JPS6070631A - 像増倍管の製造方法 - Google Patents
像増倍管の製造方法Info
- Publication number
- JPS6070631A JPS6070631A JP17859883A JP17859883A JPS6070631A JP S6070631 A JPS6070631 A JP S6070631A JP 17859883 A JP17859883 A JP 17859883A JP 17859883 A JP17859883 A JP 17859883A JP S6070631 A JPS6070631 A JP S6070631A
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- JP
- Japan
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- evaporating
- boat
- tube
- envelope
- evaporation
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/12—Manufacture of electrodes or electrode systems of photo-emissive cathodes; of secondary-emission electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は像増倍管の製造方法に係シ、特にｉ発源の外
部導入機構に関する。
部導入機構に関する。
一般に像増倍管（イメージ・インテンシファイヤ）例え
ばＸ線螢光像倍管においては、真壁外囲器内の入力側に
入力面が配設されている。
ばＸ線螢光像倍管においては、真壁外囲器内の入力側に
入力面が配設されている。
この入力面は、Ａｔ基板の出力側に入力螢光体層及び光
電面を順次積層して形成されたものである。
電面を順次積層して形成されたものである。
ところで、最適な組成を有し安定にして且つ高感度の光
電面を形成するために、アンチモン及び又はアルカリの
導入、蒸発が重要な意味を持つことは周知である。その
場合に、光電面の中心位置（又は管軸上）に、蒸発源が
あることは ■ 均一な特性の膜の形成 ■ 最大効率蒸発 ■ 製造の安定性 等が狙えるために、非猟に好ましい方法である。
電面を形成するために、アンチモン及び又はアルカリの
導入、蒸発が重要な意味を持つことは周知である。その
場合に、光電面の中心位置（又は管軸上）に、蒸発源が
あることは ■ 均一な特性の膜の形成 ■ 最大効率蒸発 ■ 製造の安定性 等が狙えるために、非猟に好ましい方法である。
又、一方ではアンチモン蒸発源やアルカリ化合物、或い
は混合材料哲の固形物が一部よυ月神落し、入力面又は
出力面にプッ状何着物を形成して面品位を損ねており、
骨質低下の主要因であることも周知である。
は混合材料哲の固形物が一部よυ月神落し、入力面又は
出力面にプッ状何着物を形成して面品位を損ねており、
骨質低下の主要因であることも周知である。
このようなｆｌｌ！点から見て、従来一部の製造方法と
して行なわれているような「アンチモンの外部導入方式
」はこれらの欠点を袖なうのに充分な方法である。例え
ば、 ■ 機械的摺動部を備えて外部よシベローズ等介してピ
ストン運動を与え、位置制御し、所定の蒸発源を真空外
囲器内に配置し、光電面を形成した後に、真空外囲器外
に取り去る。
して行なわれているような「アンチモンの外部導入方式
」はこれらの欠点を袖なうのに充分な方法である。例え
ば、 ■ 機械的摺動部を備えて外部よシベローズ等介してピ
ストン運動を与え、位置制御し、所定の蒸発源を真空外
囲器内に配置し、光電面を形成した後に、真空外囲器外
に取り去る。
＠ 機械的摺動部を備え、外部よシ磁気的外力を与え、
０項と同様々ことを行なう。
０項と同様々ことを行なう。
ところが、以上のような方法では機械的方法が伴なうた
めに、 １）コ壓発生や位置制御の困雌さがある２）蒸発源への
電気的通電方法が困難 ３）上記のような外部導入方式構を真空外囲器に装着す
るための加工の回灯性と、保持強度の保障の不充分性 ４）軽量且つ小形化への制限 があシ、実用化するには可成多難しい。
めに、 １）コ壓発生や位置制御の困雌さがある２）蒸発源への
電気的通電方法が困難 ３）上記のような外部導入方式構を真空外囲器に装着す
るための加工の回灯性と、保持強度の保障の不充分性 ４）軽量且つ小形化への制限 があシ、実用化するには可成多難しい。
この発明の目的は、従来用いられた機械的摺動部や外部
制御機構を削除すると共に装置の小形化が図れ、安全に
しで且つ操作の容易な像増倍管の製造方法を提供するこ
とである。
制御機構を削除すると共に装置の小形化が図れ、安全に
しで且つ操作の容易な像増倍管の製造方法を提供するこ
とである。
この発明は、像増倍管の真空外囲器に一体に側方へ支持
管を突設し、この支持管を舅通して形状記憶合金からな
るボート支持棒を固着し、とのが−ト支持棒の一端に蒸
発時に略管軸上に位置する蒸発源を収容した蒸発デート
ラ設け、他端に電源を接続するか或いは元電源、レーザ
ー電源、高周波電源等で上記蒸発源を加熱して蒸発させ
入力螢光体層上に光電面を形成する像増倍管の製造方法
である。
管を突設し、この支持管を舅通して形状記憶合金からな
るボート支持棒を固着し、とのが−ト支持棒の一端に蒸
発時に略管軸上に位置する蒸発源を収容した蒸発デート
ラ設け、他端に電源を接続するか或いは元電源、レーザ
ー電源、高周波電源等で上記蒸発源を加熱して蒸発させ
入力螢光体層上に光電面を形成する像増倍管の製造方法
である。
この発明による像増倍管の製造方法は第１図に示すよう
に構成され、像増倍管例えばＸ線螢光増倍管は真を外囲
器１内の入力側に入力面りが、出力側に出力面３及び陽
極４が配設され真空外囲器１の側壁内面には集束ｉ１．
極（図示せず）が形成されている。上記入力面１はＭ基
板（図示せず）上に入力螢光体層５及び光電面６を順次
積層して形成さｈているが、との光電面６を形成するた
めに、真壁外囲器１の側壁には外部導入機＄１が設けら
れている。この外部導入機［７は、第２図及び第３図か
らも明らかなように真空外囲器１の側壁に一体突設さゴ
ｔた支持管８と、この支持管８に固着され一端が真空外
囲器１内の略管軸上に位置する）１？ −）支持棒９と
からなっている。そして、ポート支持ｆａ９の一端には
蒸発ポート１０が固着されこの蒸発ボート１０内には蒸
発源１１が収納されておシ、ボート支持棒９の他端は電
源１２に１１１続きれている。
に構成され、像増倍管例えばＸ線螢光増倍管は真を外囲
器１内の入力側に入力面りが、出力側に出力面３及び陽
極４が配設され真空外囲器１の側壁内面には集束ｉ１．
極（図示せず）が形成されている。上記入力面１はＭ基
板（図示せず）上に入力螢光体層５及び光電面６を順次
積層して形成さｈているが、との光電面６を形成するた
めに、真壁外囲器１の側壁には外部導入機＄１が設けら
れている。この外部導入機［７は、第２図及び第３図か
らも明らかなように真空外囲器１の側壁に一体突設さゴ
ｔた支持管８と、この支持管８に固着され一端が真空外
囲器１内の略管軸上に位置する）１？ −）支持棒９と
からなっている。そして、ポート支持ｆａ９の一端には
蒸発ポート１０が固着されこの蒸発ボート１０内には蒸
発源１１が収納されておシ、ボート支持棒９の他端は電
源１２に１１１続きれている。
上記の場合、蒸発ボート１０はモリブデンやタングステ
ン或いはタンタル等で作られているが、光電面形成に必
要最小限の軽郊小形化と最大強度が充分に考慮されてい
るのは言う迄もない。又、ボート支持棒９は形状記憶合
金からなシ、蒸発源１１の蒸発時には第２図に示す位置
に、それ以外の時には第３図に示す位置に保たれる。使
用される形状記憶合金は、Ｎｉ −、’ｒ１合金或いは
Ｃｕ −Ｚｎ −Ａｔ合金等であシ、１方向（１ｗａｙ
）又は反復動作（２ｗａｙ ）の形態を持つ。反復動
作形態であれば、特に伸び或いは縮みが反復自由であり
、その効果は大きいし、使用上の操作性も非常に簡便と
なる。
ン或いはタンタル等で作られているが、光電面形成に必
要最小限の軽郊小形化と最大強度が充分に考慮されてい
るのは言う迄もない。又、ボート支持棒９は形状記憶合
金からなシ、蒸発源１１の蒸発時には第２図に示す位置
に、それ以外の時には第３図に示す位置に保たれる。使
用される形状記憶合金は、Ｎｉ −、’ｒ１合金或いは
Ｃｕ −Ｚｎ −Ａｔ合金等であシ、１方向（１ｗａｙ
）又は反復動作（２ｗａｙ ）の形態を持つ。反復動
作形態であれば、特に伸び或いは縮みが反復自由であり
、その効果は大きいし、使用上の操作性も非常に簡便と
なる。
尚、電源１２は蒸発ポート１０を加熱するための電源で
あるが、直流又は交流のどちらでもよい。
あるが、直流又は交流のどちらでもよい。
又、ｇ発ポート１０の加熱は直接通電による方式のみに
限らず、レーザ加熱、赤外線加熱或いは高周波餌導加熱
のいずれの方式でも構わないが、この発明では装置の小
形・簡略化を実現するため、直接通電方式を採用してい
る。
限らず、レーザ加熱、赤外線加熱或いは高周波餌導加熱
のいずれの方式でも構わないが、この発明では装置の小
形・簡略化を実現するため、直接通電方式を採用してい
る。
第１図中、１３は排気管、１４は排気ポンプである。
この発明によれば、
■機械的摺動部の削除
■外部制御機構の削除
■装置の小形化
等のいずれの目的にも合致し、従来の欠点を大巾に改善
することができる。
することができる。
一般に、光電面６の形成においてアンチモン及び又はア
ルカリ等蒸発源１１の蒸発後の役割は皆無である。これ
らに使われるアンチモン、セシウム空の如きは、蒸発時
の高温加熱によシ結晶化或いは再結晶化が促進され、脆
化した化合物になる例が多く、管球内に存在する限シに
オイては、振動或いは衝撃等によシ崩壊及び脱落を生じ
、塊状微外粒となる。これは上記のよ。
ルカリ等蒸発源１１の蒸発後の役割は皆無である。これ
らに使われるアンチモン、セシウム空の如きは、蒸発時
の高温加熱によシ結晶化或いは再結晶化が促進され、脆
化した化合物になる例が多く、管球内に存在する限シに
オイては、振動或いは衝撃等によシ崩壊及び脱落を生じ
、塊状微外粒となる。これは上記のよ。
うに入力面及び出力面上に、ブッ状（＝Ｊ着物となる可
能性が充分あり、面品位を損ない診断等用途に支障を来
たす。そのためには、蒸発後の使用済み蒸発物質の取除
きは、是非共必要である。
能性が充分あり、面品位を損ない診断等用途に支障を来
たす。そのためには、蒸発後の使用済み蒸発物質の取除
きは、是非共必要である。
この発明では、排気最終工程での「封じ切シ」前には、
第３図の状態に保たれつつその位置で掴じ切シされるの
である。従って、上記従来の欠点が除かれるのである。
第３図の状態に保たれつつその位置で掴じ切シされるの
である。従って、上記従来の欠点が除かれるのである。
第１図はこの発明の一実施例に係る像増倍管の製造方法
を示す断面図、第２図及び第３図は第１図の要部（外部
導入機構）を示す断面図、第４図はこの発明で用いるデ
ート支持棒及び蒸発Ｓ； ）を示す平面図と側面図であ
る。 １・・・真壁外囲器、ヱ・・・入力面、５・・・入力螢
光体層、６・・・光電面、７・・・外部導入機構、８・
・・支持管、９・・・ボート支持棒、１ｏ・・・蒸発ボ
ート、１１・・・蒸発源、１２・・・電源。 出願人代理人 弁即士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 第４図
を示す断面図、第２図及び第３図は第１図の要部（外部
導入機構）を示す断面図、第４図はこの発明で用いるデ
ート支持棒及び蒸発Ｓ； ）を示す平面図と側面図であ
る。 １・・・真壁外囲器、ヱ・・・入力面、５・・・入力螢
光体層、６・・・光電面、７・・・外部導入機構、８・
・・支持管、９・・・ボート支持棒、１ｏ・・・蒸発ボ
ート、１１・・・蒸発源、１２・・・電源。 出願人代理人 弁即士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (3)
- （１）像増倍管の真空外囲器に一体に側方へ支持管を突
設し、該支持管を貫通して形状記憶合金からなるが一ト
支持棒を固着し、該テート支持棒の一端に蒸発時に略管
軸上に位置する蒸発源を収容した蒸発ボートを設け、細
端に電源を接続するか或いは光電源、レーザー電源、高
周波電源等で上記蒸発源を加熱して蒸発させ入力螢光体
層上に光電面を形成することを特徴とした像増倍管の製
造方法。 - （２）上記形状記憶合金は、動作が１方向又は２方向（
反俵）の形態を有している特許請求の範囲第１項記載の
像増倍管の製造方法。 - （３）上記形状記憶合金は、Ｎｉ −ＴＩ又はＣｕ −
Ｚｎ −Ａｔ合金からなっている特許請求の範囲第・１
項及び第２項記載の像増倍管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17859883A JPS6070631A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 像増倍管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17859883A JPS6070631A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 像増倍管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6070631A true JPS6070631A (ja) | 1985-04-22 |
Family
ID=16051250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17859883A Pending JPS6070631A (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 像増倍管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6070631A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5339644A (en) * | 1976-09-21 | 1978-04-11 | Ebara Infilco Co Ltd | Method of treating dredged sludge |
| JPS53124962A (en) * | 1977-04-04 | 1978-10-31 | Machlett Lab Inc | Regulated photosensitive screen* method of producing same and image intensifying tube using same |
| JPS57132661A (en) * | 1981-02-10 | 1982-08-17 | Matsushita Electric Works Ltd | Discharge lamp |
-
1983
- 1983-09-27 JP JP17859883A patent/JPS6070631A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5339644A (en) * | 1976-09-21 | 1978-04-11 | Ebara Infilco Co Ltd | Method of treating dredged sludge |
| JPS53124962A (en) * | 1977-04-04 | 1978-10-31 | Machlett Lab Inc | Regulated photosensitive screen* method of producing same and image intensifying tube using same |
| JPS57132661A (en) * | 1981-02-10 | 1982-08-17 | Matsushita Electric Works Ltd | Discharge lamp |
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