JPS6071831A - 組替式局所環境制御室 - Google Patents
組替式局所環境制御室Info
- Publication number
- JPS6071831A JPS6071831A JP58181348A JP18134883A JPS6071831A JP S6071831 A JPS6071831 A JP S6071831A JP 58181348 A JP58181348 A JP 58181348A JP 18134883 A JP18134883 A JP 18134883A JP S6071831 A JPS6071831 A JP S6071831A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- chamber
- control room
- lattice frame
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Duct Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、組替式局所環境制御室に係り、特に半導体製
造工場、薬品製造工場、食品製造工場、病院等の空調防
塵室に適した組替式局所環境制御室に関する。
造工場、薬品製造工場、食品製造工場、病院等の空調防
塵室に適した組替式局所環境制御室に関する。
第１図、第２図は従来の空調防塵室の構造が示され、第
１図はダクトレス式空調防塵室、第２図はダクト式空調
防塵室が示されている。
１図はダクトレス式空調防塵室、第２図はダクト式空調
防塵室が示されている。
図に於いて送風機１０で吸気された外気は、空気調和機
１２で温湿度制御され、プレフィルタ１４を通り、一旦
給気ダクト１６から吸気室１８に供給した後（第１図）
又は給気ダクト１６から直接に（第２図）送気ユニット
２０に供給される。局所制御の場合通常送気ユニット２
０は、エアの清浄度及び温湿度の制御を要する作業エリ
ア、生産設備、製品等の真上に設けられる。従って空調
防塵室内にレイアウトしである作業エリアの変更、生産
設備の変更等の場合には、その変更に応じて送気ユニッ
トを移動する必要がある。しかしながら、送気ユニット
の移動は、天井、壁面等の改造を必要とし、送気ユニッ
トの移動作業は多くの費用と日数を要する。また、天井
等の改造工事期間中は長い間生産が中断することは勿論
のこと、隣接する他の生産設備、ラインにも影響を及ぼ
し、更に塵埃による製品の不良を発生せしめる。又工事
終了後も、清浄度を安定化させるに長い日数を要するこ
と等種々の問題があり、工場生産上大きな問題となる。
１２で温湿度制御され、プレフィルタ１４を通り、一旦
給気ダクト１６から吸気室１８に供給した後（第１図）
又は給気ダクト１６から直接に（第２図）送気ユニット
２０に供給される。局所制御の場合通常送気ユニット２
０は、エアの清浄度及び温湿度の制御を要する作業エリ
ア、生産設備、製品等の真上に設けられる。従って空調
防塵室内にレイアウトしである作業エリアの変更、生産
設備の変更等の場合には、その変更に応じて送気ユニッ
トを移動する必要がある。しかしながら、送気ユニット
の移動は、天井、壁面等の改造を必要とし、送気ユニッ
トの移動作業は多くの費用と日数を要する。また、天井
等の改造工事期間中は長い間生産が中断することは勿論
のこと、隣接する他の生産設備、ラインにも影響を及ぼ
し、更に塵埃による製品の不良を発生せしめる。又工事
終了後も、清浄度を安定化させるに長い日数を要するこ
と等種々の問題があり、工場生産上大きな問題となる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、環
境室内の生産設備、作業エリア等の変更に応じて簡単に
送気ユニットの取付は取外し、並びに移動ができる組替
式局所環境制御室を提案することを目的とする。
境室内の生産設備、作業エリア等の変更に応じて簡単に
送気ユニットの取付は取外し、並びに移動ができる組替
式局所環境制御室を提案することを目的とする。
本発明は前記目的を達成する為に、部屋の一方の側から
対向する他方の側に向けて部屋が、ミキシングチャンバ
、環境制御室、リターンチャンバの順序で区分され、ミ
キシングチャンバと環境制御室との境界面には第１の格
子枠を配設すると共に環境制御室とリターンチャンバと
の境界面には第２の格子枠を配設し、ミキシングチャン
バ内には第１の格子枠の格子面に対応する複数の給気口
が形成された空調エアを供給するダクトが配設されると
共にリターンチャンバからのエアが供給され、第１の格
子枠の格子面にはフレキシブルチューブを介して前記ダ
クトの給気口と連通可能且つミキシングチャンバ内のエ
アを吸入可能な送気ユニット又は蓋板が着脱自在に設け
られ、第２の格子枠の格子面には、環境制御室のエアを
リターンチャンバに吸込む吸込板又は蓋板が着脱自在に
設けられ、吸込板の下流側には風量開節用ダンパが配設
され、環境制御室の所定の場所に送気ユニットからのエ
アを流動させることを特徴とする。
対向する他方の側に向けて部屋が、ミキシングチャンバ
、環境制御室、リターンチャンバの順序で区分され、ミ
キシングチャンバと環境制御室との境界面には第１の格
子枠を配設すると共に環境制御室とリターンチャンバと
の境界面には第２の格子枠を配設し、ミキシングチャン
バ内には第１の格子枠の格子面に対応する複数の給気口
が形成された空調エアを供給するダクトが配設されると
共にリターンチャンバからのエアが供給され、第１の格
子枠の格子面にはフレキシブルチューブを介して前記ダ
クトの給気口と連通可能且つミキシングチャンバ内のエ
アを吸入可能な送気ユニット又は蓋板が着脱自在に設け
られ、第２の格子枠の格子面には、環境制御室のエアを
リターンチャンバに吸込む吸込板又は蓋板が着脱自在に
設けられ、吸込板の下流側には風量開節用ダンパが配設
され、環境制御室の所定の場所に送気ユニットからのエ
アを流動させることを特徴とする。
以下添伺図面に従って本発明に係る組替式局所環境制御
室の好ましい実施例を詳説する。
室の好ましい実施例を詳説する。
第３図は縦型の局所環境制御室の構造が示され、部屋２
２は上方から順にミキシングチャンバ２４、環境制御室
２６、リターンチャンバ２８が形成されている。空調機
３０はダクト３２を介してリターンチャンバ２８のエア
の一部を吸込むと共に外気を一部取入れ、空調した後に
後述するダクト３４にエアを供給する。また環境制御室
２６の側面は二重壁構造として構成され、エア通路３６
が形成され、リターンチャンバ２８の大部分のエアはこ
のエア通路３６を介してミキシングチャンバ２４に送ら
れる。
２は上方から順にミキシングチャンバ２４、環境制御室
２６、リターンチャンバ２８が形成されている。空調機
３０はダクト３２を介してリターンチャンバ２８のエア
の一部を吸込むと共に外気を一部取入れ、空調した後に
後述するダクト３４にエアを供給する。また環境制御室
２６の側面は二重壁構造として構成され、エア通路３６
が形成され、リターンチャンバ２８の大部分のエアはこ
のエア通路３６を介してミキシングチャンバ２４に送ら
れる。
ミキシングチャンバ２４と環境制御室２６との境界面に
は第４図で示すように構成された第１の格子枠３８が配
置される。ミキシングチャンバ２４内の給気ダクト３４
は第４図に示すように第１の格子枠３８に沿って複数の
枝管４０が平行に形成され、この枝管４０には第１の格
子枠３８の各格子面に対応して給気口４２が複数個形成
されている。第１の格子枠３８の格子面には、送気ユニ
ット４４が所定箇所に着脱自在に取イ」けられる。送気
ユニット４４は設備機械４５、製品等の位置に応じてそ
の真上に設けられる。また、送気ユニット４４が設けら
れていない格子面は着脱自在な蓋板４６によって閉じら
れる。送気ユニット４４と蓋板４６とは、第１の格子枠
３８にボルト等を介して着脱自在に設けられているので
、送気ユニット４４は必要に応じて適宜その位置を変え
ることができる。
は第４図で示すように構成された第１の格子枠３８が配
置される。ミキシングチャンバ２４内の給気ダクト３４
は第４図に示すように第１の格子枠３８に沿って複数の
枝管４０が平行に形成され、この枝管４０には第１の格
子枠３８の各格子面に対応して給気口４２が複数個形成
されている。第１の格子枠３８の格子面には、送気ユニ
ット４４が所定箇所に着脱自在に取イ」けられる。送気
ユニット４４は設備機械４５、製品等の位置に応じてそ
の真上に設けられる。また、送気ユニット４４が設けら
れていない格子面は着脱自在な蓋板４６によって閉じら
れる。送気ユニット４４と蓋板４６とは、第１の格子枠
３８にボルト等を介して着脱自在に設けられているので
、送気ユニット４４は必要に応じて適宜その位置を変え
ることができる。
送気ユニット４４は、ブロアが内蔵されたプロアケース
４８、プロアケース４８に形成された採気口５゜、５２
、高性能フィルタ５４から構成されている。送気ユニッ
ト４４の採気口５０はフレキシブルチューブ５６を介し
て近接する給気口４２と連通される。
４８、プロアケース４８に形成された採気口５゜、５２
、高性能フィルタ５４から構成されている。送気ユニッ
ト４４の採気口５０はフレキシブルチューブ５６を介し
て近接する給気口４２と連通される。
環境制御室２６とリターンチャンバ２８とは第２の格子
枠５８で区分され、この第２の格子枠５８は床面として
利用される。第２の格子枠５８の格子面に於いては、送
気ユニツト４４に対応する位置にエア吸込板としての着
脱自在なグリル６０等が設けられるが、その他の格子面
は着脱自在な蓋板６２で塞がれる。グリル６０の下方に
はダンパ６４が設けられ、ダンパ６４は各羽根の開度を
変えることにより吸込みエアの風量、方向を調節する。
枠５８で区分され、この第２の格子枠５８は床面として
利用される。第２の格子枠５８の格子面に於いては、送
気ユニツト４４に対応する位置にエア吸込板としての着
脱自在なグリル６０等が設けられるが、その他の格子面
は着脱自在な蓋板６２で塞がれる。グリル６０の下方に
はダンパ６４が設けられ、ダンパ６４は各羽根の開度を
変えることにより吸込みエアの風量、方向を調節する。
前記の如く構成された本発明に係る実施例の作用は次の
通りである。先ず空調機３０からダクト３４に空調エア
が供給される。また、ミキシングチャンバ２４の送気ユ
ニット４４が稼働すると、ダクト３４の空調エアはフレ
キシブルチューブ５６を介して送気ユニット４４に吸引
される。同時にミキシングチャンバ２４内の圧力はリタ
ーンチャンバ２８よす低くなり、この為、リターンチャ
ンバ２８内のエアはエア通路３６を通ってミキシングチ
ャンバ２４に吸引される。第１の格子枠３８には生産設
備等の位置に応じて予め所定位置に送気ユニット４４が
配置されている。送気ユニット４４は、フレキシブルチ
ューブ５６からの空調エアとミキシングチャンバ′２４
のエアとを混合し、高性能フィルタ５４を通過させた後
環境制御室にエアを吸込む。送気ユニット４４は生産設
備の要求に応じて空調無塵ゾーンを形成することができ
る。空調無塵ゾーンに於いては、採気口５０．５２に設
けられた図示しないダンパの開度を変えることにより、
フレキシブルチューブ５６並びにミキシングチャンバ２
４からのエアの吸気比率を変え、必要に応じてエア清浄
度、温湿度条件を変えることができる。
通りである。先ず空調機３０からダクト３４に空調エア
が供給される。また、ミキシングチャンバ２４の送気ユ
ニット４４が稼働すると、ダクト３４の空調エアはフレ
キシブルチューブ５６を介して送気ユニット４４に吸引
される。同時にミキシングチャンバ２４内の圧力はリタ
ーンチャンバ２８よす低くなり、この為、リターンチャ
ンバ２８内のエアはエア通路３６を通ってミキシングチ
ャンバ２４に吸引される。第１の格子枠３８には生産設
備等の位置に応じて予め所定位置に送気ユニット４４が
配置されている。送気ユニット４４は、フレキシブルチ
ューブ５６からの空調エアとミキシングチャンバ′２４
のエアとを混合し、高性能フィルタ５４を通過させた後
環境制御室にエアを吸込む。送気ユニット４４は生産設
備の要求に応じて空調無塵ゾーンを形成することができ
る。空調無塵ゾーンに於いては、採気口５０．５２に設
けられた図示しないダンパの開度を変えることにより、
フレキシブルチューブ５６並びにミキシングチャンバ２
４からのエアの吸気比率を変え、必要に応じてエア清浄
度、温湿度条件を変えることができる。
前記実施例によれば、送気ユニット４４は第１の格子枠
３８に着脱自在に設けられているので、大規模な工事を
することなく生産設備に応じて簡単に移動設置すること
ができる。また、本実施例によれば、環境制御室２６に
於いて局所的空調処理が可能であるので、電気炉等の発
熱源が存在するような場合にも、環境制御室２６全体の
空調のバランスをくずすことなく最適空調処理が可能で
ある。
３８に着脱自在に設けられているので、大規模な工事を
することなく生産設備に応じて簡単に移動設置すること
ができる。また、本実施例によれば、環境制御室２６に
於いて局所的空調処理が可能であるので、電気炉等の発
熱源が存在するような場合にも、環境制御室２６全体の
空調のバランスをくずすことなく最適空調処理が可能で
ある。
また、前記実施例によればグリル６０の下方にダンパ６
４が設けられているので送気ユニット４４からグリル６
０に吸込まれるエアの風量、風向を調整することができ
る。従って設備機械４５等に当たるエアの風量、風向を
調節することができ、設備機械４５等の熱遮断を有効に
果すと共に塵埃の付着を防止することができる。環境制
御室２６の風量、風向は送気ユニット４４内のダンパに
よっても調節可能であるが、ダンパ６４は送気ユニット
４４より設備機械４５に゛より近接しているので、より
有効に送気ユニット４４からのエアの風量、風向を調整
することができる。
４が設けられているので送気ユニット４４からグリル６
０に吸込まれるエアの風量、風向を調整することができ
る。従って設備機械４５等に当たるエアの風量、風向を
調節することができ、設備機械４５等の熱遮断を有効に
果すと共に塵埃の付着を防止することができる。環境制
御室２６の風量、風向は送気ユニット４４内のダンパに
よっても調節可能であるが、ダンパ６４は送気ユニット
４４より設備機械４５に゛より近接しているので、より
有効に送気ユニット４４からのエアの風量、風向を調整
することができる。
第５図では本発明に係る他の実施例の構造が示されてい
る。第５図では横型の組替式局所環境制御室が示され、
第５図の実施例に於いて第３図、第４図で示した実施例
中の同一の部材若しくは類似の部材には同一の符号を付
しその説明は省略する。第５図に示す実施例においても
環境制御室２６内の局所制御が可能であり、また送気ユ
ニットの移動も簡単に行うことができる。第５図に示す
実施例では横型のため、設置にあたり第３図、第４図に
示す実施例と比較して天井等の改造作業を必要としない
為、既存の建物に設置する場合に有利である。
る。第５図では横型の組替式局所環境制御室が示され、
第５図の実施例に於いて第３図、第４図で示した実施例
中の同一の部材若しくは類似の部材には同一の符号を付
しその説明は省略する。第５図に示す実施例においても
環境制御室２６内の局所制御が可能であり、また送気ユ
ニットの移動も簡単に行うことができる。第５図に示す
実施例では横型のため、設置にあたり第３図、第４図に
示す実施例と比較して天井等の改造作業を必要としない
為、既存の建物に設置する場合に有利である。
以上説明したように本発明に係る組替式局所環境制御室
によれば、部屋の一方の側から対向する他方の側に向け
て部屋がミキシングチャンバ、環境制御室、リターンチ
ャンバの順序で区分され、ミキシングチャンバと環境制
御室との境界面には第１の格子枠を配設すると共に環境
制御室とリターンチャンバとの境界面には第２の格子枠
を配設し、送気ユニットは第１の格子枠の任意の位置に
着脱自在に設けることができるので環境制御室の局所制
御が可能となる。また、送気ユニットは第１の格子に簡
単に取付け、取外しができるので、従来必要であった天
井等の解体、改造工事等無しに送気ユニットの移動が可
能である。
によれば、部屋の一方の側から対向する他方の側に向け
て部屋がミキシングチャンバ、環境制御室、リターンチ
ャンバの順序で区分され、ミキシングチャンバと環境制
御室との境界面には第１の格子枠を配設すると共に環境
制御室とリターンチャンバとの境界面には第２の格子枠
を配設し、送気ユニットは第１の格子枠の任意の位置に
着脱自在に設けることができるので環境制御室の局所制
御が可能となる。また、送気ユニットは第１の格子に簡
単に取付け、取外しができるので、従来必要であった天
井等の解体、改造工事等無しに送気ユニットの移動が可
能である。
また、エア吸込み側である第２の格子枠近傍には吸込み
エアの風量、風向調節用ダンパが設けられているので、
環境制御室内の設備機械等に空調防塵エアを最適な風量
、風向で供給することができる。
エアの風量、風向調節用ダンパが設けられているので、
環境制御室内の設備機械等に空調防塵エアを最適な風量
、風向で供給することができる。
第１図、第２図は従来の空調防塵室の構造を示す説明図
、第３図は本実施例の構造を示す説明図、第４図は格子
の平面図、第５図は本発明に係る他の実施例を示す概略
斜視図である。 ２２・・・部屋、２４・・・ミキシングチャンバ、 ２
６・・・環境制御室、 ２８・・・リターンチャンバ、
３０・・・空調機、 ３４・・・ダクト、 ３８・・
・第１の格子枠、 ４２・・・給気口、 ４４・・・送
気ユニット、 ４６・・・蓋板、５６・・・フレキシブ
ルチューブ、 ５８・・・第２の格子枠、６０・・・グ
リル、 ６２・・・蓋板、６４・・・ダンパ。
、第３図は本実施例の構造を示す説明図、第４図は格子
の平面図、第５図は本発明に係る他の実施例を示す概略
斜視図である。 ２２・・・部屋、２４・・・ミキシングチャンバ、 ２
６・・・環境制御室、 ２８・・・リターンチャンバ、
３０・・・空調機、 ３４・・・ダクト、 ３８・・
・第１の格子枠、 ４２・・・給気口、 ４４・・・送
気ユニット、 ４６・・・蓋板、５６・・・フレキシブ
ルチューブ、 ５８・・・第２の格子枠、６０・・・グ
リル、 ６２・・・蓋板、６４・・・ダンパ。
Claims (1)
- （１１部屋の一方の側から対向する他方の側に向けて部
屋がミキシングチャンバ、環境制御室、リターンチャン
バの順序で区分され、ミキシングチャンバと環境制御室
との境界面には第１の格子枠を配設すると共に環境制御
室とリターンチャンバとの境界面には第２の格子枠を配
設し、ミキシングチャンバ内には第１の格子枠の格子面
に対応する複数の給気口が形成された空調エア供給用ダ
クトが配設されると共にリターンチャンバからのエアが
供給され、第１の格子枠の格子面にはフレキシブルチュ
ーブを介して前記ダクトの給気口と連過可能且つミキシ
ングチャンバ内のエアを吸入可能な送気ユニット又は蓋
板が着脱自在に設けられ、第２の格子枠の格子面には環
境制御室のエアをリターンチャンバに吸込む吸込板又は
蓋板が着脱自在に設けられ、吸込板の下流側にはダンパ
が配設され、環境制御室の所定の場所に送気ユニットか
らのエアを流動させることを特徴とする組替式局所環境
制御室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181348A JPS6071831A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 組替式局所環境制御室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181348A JPS6071831A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 組替式局所環境制御室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071831A true JPS6071831A (ja) | 1985-04-23 |
Family
ID=16099133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58181348A Pending JPS6071831A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 組替式局所環境制御室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071831A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4163566A1 (en) * | 2021-10-06 | 2023-04-12 | ABN Cleanroom Technology N.V. | Cleanroom and method for purifying a cleanroom |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP58181348A patent/JPS6071831A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4163566A1 (en) * | 2021-10-06 | 2023-04-12 | ABN Cleanroom Technology N.V. | Cleanroom and method for purifying a cleanroom |
| BE1029823B1 (nl) * | 2021-10-06 | 2023-05-08 | Abn Cleanroom Tech N V | Cleanroom en werkwijze voor het zuiveren van een cleanroom |
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