JPS607035A - カラ−ブラウン管用露光装置 - Google Patents

カラ−ブラウン管用露光装置

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Publication number
JPS607035A
JPS607035A JP11313983A JP11313983A JPS607035A JP S607035 A JPS607035 A JP S607035A JP 11313983 A JP11313983 A JP 11313983A JP 11313983 A JP11313983 A JP 11313983A JP S607035 A JPS607035 A JP S607035A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
exposure
nozzle
correction
shutter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11313983A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigenori Oohata
大畑　滋規
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS607035A publication Critical patent/JPS607035A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
    • H01J9/22—Applying luminescent coatings
    • H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
    • H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
    • H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はパネルフェース円面に欠陥のないけい光面を得
るための露光装置に関するものである。
一般にカラーブラウン管全製造する際にはホール形状、
あるいはストライプ形状とよばれる配列のブラックマト
リックス面あるいはけい光面を得るためにパネルフェー
ス内面に感光剤あるいはけい光体を塗布し、シャドウマ
スクを介して露光光線によシ露光する露光装置が用いら
れている。
従来この種の露光装置は、第１図に示すように装置筐体
内部に設けた超高圧水銀灯よりなる光源１およびこれを
保持冷却するためのランプハウス２からなる光源部、露
光時間に合せて開閉するシャッター３と５光源１から発
射された光線を実際の電子ビームの軌跡に近似させるた
めの補正レンズ４と、露光光線によるパネルフェース内
面での照度分布を補正する補正フィルター５と、シャド
ウマスク１１會装着したパネル１２を所定の位置に位置
決めするためのピン６を設けた保持テーブル７から構成
されている。
しかしながら、かかる露光装置での露光は露光時にパネ
ル内面及び／ヤドウマスクなどから落ちるゴミ類や非露
光時に空気中のゴミ類が補正フィルターもしくは補正レ
ンズに刺着し、この付着した位置を通過する露光光線は
シャドウマス全弁してパネルフェース内面まで到達せず
カゲとなり露光されないためホール形状、ストライプ形
状に悪い影＃全与えけい光面の品位を落していた。
不発明は、従来の欠点に鑑みなされたもので補正フィル
ター補正レンズ、ランプハウス上にコミ類がイ」着せず
ホール形状、もしくはストライプ形状の欠陥をなくした
高品位のけい光面を得られる露光装置全提供することを
目的とする。
以下不発明を図示の実施例によシ説明する。第２図は本
発明による露光装置の概略Ｖノ「面図である。
シャドウマスク１１を装着したパネル１２をパネル位置
決めビン６を設けた保持台７にセラＩ・すると、上部シ
ャッター２１の先端に取力付けられたエアーノズル２２
より電磁弁５１とフィルター５２金通ったエアーが吹き
出し補正フィルタル５上をシャワーしながらシャッター
２１が開き、開いた時点では補正フィルター５上全一様
にシャワーし続ける。
υ（Ｋ補正レンズ４の下部に設けられたエアーノズル３
１とランプハウス２の上部に設けられたエアーノズル４
］から電磁弁５３とフィルター５４を通ったエアーが吹
き出し、補正レンズ４の下面とランプハウス２の上面を
シャワーし始め露光用のシャッター３が開き露光が開始
される。露光が終るとシャッター３が閉じ、上部シャッ
ター２１は補正フィルター５の上面をエアーシャワーし
ながら閉じ、補正フィルター５．補正レンズ４を違いエ
アーがとまクパネルは次工程に送られる。
以上の如く本発明によれば、蕗光元線がパネルフェース
内面に到達する途中通過するランプハウス窓ガラス（図
示せず）、補正レンズ４．補正フィルター５の面のゴミ
類はエアーでシャワーされ。
ホール形状、もしくはストライプ形状の欠陥は激減し、
高品位のけい光面全得ることができた・
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の露光装置の概略図、第２図は本発明によ
る露光装置の概略図である。 １・・・・・・光源（超冒圧水銀灯）、２・・・・・ラ
ンプノ・ウス、３．２１・・・・・シャッター、４・・
・・・・補正ｖ　ｙズ、５・・・・・補正フィルター、
６・・・・ノくネル位置決めピン、７・・・・・支持台
、１１・・・シャドウマスク。 １２・・　パネルｈ　２２，３１，４ｉ・・・・・エア
ーノズル、５１．５３・・・電ｉｉＥ＆弁、　５２．５
４・・・・フィルター。 姶１図 嶺−／）ｎ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 蕗光光源よシ発射された露光光線全補正レンズ。 シャドウマスクを介してパネルフェース内面に塗布され
    た感光剤全露光するカラーブラウン管用露光装置におい
    て、露光光線を遮蔽するシャッターとは別にパネル保持
    台下部に補正フィルタと補正レンズをカバーするために
    補正フィルター上面全エアーシャワーするエアーノズル
    金偏えたシャッター機構と、補正レンズ下面をエアーシ
    ャワーするエアーノズルと光源上部よりランプハウス上
    面をエアーシャワーするエアーノズルとを設けたこと全
    特徴とするカラーブラウン管用露光装置。
JP11313983A 1983-06-23 1983-06-23 カラ−ブラウン管用露光装置 Pending JPS607035A (ja)

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JPS607035A true JPS607035A (ja) 1985-01-14

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ID=14604546

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JP11313983A Pending JPS607035A (ja) 1983-06-23 1983-06-23 カラ−ブラウン管用露光装置

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5088972A (ja) * 1973-12-10 1975-07-17
JPS5744046A (en) * 1980-08-28 1982-03-12 Yamashita Jiyouji Erection of concrete wall

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5088972A (ja) * 1973-12-10 1975-07-17
JPS5744046A (en) * 1980-08-28 1982-03-12 Yamashita Jiyouji Erection of concrete wall

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