、超音波が鋼管Ｐの表
裏面間を１往復する時間をめ、次にＴｎ ／ （Ｔｎ−
＋ Ｔｎ ）の除算を行う。この値は超音波の反射回数
ｎとなる。この上記除算の分母にはＴｎ Ｔｎ−ｘを用
いない方がよい。これは場合によっては第４図に示す如
くタイマー９６による不感帯時間と重なってｎ−１回目
の反射波出力が正しく検出されない場合があるからであ
る。
ずＴｎ−１”Ｉ’ｎの減算を行い、超音波が鋼管Ｐの表
裏面間を１往復する時間をめ、次にＴｎ ／ （Ｔｎ−
＋ Ｔｎ ）の除算を行う。この値は超音波の反射回数
ｎとなる。この上記除算の分母にはＴｎ Ｔｎ−ｘを用
いない方がよい。これは場合によっては第４図に示す如
くタイマー９６による不感帯時間と重なってｎ−１回目
の反射波出力が正しく検出されない場合があるからであ
る。
さて、前述のようにｎ ＝Ｔｎ ／ （Ｔｎ、＋ Ｔｎ
）となる筈ではあるが、例えばタイマー９７の設定時
間が長過ぎた場合、或いはしきい値の設定が低すぎ裏面
からの反射波に近い時点で、欠陥部等からの反射波が検
出されたような場合には上記Ｔｎ／（Ｔｎ−１Ｔｎ ）
値は整数値ｎとはならない。
）となる筈ではあるが、例えばタイマー９７の設定時
間が長過ぎた場合、或いはしきい値の設定が低すぎ裏面
からの反射波に近い時点で、欠陥部等からの反射波が検
出されたような場合には上記Ｔｎ／（Ｔｎ−１Ｔｎ ）
値は整数値ｎとはならない。
そこで本発明ではＴｎ ／ （Ｔｎ−＋ Ｔｎ ）が整
数値にならない場合はこれを整数値になるように補正し
て、測定誤差要因を排除する。即ち下記（２）式で表わ
される裏面での反射回数ｎの補正値Ｎをｎに替えて用い
る。
数値にならない場合はこれを整数値になるように補正し
て、測定誤差要因を排除する。即ち下記（２）式で表わ
される裏面での反射回数ｎの補正値Ｎをｎに替えて用い
る。
Ｔｎ
但し、”（）：（）内の数値に最も近
い整数値とする記号
そして
（３）式により鋼管Ｐの厚さＤを算出する。このＤ値を
表示器１２に表示させ、また記録計１３に記録させる。
表示器１２に表示させ、また記録計１３に記録させる。
なおＴｎとしては上述の例に限らずタイマー９６による
不感帯が解除された後２番目以降の任意の検出信号に依
ってもよい。
不感帯が解除された後２番目以降の任意の検出信号に依
ってもよい。
次に本発明の他の方法につき説明する。この方法は前述
した（３）式の替わりに下記（４〕式により厚さＤをめ
る。
した（３）式の替わりに下記（４〕式により厚さＤをめ
る。
但し、ｍ：自然数であり、演算に用いる反射信号数−１
に相当 この方法を具体的に説明すると、例えば最初の３つのデ
ータＴｎ 、 Ｔ ｎ、Ｉ＋ Ｔｎ−２を用い、Ｔｎ
＋ Ｔｎ、。
に相当 この方法を具体的に説明すると、例えば最初の３つのデ
ータＴｎ 、 Ｔ ｎ、Ｉ＋ Ｔｎ−２を用い、Ｔｎ
＋ Ｔｎ、。
を（２１式ニ代入Ｌ 請求めたＮ値と′ｆ”ｎ 、 Ｔ
ｎ、Ｉ＋ Ｔｎ−２とを（４）式に代入することにより
厚さＤを算出する。
ｎ、Ｉ＋ Ｔｎ−２とを（４）式に代入することにより
厚さＤを算出する。
得られたＤ値は、Ｔｎ 、 Ｔｎ、、、 Ｔｎ、２を平
均した時間、つまりｎ回目、ｎ＋１回目、ｎ＋２回目の
反射超音波の平均時間をめ、この時間に見掛は上相光す
る往復回数Ｎ＋１を用いて更に平均化されてめられた値 〔−（Ｔｎ＋Ｔｎ、１＋Ｔｎ、２）・Ｖ／２・３・ （
Ｎ＋１）〕であり、Ｎ値の導入により誤差要因が排除さ
れて正確である。
均した時間、つまりｎ回目、ｎ＋１回目、ｎ＋２回目の
反射超音波の平均時間をめ、この時間に見掛は上相光す
る往復回数Ｎ＋１を用いて更に平均化されてめられた値 〔−（Ｔｎ＋Ｔｎ、１＋Ｔｎ、２）・Ｖ／２・３・ （
Ｎ＋１）〕であり、Ｎ値の導入により誤差要因が排除さ
れて正確である。
なお本発明では鋼管の厚さを測定する場合に限らず板状
のものでも測定できる。また被測定材表面を直流磁化す
る装置としては前述の如く電磁石′に限らず永久磁石を
用いてもよい。そしてまた送信用コイル、受信用コイル
を各別に設けたが１つのコイルを送受信兼用としてもよ
い。更にこのように構成された装置を複数用いて所要箇
所を同時に測定できるのは勿論である。
のものでも測定できる。また被測定材表面を直流磁化す
る装置としては前述の如く電磁石′に限らず永久磁石を
用いてもよい。そしてまた送信用コイル、受信用コイル
を各別に設けたが１つのコイルを送受信兼用としてもよ
い。更にこのように構成された装置を複数用いて所要箇
所を同時に測定できるのは勿論である。
次に本発明の効果について説明する。しきい値を裏面か
らの反射超音波出力値よりも低いレベルに設定し、また
不感帯を反射超音波がしきい値を超える都度その時点か
ら被測定材内を超音波が１往復する時間の８０％に相当
する期間に設定し、本発明方法により鋼管の周面を全長
に亘って測定した。
らの反射超音波出力値よりも低いレベルに設定し、また
不感帯を反射超音波がしきい値を超える都度その時点か
ら被測定材内を超音波が１往復する時間の８０％に相当
する期間に設定し、本発明方法により鋼管の周面を全長
に亘って測定した。
第５図は横軸に長さくｍ）をとり縦軸に鋼管の厚さくｎ
）をとって、その測定結果を示したグラフであり、比較
のために各反射超音波が検出される都度、不感帯を設け
ずしてめたＴｎ値及びＴ ｎ、１を（１）式に代入して
算出した結果（比較例１）及び同様にしてめたＴ ｎ−
ｉ値を下記（５）式に代入して算出した結果（比較例２
）を併せて示している。
）をとって、その測定結果を示したグラフであり、比較
のために各反射超音波が検出される都度、不感帯を設け
ずしてめたＴｎ値及びＴ ｎ、１を（１）式に代入して
算出した結果（比較例１）及び同様にしてめたＴ ｎ−
ｉ値を下記（５）式に代入して算出した結果（比較例２
）を併せて示している。
Ｄ＝Ｔｎ ・Ｖ／２ｎ −［５１
この図より本発明による場合は厚さ測定値が安定してお
り、比較例１．比較例２のように部分的に大きく変動す
ることがなく、このことがら裏面以外からの反射超音波
による影響が無いことがわかる。また比較例２の管端で
見られる反射回数ｎの誤りによる厚さ測定値の異常も無
くなることがわかる。したがってこのような理由によっ
て管等の製造工程中に本発明により測定した値は制御情
報として利用することができる。
り、比較例１．比較例２のように部分的に大きく変動す
ることがなく、このことがら裏面以外からの反射超音波
による影響が無いことがわかる。また比較例２の管端で
見られる反射回数ｎの誤りによる厚さ測定値の異常も無
くなることがわかる。したがってこのような理由によっ
て管等の製造工程中に本発明により測定した値は制御情
報として利用することができる。
以上詳述した如く本発明は検出精度向上のためにしきい
値及び不感帯を設定し、更に超音波伝播開始から裏面か
らの反射超音波検出時点までの時間が１往復時間の整数
倍であることを利用して厚さをめるので、特に被測定材
の厚さが薄い場合でも正確に厚さを測定できる優れた効
果を奏する。
値及び不感帯を設定し、更に超音波伝播開始から裏面か
らの反射超音波検出時点までの時間が１往復時間の整数
倍であることを利用して厚さをめるので、特に被測定材
の厚さが薄い場合でも正確に厚さを測定できる優れた効
果を奏する。
第１図は本発明の実施状態を示す模式図、第２図は本発
明の測定内容鋭°明図、第３図は本発明に用いる装置の
時間差測定回路のブロック図、第４図は不感帯による弁
別不能信号説明図、第５図は本発明方法による測定結果
を示したグラフである。 Ｐ・・・鋼管 １・・・電磁超音波発生部 ９・・・時
間差測定回路 １１・・・演算回路 特 許 出願人 住友金屈工業株式会社外１名 代理人 弁理士 河 野 登 夫 第２図 第 ４ 図 第１頁の続き ０発 明 者 門 脇 孝 志 日立市国分町１丁１場
内 ０発 明 者 伊 東 将 日立市国分町１丁１場内 ［相］発 明 者 佐 々木 荘二 日立市幸町３丁目
所内 ０発 明 者 佐 藤 弐 也 日立市幸町３丁目所内
明の測定内容鋭°明図、第３図は本発明に用いる装置の
時間差測定回路のブロック図、第４図は不感帯による弁
別不能信号説明図、第５図は本発明方法による測定結果
を示したグラフである。 Ｐ・・・鋼管 １・・・電磁超音波発生部 ９・・・時
間差測定回路 １１・・・演算回路 特 許 出願人 住友金屈工業株式会社外１名 代理人 弁理士 河 野 登 夫 第２図 第 ４ 図 第１頁の続き ０発 明 者 門 脇 孝 志 日立市国分町１丁１場
内 ０発 明 者 伊 東 将 日立市国分町１丁１場内 ［相］発 明 者 佐 々木 荘二 日立市幸町３丁目
所内 ０発 明 者 佐 藤 弐 也 日立市幸町３丁目所内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被測定材表面から電磁超音波を伝播させて、その裏
面からの反射超音波を表面側にて検出するに際して、所
定レベルのしきい値を設定すると共に、該しきい値を超
える反射超音波が検出される都度所定時間を不感帯とし
て設定し、検出された反射超音波の超音波伝播開始時点
からの時間Ｔｎ（ｎは裏面での反射回数を示す添字）を
め、 但し、”（）：（）内の数値に最も近 い整数値とする記号 にて表わされる裏面での反射回数ｎの補正値Ｎを算出し
、このＮ値と前記時間とを用いて下式により厚さＤを算
出することを特徴とする厚さ測定方法。 Ｔｎ ・ ■ 但し、■：被測定材中の音速 ２、前記時間Ｔｎは不感帯以後に検出された反射超音波
のうち２番目以降の反射超音波に係るものである特許請
求の範囲第１項記載の厚さ測定方法。 ３、被測定材表面から電磁超音波を伝播させて、その裏
面からの反射超音波を表面側にて検出するに際して、所
定レベルのしきい値を設定すると共に、該しきい値を超
える反射超音波が検出される都度所定時間を不感帯とし
て設定し、検出された反射超音波の超音波伝播開始時点
からの時間Ｔｎ （ｎは裏面での反射回数を示す添字）
をめ、 但し、’（）：（）内の数値に最も近 い整数値とする記号 にて表わされる裏面での反射回数ｎの補正値Ｎを算出し
、このＮ値と前記時間とを用いて下式により厚さＩ〕を
算出することを特徴とする厚さ測定方法。 但し、Ｖ：被測定材中の音速 ｍ：自然数 ４、 前記時間Ｔｎは不感帯以後に検出された反射超音
波のうち２番目以降の反射超音波に係るものである特許
請求の範囲第３項記載の厚さ測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17995483A JPS6070306A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 厚さ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17995483A JPS6070306A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 厚さ測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6070306A true JPS6070306A (ja) | 1985-04-22 |
| JPH038688B2 JPH038688B2 (ja) | 1991-02-06 |
Family
ID=16074859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17995483A Granted JPS6070306A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 厚さ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6070306A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63292010A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-29 | Sharp Corp | 超音波厚さ測定装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS542153A (en) * | 1977-06-07 | 1979-01-09 | Mitsubishi Electric Corp | Ultrasonic thickness gauge |
| JPS54107359A (en) * | 1978-02-09 | 1979-08-23 | Mitsubishi Electric Corp | Ultrasonic thickness gauge |
-
1983
- 1983-09-27 JP JP17995483A patent/JPS6070306A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS542153A (en) * | 1977-06-07 | 1979-01-09 | Mitsubishi Electric Corp | Ultrasonic thickness gauge |
| JPS54107359A (en) * | 1978-02-09 | 1979-08-23 | Mitsubishi Electric Corp | Ultrasonic thickness gauge |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63292010A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-29 | Sharp Corp | 超音波厚さ測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH038688B2 (ja) | 1991-02-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4654590A (en) | Method and apparatus for detecting the position of a movable object utilizing the magnetostrictive effect to generate ultrasonic waves | |
| US6920792B2 (en) | Transducer guided wave electromagnetic acoustic | |
| EP0024495B1 (en) | Acoustic pulse delay line system for measuring distances along a magnetostrictive wire | |
| KR20050081574A (ko) | 비틀림파를 발생 및 측정할 수 있는 트랜스듀서와 이를이용한 이상진단 장치 및 방법 | |
| WO2004106913A1 (en) | Guided wave electromagnetic acoustic transducer | |
| JPH038688B2 (ja) | ||
| JPH02248824A (ja) | 残留応力測定装置 | |
| JPH03167418A (ja) | クラッド厚さ測定装置 | |
| RU222271U1 (ru) | Магнитострикционный датчик линейных перемещений | |
| JPS58179305A (ja) | 電磁超音波計測装置 | |
| JPH0236162B2 (ja) | ||
| JPS6123917A (ja) | 位置検出器 | |
| JPS6053806A (ja) | 厚さ測定方法 | |
| JPH10160710A (ja) | 分割型探傷センサ及び導電性管探傷方法 | |
| JPS6186121A (ja) | 管切断方法 | |
| JPS5943304A (ja) | 位置検出装置 | |
| JPH1038862A (ja) | 鉄損値評価方法及びその装置 | |
| JPS6027361B2 (ja) | 導電性材料の厚さ測定方法 | |
| SU1129490A1 (ru) | Способ бесконтактного измерени перемещений | |
| JPH039013Y2 (ja) | ||
| JPH0143907B2 (ja) | ||
| JPH02183117A (ja) | 変位検出装置 | |
| JPS6078318A (ja) | 磁歪ポテンシヨメ−タ | |
| JPS609562A (ja) | 鋳片凝固厚み測定装置 | |
| SU989452A2 (ru) | Способ контрол дефектов прот женных изделий |