JPH0311379B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0311379B2 JPH0311379B2 JP58027700A JP2770083A JPH0311379B2 JP H0311379 B2 JPH0311379 B2 JP H0311379B2 JP 58027700 A JP58027700 A JP 58027700A JP 2770083 A JP2770083 A JP 2770083A JP H0311379 B2 JPH0311379 B2 JP H0311379B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- chamber
- intake
- room
- intake chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、組替式局所環境制御室に係り、特に
半導体製造工場、薬品製造工場、食品製造工場、
病院等の空気防塵室に適した組替式局所環境制御
室に関する。
半導体製造工場、薬品製造工場、食品製造工場、
病院等の空気防塵室に適した組替式局所環境制御
室に関する。
第１図、第２図は従来の空調防塵室の構造が示
され、第１図はダクトレス式空調防塵室、第２図
はダクト式空調防塵室が示されている。
され、第１図はダクトレス式空調防塵室、第２図
はダクト式空調防塵室が示されている。
図に於いて送風機１０で吸気された外気は、空
気調和機１２で温湿度制御され、プレフイルタ１
４を通り、一旦給気ダクト１６から吸気室１８に
供給した後（第１図）又は給気ダクト１６から直
接に（第２図）送気ユニツト２０に供給される。
通常送気ユニツト２０は、エアの清浄度及び温湿
度の制御を要する作業エリア、生産設備、製品等
の真上に設けられる。従つて空調防塵室内にレイ
アウトしてある作業エリアの変更、生産設備の位
置変更時には、前述の送気ユニツト２０の位置変
更を伴う。このため、給気ダクト１６、天井２１
等の解体と再取付工事が発生し、莫大な費用と日
程を要する。また、工事期間中は長い間生産が中
断することは勿論のこと、隣接する他の生産設
備、ラインにも影響を及ぼし、更に塵埃による不
良を発生せしめる。又工事終了後も、清浄度を安
定化させるに長い日数を要すること等種々の問題
があり、工場生産上大きな問題となる。
気調和機１２で温湿度制御され、プレフイルタ１
４を通り、一旦給気ダクト１６から吸気室１８に
供給した後（第１図）又は給気ダクト１６から直
接に（第２図）送気ユニツト２０に供給される。
通常送気ユニツト２０は、エアの清浄度及び温湿
度の制御を要する作業エリア、生産設備、製品等
の真上に設けられる。従つて空調防塵室内にレイ
アウトしてある作業エリアの変更、生産設備の位
置変更時には、前述の送気ユニツト２０の位置変
更を伴う。このため、給気ダクト１６、天井２１
等の解体と再取付工事が発生し、莫大な費用と日
程を要する。また、工事期間中は長い間生産が中
断することは勿論のこと、隣接する他の生産設
備、ラインにも影響を及ぼし、更に塵埃による不
良を発生せしめる。又工事終了後も、清浄度を安
定化させるに長い日数を要すること等種々の問題
があり、工場生産上大きな問題となる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたも
ので、環境室内の生産設備、作業エリア等の変更
に応じて簡単に送気ユニツトの取付け取外し、並
びに移動ができる組替式局所環境制御室を提案す
ることを目的とする。
ので、環境室内の生産設備、作業エリア等の変更
に応じて簡単に送気ユニツトの取付け取外し、並
びに移動ができる組替式局所環境制御室を提案す
ることを目的とする。
本発明は前記目的を達成する為に、部屋の一方
の側から対向する他方の側に向けて、部屋が第１
の吸気室、第２の吸気室、環境制御室、排気室の
順序で区分され、第１の吸気室と第２の吸気室と
の境界面には第１の格子を配設すると共に第２の
吸気室と環境制御室との境界面には、第１の格子
の格子面と対応する格子面を有する第２の格子を
配設し、環境制御室と排気室との境界面には排気
格子を配設し、第２の格子の格子面には第１の吸
気室並びに第２の吸気室に連通可能な吸気取入
口、送風機、除塵フイルタから成る送気ユニツト
又は蓋板が着脱自在に設けられ、第１の格子の格
子面には送気ユニツトの吸気取入口が位置するか
若しくは着脱自在な蓋板が設けられ、排気格子の
格子には環境制御室の空気を排気室に吸込む吸込
板又は蓋板が着脱自在に設けられ、環境制御室の
所定の場所には送気ユニツトの送風量及び／又は
第１の吸気室と第２の吸気室からの吸気比率と制
御する信号を発生する検出器を設け、環境制御室
の所定の場所に送風機からの空気を流動させるこ
とを特徴とする。以下添付図面に従つて本発明に
係る組替式局所環境制御室の好ましい実施例を詳
説する。
の側から対向する他方の側に向けて、部屋が第１
の吸気室、第２の吸気室、環境制御室、排気室の
順序で区分され、第１の吸気室と第２の吸気室と
の境界面には第１の格子を配設すると共に第２の
吸気室と環境制御室との境界面には、第１の格子
の格子面と対応する格子面を有する第２の格子を
配設し、環境制御室と排気室との境界面には排気
格子を配設し、第２の格子の格子面には第１の吸
気室並びに第２の吸気室に連通可能な吸気取入
口、送風機、除塵フイルタから成る送気ユニツト
又は蓋板が着脱自在に設けられ、第１の格子の格
子面には送気ユニツトの吸気取入口が位置するか
若しくは着脱自在な蓋板が設けられ、排気格子の
格子には環境制御室の空気を排気室に吸込む吸込
板又は蓋板が着脱自在に設けられ、環境制御室の
所定の場所には送気ユニツトの送風量及び／又は
第１の吸気室と第２の吸気室からの吸気比率と制
御する信号を発生する検出器を設け、環境制御室
の所定の場所に送風機からの空気を流動させるこ
とを特徴とする。以下添付図面に従つて本発明に
係る組替式局所環境制御室の好ましい実施例を詳
説する。
第３図は縦型の局所環境制御室の構造が示さ
れ、部屋２２の上方から順に第１の吸気室として
の空調室２４、第２の吸気室としての防塵室２
６、環境制御室２８、排気室３０が形成されてい
る。空調機３２はダクト３４を介して排気室３０
のエアの一部を吸込むと共に外気を一部取入れ、
空調した後ダクト３６を介して空調室２４にエア
を供給する。また排気室３０のエアは大部分はダ
クト３８を介して防塵室２６に送られる。
れ、部屋２２の上方から順に第１の吸気室として
の空調室２４、第２の吸気室としての防塵室２
６、環境制御室２８、排気室３０が形成されてい
る。空調機３２はダクト３４を介して排気室３０
のエアの一部を吸込むと共に外気を一部取入れ、
空調した後ダクト３６を介して空調室２４にエア
を供給する。また排気室３０のエアは大部分はダ
クト３８を介して防塵室２６に送られる。
空調室２４と防塵室２６との境界面には第１の
格子４０が配置され、防塵室２６と環境制御室２
８との境界面には第２格子４２が配設されてい
る。第１、第２の格子４０，４２は第４図に示さ
れ、その格子面４４は第３図に示すように互いに
対応するように配設されている。第１の格子４０
は第５図に示す吊り金具４６を介して天井４８か
ら吊り下げられ、第２の格子４２は同様の吊り金
具５０を介して第１の格子４０に吊り下げられて
いる。尚、第５図の符号５２で示す部材は格子の
高さ調節金具である。
格子４０が配置され、防塵室２６と環境制御室２
８との境界面には第２格子４２が配設されてい
る。第１、第２の格子４０，４２は第４図に示さ
れ、その格子面４４は第３図に示すように互いに
対応するように配設されている。第１の格子４０
は第５図に示す吊り金具４６を介して天井４８か
ら吊り下げられ、第２の格子４２は同様の吊り金
具５０を介して第１の格子４０に吊り下げられて
いる。尚、第５図の符号５２で示す部材は格子の
高さ調節金具である。
第２の格子４２の格子面４４には必要箇所に第
６図に示す送気ユニツト５４が配置される。送気
ユニツト５４は、送風機５６、高性能フイルタ５
８、空室２４からのエア取入口６０、防塵室２か
らのエア取入口６２から構成されている。エア取
入口６０，６２にはエア吸込量を調節するダンパ
６４，６６が配設されている。送気ユニツト５４
の取付板６７はボルト７０によつて第２の格子４
２に取付けられる。送気ユニツト５４は、生産設
備、製品等の位置に応じその真上に設けられ、従
つて空調防塵ゾーンンは第７図の斜線７１で示す
ように形成される。第２の格子４２に於いて、送
気ユニツト５４の設けられていない格子面４４は
蓋板６８によつて閉じこめられる。送気ユニツト
５４、蓋板６８は第２の格子４２にボルト等によ
り着脱自在に取付けることができ、必要に応じて
送気ユニツト５４の位置を変えることができる。
一方、第１の格子４０にも、蓋板７０が着脱自在
に取付けられ、エア取入口６０が位置する蓋板７
０には孔７２が開口している。孔７２とエア取入
口６０とはフレキシブルチユーブ７４等で連通さ
れる。
６図に示す送気ユニツト５４が配置される。送気
ユニツト５４は、送風機５６、高性能フイルタ５
８、空室２４からのエア取入口６０、防塵室２か
らのエア取入口６２から構成されている。エア取
入口６０，６２にはエア吸込量を調節するダンパ
６４，６６が配設されている。送気ユニツト５４
の取付板６７はボルト７０によつて第２の格子４
２に取付けられる。送気ユニツト５４は、生産設
備、製品等の位置に応じその真上に設けられ、従
つて空調防塵ゾーンンは第７図の斜線７１で示す
ように形成される。第２の格子４２に於いて、送
気ユニツト５４の設けられていない格子面４４は
蓋板６８によつて閉じこめられる。送気ユニツト
５４、蓋板６８は第２の格子４２にボルト等によ
り着脱自在に取付けることができ、必要に応じて
送気ユニツト５４の位置を変えることができる。
一方、第１の格子４０にも、蓋板７０が着脱自在
に取付けられ、エア取入口６０が位置する蓋板７
０には孔７２が開口している。孔７２とエア取入
口６０とはフレキシブルチユーブ７４等で連通さ
れる。
環境制御室２８に於いて、送気ユニツト５４の
下方には検出器７６が配置され、エア清浄度、温
度、湿度、ガス濃度、細菌数等を検出する。検出
器７６からの検出信号は制御装置７８に送られ、
制御装置７８はモータ８０，８２を作動させてダ
ンパ６４，６６の開度を制御する。
下方には検出器７６が配置され、エア清浄度、温
度、湿度、ガス濃度、細菌数等を検出する。検出
器７６からの検出信号は制御装置７８に送られ、
制御装置７８はモータ８０，８２を作動させてダ
ンパ６４，６６の開度を制御する。
環境制御室２８と排気室３０とは排気格子８４
で区分され、排気格子８４は床面として利用され
る。排気格子８４の格子面に於いては、送気ユニ
ツト５４に対応する位置にエア吸込板としての着
脱自在なグリル８６等が設けられるが、その他の
格子面には着脱自在な蓋板８８等で塞がれる。
（第３図） 前記の如く構成された本実施例の作用は次の通
りである。先ず空調機３２からダクト３６を介し
て空調室２４の空調エアが供給され、ダクト３８
を介して排気室３０のエアが防塵室２６に吸され
る。第２の格子４２には生産設備等に応じて予め
所定位置に送気ユニツト５４が配置されている。
送気ユニツト５４は、ダンパ６４，６６の開度を
制御することにより生産設備の要求に応じて空調
ゾーンＡ、無塵ゾーンＢ、空調無塵ゾーンＣを形
成することができる。空調無塵ゾーンＣに於いて
は、ダンパ６４，６６の開度を変えることによ
り、空調室２４並びに防塵室２６からのエアの吸
気比率を変え、必要に応じてエア清浄度、温湿度
条件を変えることができる。尚、第３図に於い
て、Ｄは無処理ゾーンである。
で区分され、排気格子８４は床面として利用され
る。排気格子８４の格子面に於いては、送気ユニ
ツト５４に対応する位置にエア吸込板としての着
脱自在なグリル８６等が設けられるが、その他の
格子面には着脱自在な蓋板８８等で塞がれる。
（第３図） 前記の如く構成された本実施例の作用は次の通
りである。先ず空調機３２からダクト３６を介し
て空調室２４の空調エアが供給され、ダクト３８
を介して排気室３０のエアが防塵室２６に吸され
る。第２の格子４２には生産設備等に応じて予め
所定位置に送気ユニツト５４が配置されている。
送気ユニツト５４は、ダンパ６４，６６の開度を
制御することにより生産設備の要求に応じて空調
ゾーンＡ、無塵ゾーンＢ、空調無塵ゾーンＣを形
成することができる。空調無塵ゾーンＣに於いて
は、ダンパ６４，６６の開度を変えることによ
り、空調室２４並びに防塵室２６からのエアの吸
気比率を変え、必要に応じてエア清浄度、温湿度
条件を変えることができる。尚、第３図に於い
て、Ｄは無処理ゾーンである。
前記実施例によれば、送気ユニツト５４は第２
の格子４２に着脱自在に設けられているので、大
規模な工事をすることなく生産設備に応じて簡単
に移動設置することができる。また、本実施例に
よれば、環境制御室２８に於いて局所的空調処理
が可能であるので、電気炉等の発熱源が存在する
ような場合にも、環境制御室２８全体の空調のバ
ランスをくずすことなく最適空調処理が可能であ
る。また、空調室３２からの空調エアが供給され
る空調室２４と環境制御室２８との間に防塵室２
６が形成されているので、空調機３２からの騒音
は環境制御室２８に伝達されにくい効果がある。
また、防塵室２６のエアは空調室２４と隣接して
いるので、空調室２４のエアから熱伝達が行わ
れ、空気処理に於いて省エネ効果がある。
の格子４２に着脱自在に設けられているので、大
規模な工事をすることなく生産設備に応じて簡単
に移動設置することができる。また、本実施例に
よれば、環境制御室２８に於いて局所的空調処理
が可能であるので、電気炉等の発熱源が存在する
ような場合にも、環境制御室２８全体の空調のバ
ランスをくずすことなく最適空調処理が可能であ
る。また、空調室３２からの空調エアが供給され
る空調室２４と環境制御室２８との間に防塵室２
６が形成されているので、空調機３２からの騒音
は環境制御室２８に伝達されにくい効果がある。
また、防塵室２６のエアは空調室２４と隣接して
いるので、空調室２４のエアから熱伝達が行わ
れ、空気処理に於いて省エネ効果がある。
また、防塵室２６は送風機５６の吸込側になる
ので、環境制御室２８よりも常に低い圧力に保た
れる。したがつて、防塵室２６と環境制御室２８
との間に〓間があつても、防塵室内のエアが環境
制御室へ漏れ出ることがなく、環境制御室２８の
清浄度は確実に保持される。
ので、環境制御室２８よりも常に低い圧力に保た
れる。したがつて、防塵室２６と環境制御室２８
との間に〓間があつても、防塵室内のエアが環境
制御室へ漏れ出ることがなく、環境制御室２８の
清浄度は確実に保持される。
第８図では本発明に係る他の実施例の構造が示
されている。第８図では横型の組替式局所環境制
御室が示され、第８図の実施例に於いて第３図で
示した実施例中の同一の部材若しくは類似の部材
には同一の符号を付してその説明は省略する。第
８図に示す実施例においても環境制御室２８内の
局所制御が可能であり、また送気ユニツトの移動
も簡単に行うことができる。第８図に示す実施例
では横型のため、設置にあたり第３図に示す実施
例と比較して天井等の改造作業を必要としない
為、既存の建物に設置する場合に有利である。
されている。第８図では横型の組替式局所環境制
御室が示され、第８図の実施例に於いて第３図で
示した実施例中の同一の部材若しくは類似の部材
には同一の符号を付してその説明は省略する。第
８図に示す実施例においても環境制御室２８内の
局所制御が可能であり、また送気ユニツトの移動
も簡単に行うことができる。第８図に示す実施例
では横型のため、設置にあたり第３図に示す実施
例と比較して天井等の改造作業を必要としない
為、既存の建物に設置する場合に有利である。
以上説明したように本発明に係る組替式局所環
境制御室によれば、送気ユニツトは第２の格子の
任意の位置に取付けることが出来るので、環境制
御室の局所制御が可能となる。また、環境制御室
には、各送気ユニツトに対応して検出器が設けら
れているので、生産設備に対応した環境条件を局
所的に形成することが出来る。また、各ダクトか
らの空気は第１の吸気室と第２の吸気室を経てか
ら合流されるのでダクト間の圧力差は少なくな
る。
境制御室によれば、送気ユニツトは第２の格子の
任意の位置に取付けることが出来るので、環境制
御室の局所制御が可能となる。また、環境制御室
には、各送気ユニツトに対応して検出器が設けら
れているので、生産設備に対応した環境条件を局
所的に形成することが出来る。また、各ダクトか
らの空気は第１の吸気室と第２の吸気室を経てか
ら合流されるのでダクト間の圧力差は少なくな
る。
第１図、第２図は従来の空調防塵室の構造を示
す説明図、第３図は本実施例の構造を示す説明
図、第４図は格子の平面図、第５図は第４図上
−線に沿う断面図、第６図は本実施例の送気ユ
ニツト付近の拡大断面図、第７図は本実施例によ
る局所制御ゾーンを示す説明図、第８図は本発明
に係る他の実施例を示す概略斜視図である。 ２２……部屋、２４……空調室、２６……防塵
室、２８……環境制御室、３０……排気室、４０
……第１の格子、４２……第２の格子、４４……
格子面、５４……送気ユニツト、５８……高性能
フイルタ、６０，６２……エア取入口、６４，６
６……ダンパ、６８，７０……蓋板、７６……検
出器、７８……制御装置、８４……排気格子。
す説明図、第３図は本実施例の構造を示す説明
図、第４図は格子の平面図、第５図は第４図上
−線に沿う断面図、第６図は本実施例の送気ユ
ニツト付近の拡大断面図、第７図は本実施例によ
る局所制御ゾーンを示す説明図、第８図は本発明
に係る他の実施例を示す概略斜視図である。 ２２……部屋、２４……空調室、２６……防塵
室、２８……環境制御室、３０……排気室、４０
……第１の格子、４２……第２の格子、４４……
格子面、５４……送気ユニツト、５８……高性能
フイルタ、６０，６２……エア取入口、６４，６
６……ダンパ、６８，７０……蓋板、７６……検
出器、７８……制御装置、８４……排気格子。
Claims (1)
- １ 部屋の一方の側から対向する他方の側に向け
て部屋が第１の吸気室、第２の吸気室、環境制御
室、排気室の順序で区分され、第１の吸気室と第
２の吸気室との境界面には第１の格子を配設する
と共に第２の吸気室と環境制御室との境界面には
第１の格子の格子面と対応する格子面を有する第
２の格子を配設し、環境制御室と排気室との境界
面には排気格子を配設し、第２の格子の格子面に
は第１の吸気室並びに第２の吸気室に連通可能な
吸気取入口、送風機、除塵フイルタから成る送気
ユニツト又は蓋板が着脱自在に設けられ、第１の
格子の格子面には送気ユニツトの吸気取入口が位
置するか若しくは着脱自在な蓋板が設けられ、排
気格子の格子面には環境制御室のエアを排気室に
吸込む吸込板又は蓋板が着脱自在に設けられ、第
１の吸気室には第１のダクトを介して外部空調エ
アが第１の吸気室に送られると共に第２の吸気室
には第２のダクトを介して排気室のエアが送ら
れ、環境制御室には送気ユニツトに対応して環境
条件を検知する検出器が設けられ、検出器からの
信号は制御装置に入力されると共に制御装置は要
求される環境条件に設定されるように第１の吸気
室と第２の吸気室からの吸気比率を制御して、環
境制御室内で局所的に環境条件を変えることを特
徴とする組替式局所環境制御室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58027700A JPS59157432A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 組替式局所環境制御室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58027700A JPS59157432A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 組替式局所環境制御室 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59157432A JPS59157432A (ja) | 1984-09-06 |
| JPH0311379B2 true JPH0311379B2 (ja) | 1991-02-15 |
Family
ID=12228252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58027700A Granted JPS59157432A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 組替式局所環境制御室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59157432A (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60196535A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-05 | Nec Corp | 天井移動型局所空気高清浄装置 |
| JPS6172947A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-15 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリ−ンル−ムの形成法およびこの方法に使用する空気調和設備ユニツト |
| JPS6176837A (ja) * | 1984-09-22 | 1986-04-19 | Shinko Kogyo Kk | 清浄作業室 |
| JPS61104102U (ja) * | 1984-12-13 | 1986-07-02 | ||
| JPS61145240U (ja) * | 1985-02-27 | 1986-09-08 | ||
| JPS6399140U (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-27 | ||
| JPS6425643U (ja) * | 1987-08-05 | 1989-02-13 | ||
| JPH0220030U (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-09 | ||
| EP0497296B1 (de) * | 1991-02-01 | 1996-04-03 | Meissner & Wurst GmbH & Co. Lufttechnische Anlagen Gebäude- und Verfahrenstechnik | Filter-Ventilator-Einrichtung zur Verwendung bei Reinräumen |
| CN102418964A (zh) * | 2010-09-27 | 2012-04-18 | 上海风神环境设备工程有限公司 | 无风道活动顶棚送风空调装置 |
| WO2013127979A1 (de) * | 2012-03-02 | 2013-09-06 | Abn N.V. | Anlage zur belüftung von reinräumen |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5415654Y2 (ja) * | 1974-08-29 | 1979-06-22 | ||
| JPS56168050A (en) * | 1980-05-28 | 1981-12-24 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | Gas circulator |
-
1983
- 1983-02-23 JP JP58027700A patent/JPS59157432A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59157432A (ja) | 1984-09-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0136009B2 (ja) | ||
| US4699640A (en) | Clean room having partially different degree of cleanliness | |
| US4838150A (en) | Clean room | |
| CN1010426B (zh) | 净化间 | |
| JPH03502130A (ja) | 個人用環境モジュール | |
| JPS6314257B2 (ja) | ||
| JPH0543938B2 (ja) | ||
| JPS59157432A (ja) | 組替式局所環境制御室 | |
| JPH064125B2 (ja) | クリ−ンベンチ | |
| JP2021179262A (ja) | 給気制御装置及び空調システム | |
| JPS5944538A (ja) | クリ−ンル−ム用クリ−ンユニツトおよびクリ−ンル−ムシステム | |
| JP4486727B2 (ja) | 循環型クリーンルーム | |
| JP3516507B2 (ja) | クリーンルームシステム | |
| CN1008397B (zh) | 多用途适应性强的洁净室系统 | |
| JP2536188B2 (ja) | 空気清浄装置 | |
| JPS6071831A (ja) | 組替式局所環境制御室 | |
| JPS62268941A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JPH0533856Y2 (ja) | ||
| JPH045926Y2 (ja) | ||
| JPH0544663Y2 (ja) | ||
| JP2515245B2 (ja) | フレキシブルクリ―ンル―ム | |
| JPH0515933B2 (ja) | ||
| JP2003083570A (ja) | 高温高湿用空調システム | |
| JPH0467094B2 (ja) | ||
| JPH076676B2 (ja) | 設備グリツドの空気調整用パネル |