JPS6072409A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6072409A JPS6072409A JP18114983A JP18114983A JPS6072409A JP S6072409 A JPS6072409 A JP S6072409A JP 18114983 A JP18114983 A JP 18114983A JP 18114983 A JP18114983 A JP 18114983A JP S6072409 A JPS6072409 A JP S6072409A
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- Japan
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- piezoelectric
- diced
- laser ray
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
＋ａ＋ 発明の技術分野
本発明は圧電振動子の製造方法に係り、特に圧電素板の
切断方法に関する。
切断方法に関する。
（ｂｌ 技術の背景
タンタル酸すチューム（ＬｉＴａ０３） 、ニオブ酸す
チューム（Ｉ、１Ｎｂ０３）等の圧電性単結晶をストリ
ップ化したストリップ形圧電振動子は、振動子を小形化
しスプリアス特性を改善するにば有’ｙＪＪとされ、実
用化を目指して多くのωＦ究がなされている。
チューム（Ｉ、１Ｎｂ０３）等の圧電性単結晶をストリ
ップ化したストリップ形圧電振動子は、振動子を小形化
しスプリアス特性を改善するにば有’ｙＪＪとされ、実
用化を目指して多くのωＦ究がなされている。
ストリップ形圧電振動子は圧電素板と圧電素板の表′裏
面に被着形成された電極、および該電極に夕１部から交
流電界を印加するために圧電素板の１（小方向の両端に
設けられた端子電極によって４＋Ｘｌ成される。そして
該端子電極に交流電界を印加すると、圧電素板は印加電
界と等しい周波数の応力を４１Ｕ７、且つ印加電界の周
波数が圧電素板の固有振動数に合致すると共振し強勢な
振動が得られる。
面に被着形成された電極、および該電極に夕１部から交
流電界を印加するために圧電素板の１（小方向の両端に
設けられた端子電極によって４＋Ｘｌ成される。そして
該端子電極に交流電界を印加すると、圧電素板は印加電
界と等しい周波数の応力を４１Ｕ７、且つ印加電界の周
波数が圧電素板の固有振動数に合致すると共振し強勢な
振動が得られる。
しかし圧電素板の共振は圧電素板の表裏面間においての
み生じるのではなく、側面が鏡面加工されていると、側
面の間でも共振が生じスプリアス特性を悪化させる。し
たがって圧電振動子の製造において、圧電素板の表裏面
は鏡面加工をする必要があるが、その他の面ば粗面加工
の力が良い’ｌ・、１性が得られる等、高品質、高積度
の圧電振動子を得るためには、圧電素板表面の加工’ｌ
’ｌ’Ｊ度にまで１−分な配慮が要求される。
み生じるのではなく、側面が鏡面加工されていると、側
面の間でも共振が生じスプリアス特性を悪化させる。し
たがって圧電振動子の製造において、圧電素板の表裏面
は鏡面加工をする必要があるが、その他の面ば粗面加工
の力が良い’ｌ・、１性が得られる等、高品質、高積度
の圧電振動子を得るためには、圧電素板表面の加工’ｌ
’ｌ’Ｊ度にまで１−分な配慮が要求される。
（Ｃ１従来技術と問題点
第１図は圧電振動子の製造においてタンクル酸リチュー
ム（ＬｉＴａ０３） 、ニオブ酸すチューム（ＬｉＮｂ
０３）等の圧電単結晶のウェハーを切Ｉｖｉ・分制して
圧電素板を得る従来技術の一例である。図に示すごとく
図示してない軸によって高速回転するダイシングソー１
によりウェハー２ （厚さ６０〜８０μｍ）の切断・分
割を行っている。しかしグイシングツ−により１００％
切断すると圧電素板の側面−が鏡面状になり、前述の如
く側面の間でも共振が生じスプリアス特性を悪化させる
ので、非能率的ではあるがグイシングツ−による切断は
表面に傷を付りる程度に止め、後はこの傷に沿ってウェ
ハーを割り一つ一つの圧電素板に分割している。
ム（ＬｉＴａ０３） 、ニオブ酸すチューム（ＬｉＮｂ
０３）等の圧電単結晶のウェハーを切Ｉｖｉ・分制して
圧電素板を得る従来技術の一例である。図に示すごとく
図示してない軸によって高速回転するダイシングソー１
によりウェハー２ （厚さ６０〜８０μｍ）の切断・分
割を行っている。しかしグイシングツ−により１００％
切断すると圧電素板の側面−が鏡面状になり、前述の如
く側面の間でも共振が生じスプリアス特性を悪化させる
ので、非能率的ではあるがグイシングツ−による切断は
表面に傷を付りる程度に止め、後はこの傷に沿ってウェ
ハーを割り一つ一つの圧電素板に分割している。
第２図は従来技術で切断・分割された圧電素板の形状で
第２図（ａ）はグイシングツ−により１００％切断した
もの、第２図（ｂ）ば表面に傷を付けこの傷に沿ってウ
ェハーを割り一つ一つの圧電素板に分割したものを示す
。
第２図（ａ）はグイシングツ−により１００％切断した
もの、第２図（ｂ）ば表面に傷を付けこの傷に沿ってウ
ェハーを割り一つ一つの圧電素板に分割したものを示す
。
ｆｃＩ） 発明の目的
本発明の目的は端面の影響によるスプリアス発生を抑止
できる粗い切断面とな炉、且つ高速で切断・分割を行う
ことのできる圧電素板の切断方法を提供することにある
。
できる粗い切断面とな炉、且つ高速で切断・分割を行う
ことのできる圧電素板の切断方法を提供することにある
。
（１３） 発明の構成
そしてこの目的はレーザ光線を圧電性Ｑ’Ｈ結晶よりな
るウェハーの面に照射しながら、該ウエハ−の全面にわ
たって走査せしめてウェハーのり月υｉ・分割を行い、
圧電素板を得ることで達成し−Ｃいる。
るウェハーの面に照射しながら、該ウエハ−の全面にわ
たって走査せしめてウェハーのり月υｉ・分割を行い、
圧電素板を得ることで達成し−Ｃいる。
（ｆｌ 発明の実施例
以下添付図により本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明になる圧電素板の製造方法である。
図に示す如く圧電性単結晶よりなるウェハー２の表面に
レーザ光線３を照射しながら、該ウェハー２の前後方向
、および左右方向に走査せしめてウェハーの切断・分割
を行っている。前後方向、才ｉよび左右方向の走査線で
切断・分割された個片４がそれぞれ圧電素板となる。
レーザ光線３を照射しながら、該ウェハー２の前後方向
、および左右方向に走査せしめてウェハーの切断・分割
を行っている。前後方向、才ｉよび左右方向の走査線で
切断・分割された個片４がそれぞれ圧電素板となる。
本発明になる製造方法で得られた＋１１ｉＩ片４は第４
図に示す如く、ダイシングソーにより１００％切Ｉυｉ
した個片（第２図参照）に比べて表面が適当に１゛１１
く、スプリアス発生を抑止することができる。またレー
ザ光線３の照射によって１００％切断できるので、ウェ
ハーを割り一つ一つの圧電素板に分割する作業が不要に
なる。
図に示す如く、ダイシングソーにより１００％切Ｉυｉ
した個片（第２図参照）に比べて表面が適当に１゛１１
く、スプリアス発生を抑止することができる。またレー
ザ光線３の照射によって１００％切断できるので、ウェ
ハーを割り一つ一つの圧電素板に分割する作業が不要に
なる。
（ｇ） 発明の効果
以上述べたように本発明によれば、端面の影響によるス
プリアス発生を抑止できる粗い切断面となり、且つ高速
で切断・分割できる圧電素板の切断方法を提供すること
ができる。
プリアス発生を抑止できる粗い切断面となり、且つ高速
で切断・分割できる圧電素板の切断方法を提供すること
ができる。
第１図は従来技術の一例、第２図は従来技術で切断され
た圧電素板の形状で第２図（ａ）はダイシングソーによ
り１００％切断したもの、第２図（ｂｌは表面に傷をイ
」番）この傷に沿ってウェハーを割り圧電素板に分割し
たもの、第３図は本発明になる圧電素板の製造方法、第
４図は本発明になる製造方法で得られた個片を示す。 図においてｌはダイシングソー、２ばウェハー、３はレ
ーザ光線、４は切断された個片を示す。 第 １ 図 第３ 図 第２図 第４図
た圧電素板の形状で第２図（ａ）はダイシングソーによ
り１００％切断したもの、第２図（ｂｌは表面に傷をイ
」番）この傷に沿ってウェハーを割り圧電素板に分割し
たもの、第３図は本発明になる圧電素板の製造方法、第
４図は本発明になる製造方法で得られた個片を示す。 図においてｌはダイシングソー、２ばウェハー、３はレ
ーザ光線、４は切断された個片を示す。 第 １ 図 第３ 図 第２図 第４図
Claims (1)
- 圧電振動子の製造において、レーザ光線を圧電性単結晶
よりなるウェハーの面に照射しながら、該ウェハーの全
面にわたって走査せしめてウェハーの切断・分割を行い
、圧電素板をｆＷることを特徴とする圧電振動子の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18114983A JPS6072409A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18114983A JPS6072409A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6072409A true JPS6072409A (ja) | 1985-04-24 |
Family
ID=16095737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18114983A Pending JPS6072409A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6072409A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170314A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-09-03 | ルネ レフエ−ヴル | レ−ザ加工を用いて小型圧電装置を製造する方法及びこの方法によつて作られた装置 |
| WO2008040625A1 (de) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von keramikstapeln mit vieleckigem querschnitt |
| US7827659B2 (en) * | 1996-01-26 | 2010-11-09 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink jet recording head having piezoelectric element |
| US20110050047A1 (en) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Masashi Numata | Glass assembly cutting method, package manufacturing method, package, piezoelectric vibrator, oscillator, electronic device, and radio-controlled timepiece |
| US9960751B2 (en) | 2015-10-20 | 2018-05-01 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator, electronic apparatus, and vehicle |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP18114983A patent/JPS6072409A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170314A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-09-03 | ルネ レフエ−ヴル | レ−ザ加工を用いて小型圧電装置を製造する方法及びこの方法によつて作られた装置 |
| US7827659B2 (en) * | 1996-01-26 | 2010-11-09 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink jet recording head having piezoelectric element |
| USRE45057E1 (en) * | 1996-01-26 | 2014-08-05 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink jet recording head having piezoelectric element |
| WO2008040625A1 (de) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von keramikstapeln mit vieleckigem querschnitt |
| US20110050047A1 (en) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Masashi Numata | Glass assembly cutting method, package manufacturing method, package, piezoelectric vibrator, oscillator, electronic device, and radio-controlled timepiece |
| US8615857B2 (en) * | 2009-08-28 | 2013-12-31 | Seiko Instruments Inc. | Method of manufacturing piezoelectric vibrators |
| US9960751B2 (en) | 2015-10-20 | 2018-05-01 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator, electronic apparatus, and vehicle |
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