JPS607054A - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
- Publication number
- JPS607054A JPS607054A JP59102532A JP10253284A JPS607054A JP S607054 A JPS607054 A JP S607054A JP 59102532 A JP59102532 A JP 59102532A JP 10253284 A JP10253284 A JP 10253284A JP S607054 A JPS607054 A JP S607054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ionization
- mass spectrometer
- fine hole
- section
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/24—Vacuum systems, e.g. maintaining desired pressures
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は大気圧イオン化 （Ａ ｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ
Ｐ ｒｅｓｓｕｒｅ Ｉ ｏｎｉｚａｔｉｏｎ ： Ａ
ｎａｌ、 Ｃｈｅｍ、 ４５ ｐ９３６（１９７３））
あるいは化学イオン化など、イオン分子反応を利用した
イオン化機能を有する質量分析計の改良に関するもので
ある。
Ｐ ｒｅｓｓｕｒｅ Ｉ ｏｎｉｚａｔｉｏｎ ： Ａ
ｎａｌ、 Ｃｈｅｍ、 ４５ ｐ９３６（１９７３））
あるいは化学イオン化など、イオン分子反応を利用した
イオン化機能を有する質量分析計の改良に関するもので
ある。
大気圧イオン化（以下ＡＰＩと略称する）質量分析計は
従来の電子衝撃型イオン化（以下、Ｅｌと略称する）分
析計に比べてそのイオン化機構において衝撃の少ない穏
やかなイオン化手段である。
従来の電子衝撃型イオン化（以下、Ｅｌと略称する）分
析計に比べてそのイオン化機構において衝撃の少ない穏
やかなイオン化手段である。
このため試料をイオン化する際に分解することが少なく
、分子イオンが観測しやすい特徴を有し、Ｅ、Ｉ質量分
析計では得られない多くの知見を得ることができる。更
にＡＰＩ質量分析組では高圧下でのイオン分子反応を利
用するために、イオン化ポテンシャルの低い物質あるい
はトビ（ｑ加力の強い物質が選択的に、高いイオン化率
でイオン化される。このため非常に高感度となり、ガス
中の１０−１４ｇオーダーの有機物まで検出できる。
、分子イオンが観測しやすい特徴を有し、Ｅ、Ｉ質量分
析計では得られない多くの知見を得ることができる。更
にＡＰＩ質量分析組では高圧下でのイオン分子反応を利
用するために、イオン化ポテンシャルの低い物質あるい
はトビ（ｑ加力の強い物質が選択的に、高いイオン化率
でイオン化される。このため非常に高感度となり、ガス
中の１０−１４ｇオーダーの有機物まで検出できる。
ＡＰＩ質量分析剖では第１図に示すようにコロナ放電電
極１を有する大気圧のイオン化部２から２０μｍφ程度
の第１細孔３を通して１Ｏ−５Ｔｏｒｒ程度の圧力で動
作し、レンズ系４、四重極電極５、コレクター６からな
る分析部１１へイオンが導入さｉｃると構成と、第２図
に示すように第２細孔７を有する中間圧力部８を設けた
二段階の差動排気によりイオンを導入する構成とがある
。
極１を有する大気圧のイオン化部２から２０μｍφ程度
の第１細孔３を通して１Ｏ−５Ｔｏｒｒ程度の圧力で動
作し、レンズ系４、四重極電極５、コレクター６からな
る分析部１１へイオンが導入さｉｃると構成と、第２図
に示すように第２細孔７を有する中間圧力部８を設けた
二段階の差動排気によりイオンを導入する構成とがある
。
第１図に示した、いわゆる一段差動排気購成では第１絹
孔３の径が２０μｍと小さく、試料による第１細孔３の
目づまりなどによる事故がおこりゃすい。この点で二段
差動排気構成がすぐれている。、この二段差動排気構成
では第１細孔３の径が１００７ｚｒｎ、第２細孔７の径
が２０（１−４００μｍであり、試料によるこれらの細
孔３．７の目づまりは通常おこりにくい。しかし、多量
の液体試料等を流した場合、小さな第１細孔３がつまる
事故がおこりやすい。
孔３の径が２０μｍと小さく、試料による第１細孔３の
目づまりなどによる事故がおこりゃすい。この点で二段
差動排気構成がすぐれている。、この二段差動排気構成
では第１細孔３の径が１００７ｚｒｎ、第２細孔７の径
が２０（１−４００μｍであり、試料によるこれらの細
孔３．７の目づまりは通常おこりにくい。しかし、多量
の液体試料等を流した場合、小さな第１細孔３がつまる
事故がおこりやすい。
従って、本発明の目的は上記問題点を解７１類シた質量
分析８１を提供することにある。
分析８１を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明においては、大気圧あ
るいはそれに近い圧力で動作するイオン化部を備え、二
段階の差動排気を用いてイオン化部で生成したイオンを
分析部に導入しうる質量分析Ｒ１において、イオン化部
と分析部との間に弁を設けて分析部を密閉しうるように
して質量分析ｔ１を構成したことを特徴としている。
るいはそれに近い圧力で動作するイオン化部を備え、二
段階の差動排気を用いてイオン化部で生成したイオンを
分析部に導入しうる質量分析Ｒ１において、イオン化部
と分析部との間に弁を設けて分析部を密閉しうるように
して質量分析ｔ１を構成したことを特徴としている。
かかる本発明の特徴的な構成により、分析部の真空度を
保持した状態で差動排気部のクリーニングが可能となり
、その結果、質量分析計の稼動効率を上げることができ
る。
保持した状態で差動排気部のクリーニングが可能となり
、その結果、質量分析計の稼動効率を上げることができ
る。
つまり、本発明は第１絹孔の目づまり等の差動排気部の
故障の際、分析部の真空度を下げずに差動排気部の修理
を行ない、修理後は速やかに稼動できるようにするため
第２細孔を有する電極をグー１〜バルブで修理中はふさ
ぐようにしたものである。
故障の際、分析部の真空度を下げずに差動排気部の修理
を行ない、修理後は速やかに稼動できるようにするため
第２細孔を有する電極をグー１〜バルブで修理中はふさ
ぐようにしたものである。
以上、本発明を実施例によって詳述する。
第３図は本発明による質量分析側の差動排気部の構成を
示したものである。第２細孔７の電極を固定している基
板１２にＯリングガスケツ１−１３を取り伺け、ゲート
板９を上下することにより開閉を行なう。ゲート板９は
ハネ１４何のコロ１０を用いて○リング１３側におしつ
けられ分析部１１の真空を保つように構成したものであ
る。この際、グー１〜板９が第２細孔７にふれて汚染し
ないように移動しつるようになっている。このような構
成とすることによって第１細孔３の目づまりが起った場
合分析部１１の真空を破ることなく第１ 、ｔ、Ｉｌｌ
孔３の洗浄を行うことができる。第４図は本発明による
他の実施例の構成を示したものであり、Ｏリング１３を
ゲート板９に取り付けた構成例である。ゲート板９が閉
じた場合に細孔部７がゲート板９にふれないようにゲー
ト板９の中央部］５を削っである。
示したものである。第２細孔７の電極を固定している基
板１２にＯリングガスケツ１−１３を取り伺け、ゲート
板９を上下することにより開閉を行なう。ゲート板９は
ハネ１４何のコロ１０を用いて○リング１３側におしつ
けられ分析部１１の真空を保つように構成したものであ
る。この際、グー１〜板９が第２細孔７にふれて汚染し
ないように移動しつるようになっている。このような構
成とすることによって第１細孔３の目づまりが起った場
合分析部１１の真空を破ることなく第１ 、ｔ、Ｉｌｌ
孔３の洗浄を行うことができる。第４図は本発明による
他の実施例の構成を示したものであり、Ｏリング１３を
ゲート板９に取り付けた構成例である。ゲート板９が閉
じた場合に細孔部７がゲート板９にふれないようにゲー
ト板９の中央部］５を削っである。
このように二段差動排気型ＡＰＩ質量分析引において中
間圧力部にゲート弁を挿入させうるようにして分析部の
真空を破ることなく汚染しやすい第１細孔を交換あるい
は洗浄することができる。
間圧力部にゲート弁を挿入させうるようにして分析部の
真空を破ることなく汚染しやすい第１細孔を交換あるい
は洗浄することができる。
第１図は従来の一段差動排気型のＡＰＩ質量分析８４の
基本構成図、第２図は従来の二段差動排気型のＡＰＩ質
量質量分析基本構成図、第３図は本発明による二段差動
排気型のＡＰＩ質量分析計の基本構成図、第４図は本発
明による他の実施例の基本構成図である。 ｌ・・・コロナ放電電極、２・・・イオン化部、３ ・
・第１細孔、４・・・ レンズ系、５・・・四重極電極
、６・・・コレクター、７・・・第２細孔電極、８−・
中間圧力部、９・・・ゲート板、ｌＯ・・・バネ付コロ
、１１・・・分析部、１２・・・基板、１３・・・Ｏリ
ング、１４・・・バネ、１５・・・四部。 傑 １ 図 第 ２ 口 ’％３ 目 第 ４ 図 Ｏ
基本構成図、第２図は従来の二段差動排気型のＡＰＩ質
量質量分析基本構成図、第３図は本発明による二段差動
排気型のＡＰＩ質量分析計の基本構成図、第４図は本発
明による他の実施例の基本構成図である。 ｌ・・・コロナ放電電極、２・・・イオン化部、３ ・
・第１細孔、４・・・ レンズ系、５・・・四重極電極
、６・・・コレクター、７・・・第２細孔電極、８−・
中間圧力部、９・・・ゲート板、ｌＯ・・・バネ付コロ
、１１・・・分析部、１２・・・基板、１３・・・Ｏリ
ング、１４・・・バネ、１５・・・四部。 傑 １ 図 第 ２ 口 ’％３ 目 第 ４ 図 Ｏ
Claims (1)
- １、 大気圧あるいはそれに近い圧力で動作するイオン
化部を備え、二段階の差動排気系を用いて上記イオン化
部で生成したイオンを中間圧力領域を経て分析部に導入
しうる質量分析計において、上記イオン化部と上記分析
部との間の中間圧力領域に弁を設けて上記分析部を上記
イオン化部に対して密閉しろるように構成したことを特
徴とする質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59102532A JPS607054A (ja) | 1984-05-23 | 1984-05-23 | 質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59102532A JPS607054A (ja) | 1984-05-23 | 1984-05-23 | 質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607054A true JPS607054A (ja) | 1985-01-14 |
Family
ID=14329902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59102532A Pending JPS607054A (ja) | 1984-05-23 | 1984-05-23 | 質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607054A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62116355U (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-24 | ||
| GB2416242A (en) * | 2004-07-15 | 2006-01-18 | Jeol Ltd | A valve for isolating an orthogonal acceleration TOF mass analyser |
| US12165862B2 (en) | 2019-05-13 | 2024-12-10 | Micromass Uk Limited | Aperture plate assembly |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517991A (ja) * | 1974-07-10 | 1976-01-22 | Hitachi Ltd |
-
1984
- 1984-05-23 JP JP59102532A patent/JPS607054A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517991A (ja) * | 1974-07-10 | 1976-01-22 | Hitachi Ltd |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62116355U (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-24 | ||
| GB2416242A (en) * | 2004-07-15 | 2006-01-18 | Jeol Ltd | A valve for isolating an orthogonal acceleration TOF mass analyser |
| US12165862B2 (en) | 2019-05-13 | 2024-12-10 | Micromass Uk Limited | Aperture plate assembly |
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