JPS6073326A - センサのキヤリブレ−シヨン方法 - Google Patents
センサのキヤリブレ−シヨン方法Info
- Publication number
- JPS6073326A JPS6073326A JP58181917A JP18191783A JPS6073326A JP S6073326 A JPS6073326 A JP S6073326A JP 58181917 A JP58181917 A JP 58181917A JP 18191783 A JP18191783 A JP 18191783A JP S6073326 A JPS6073326 A JP S6073326A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection
- external force
- amplification factor
- gauge
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L25/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring force, torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（＋＞ 発明の技術分野
本発明は、ヒン１すのキャリフレージョン方法に係り、
特に、弾性変形可能な基板の異なった部位に複数個の検
出ゲージを装着し、各検出ゲージからの出力により複数
次元のカベクｈルの成分を検出するようにしたセンサに
対して、有効な４ニヤリプレージヨン方法の改良に関づ
る。
特に、弾性変形可能な基板の異なった部位に複数個の検
出ゲージを装着し、各検出ゲージからの出力により複数
次元のカベクｈルの成分を検出するようにしたセンサに
対して、有効な４ニヤリプレージヨン方法の改良に関づ
る。
（２） 技術の費用
近年、各種製品の組立ての自動化を図るために製品の組
立てライン上に工業用ロボツｉ〜が導入されてきている
。例えば、ｖ５１図に承りように、引ずり８１Ｓ４Δ１
を７ｆｉ絹ｆす８ｔＳ月２の孔部３に挿入する嵌合作業
を多軸用ロボッ１〜Ｒに行なわせる場合を例に挙げ−ｒ
１２明ψるど、上記ロボッｌ−Ｒは、ファーム４先端に
上記組イ４部拐１を把持するハンド５を右し−Ｕ ＋３
す、該ハンド５で上記組付部材１を把持した後、所定の
ディーチング動作によって波相（ｊ１部材２の孔部３に
上記組（＝Ｊ４部材１１■込むＪ、うになっている。こ
の場合においＣ，ｉ−記ｉｔ−ム４にハンド５を剛体的
に固定Ｊるど、上記相イζＪ部４Ａ１と被絹イ」部ｔＪ
２の孔部３との相対位置を正確にしない限り、両省の
嵌合作業が困１１１１なってしまうことから、ロボッＩ
−Ｒのフイーナング精庶を大幅に向上さＩｉな１〕れば
ならないという問題を生じでしまう。
立てライン上に工業用ロボツｉ〜が導入されてきている
。例えば、ｖ５１図に承りように、引ずり８１Ｓ４Δ１
を７ｆｉ絹ｆす８ｔＳ月２の孔部３に挿入する嵌合作業
を多軸用ロボッ１〜Ｒに行なわせる場合を例に挙げ−ｒ
１２明ψるど、上記ロボッｌ−Ｒは、ファーム４先端に
上記組イ４部拐１を把持するハンド５を右し−Ｕ ＋３
す、該ハンド５で上記組付部材１を把持した後、所定の
ディーチング動作によって波相（ｊ１部材２の孔部３に
上記組（＝Ｊ４部材１１■込むＪ、うになっている。こ
の場合においＣ，ｉ−記ｉｔ−ム４にハンド５を剛体的
に固定Ｊるど、上記相イζＪ部４Ａ１と被絹イ」部ｔＪ
２の孔部３との相対位置を正確にしない限り、両省の
嵌合作業が困１１１１なってしまうことから、ロボッＩ
−Ｒのフイーナング精庶を大幅に向上さＩｉな１〕れば
ならないという問題を生じでしまう。
ソコ（、このＪ、うな問題を解決づるために、）′−ム
４とハンド５との間に機械的なコンプライアンス１ｉｆ
ｔ横Ｃ’ｔ！： ｎＱけ、）７−ム４に対してハン１〜
５を弾性的に変位可能とづるようにしたものがＪｉｊ
４ハされている１、このコンブライノ７ンス機招Ｃｔま
、例えば第２図に示づように、アーム４に連結される連
結板１０と、この３！Ｉ！結板１０に一体的に形成され
、互いに直交するＸ方向及びＹ方向に変位可能な二組の
垂直基板と１ノでの平行板バネ１１．１２と、この平行
板バネＩｉ、 ＋２のハンド５側面に一体的に形成され
た水平基板としての十字バネ１３とからなり、前記十字
バネ１３の中央に立設した連結棒１４を介してハンド５
に連結固定されるようになっている。このため、上記ハ
ンド５はアーム４に対してＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、Ｘ
軸周り及びＹ軸周りに相ヌ・ｊ変位可能になるのである
。
４とハンド５との間に機械的なコンプライアンス１ｉｆ
ｔ横Ｃ’ｔ！： ｎＱけ、）７−ム４に対してハン１〜
５を弾性的に変位可能とづるようにしたものがＪｉｊ
４ハされている１、このコンブライノ７ンス機招Ｃｔま
、例えば第２図に示づように、アーム４に連結される連
結板１０と、この３！Ｉ！結板１０に一体的に形成され
、互いに直交するＸ方向及びＹ方向に変位可能な二組の
垂直基板と１ノでの平行板バネ１１．１２と、この平行
板バネＩｉ、 ＋２のハンド５側面に一体的に形成され
た水平基板としての十字バネ１３とからなり、前記十字
バネ１３の中央に立設した連結棒１４を介してハンド５
に連結固定されるようになっている。このため、上記ハ
ンド５はアーム４に対してＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、Ｘ
軸周り及びＹ軸周りに相ヌ・ｊ変位可能になるのである
。
」二連したようなコンプライアンス機構Ｃは弾性的に変
位することから、所定の部位の変位を検出りることによ
りＣンリ−とし−Ｃも利用されている。即ら、上記ヒレ
４ノＳは、例えば第２図に示１ζうに、上記十字バネ１
３の各月及び平行板バネ１１．１２にそれぞれス１ヘセ
ンゲージ等の検出ゲージＳａ、Ｓｂ、Ｓｃ、Ｓｄ、Ｓｅ
、ＳＦを装着したもので、谷検出ゲージＳａ乃至Ｓ［の
出力により十字バネ１３の中火部に＋３（プるカベク１
〜ルの各成分を検出でさるようになっている。
位することから、所定の部位の変位を検出りることによ
りＣンリ−とし−Ｃも利用されている。即ら、上記ヒレ
４ノＳは、例えば第２図に示１ζうに、上記十字バネ１
３の各月及び平行板バネ１１．１２にそれぞれス１ヘセ
ンゲージ等の検出ゲージＳａ、Ｓｂ、Ｓｃ、Ｓｄ、Ｓｅ
、ＳＦを装着したもので、谷検出ゲージＳａ乃至Ｓ［の
出力により十字バネ１３の中火部に＋３（プるカベク１
〜ルの各成分を検出でさるようになっている。
史に具体的に説明づるど、第２図に示すように検出ゲー
ジＳａ乃至Ｓｄに作用Ｊ゛るモーメントヲ各々Ｍａ 、
ＭＩ＋ 、 Ｍｃ 、 Ｍｄ トシ、検出ケージＳｅ
、３［に作用４る［−メントをＭｅ。
ジＳａ乃至Ｓｄに作用Ｊ゛るモーメントヲ各々Ｍａ 、
ＭＩ＋ 、 Ｍｃ 、 Ｍｄ トシ、検出ケージＳｅ
、３［に作用４る［−メントをＭｅ。
Ｍ［どりれば近似的に次式が成立する。
Ｍａ＝ａ＋Ｆ／−ＩＩＶＩＶ −−（１）ｆｖｌｂ−８
２１−７−１−ＭＸ ・・・・・・・・・・旧・・ （
２）ＭＣ−＃３３Ｆ７ Ｍｙ ・＋＋＋旧・＋＋＋・・
＋＋ （３）Ｉｖｌｃｌ ＝ａ４Ｆｚ −Ｍｘ ・・・
・・・・旧・・・・・ （４）Ｍｅ −＝ ＋１ ＦＶ
・・・・・・・・・・・・川 （５）Ｍｌ＝ｒｎＦｘ
・・・・・・・・・・旧・・（６）（１，１し、Ｆｘ
、Ｆｙ 、Ｆｚはハンド５先端に加わるＸ、Ｙ、７方向
のカ、Ｍｘ 、 Ｍｙはハンド５先端にかかるＸ、Ｙ方
向のモーメント、ｍ。
２１−７−１−ＭＸ ・・・・・・・・・・旧・・ （
２）ＭＣ−＃３３Ｆ７ Ｍｙ ・＋＋＋旧・＋＋＋・・
＋＋ （３）Ｉｖｌｃｌ ＝ａ４Ｆｚ −Ｍｘ ・・・
・・・・旧・・・・・ （４）Ｍｅ −＝ ＋１ ＦＶ
・・・・・・・・・・・・川 （５）Ｍｌ＝ｒｎＦｘ
・・・・・・・・・・旧・・（６）（１，１し、Ｆｘ
、Ｆｙ 、Ｆｚはハンド５先端に加わるＸ、Ｙ、７方向
のカ、Ｍｘ 、 Ｍｙはハンド５先端にかかるＸ、Ｙ方
向のモーメント、ｍ。
「−１はＸ、Ｙ方向に働く平行板バネの中心と検出ゲー
ジＳｅ、Ｓｆの距印、ａｔ、＋２＋８３゜ａ 、ｌは十
字バネ１３の中心と検出ゲージｓａ乃至Ｓｔｌの距朗（
・ある。またツノ及びｔ−メン１〜の符号は図に示した
矢印方向を正としている。
ジＳｅ、Ｓｆの距印、ａｔ、＋２＋８３゜ａ 、ｌは十
字バネ１３の中心と検出ゲージｓａ乃至Ｓｔｌの距朗（
・ある。またツノ及びｔ−メン１〜の符号は図に示した
矢印方向を正としている。
上式（１）〜（６）によると、ノノベク１〜ルの各成分
は以下のようになる。
は以下のようになる。
Ｆｘ ＝Ｍｆ ／ｍ ・・・・・・・・・・・・・・・
・・・ （７）ＦＶ ＝Ｍｅ／ｒ＋ ・・・・・・・・
・・・・・・・・・・ （８ンＦｚ ＝ （Ｍａ 十Ｍ
ｔｌ ＋ＭＣｌ−Ｍｄ ）／４ （ａｔ ＋ａ２４−ａ
ａ ＋ａ４ ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・
（０）ＭＸ ＝ （Ｍｂ −Ｍｄ −「ｚ （＋２−
＋４ ））／２ ・・・・・・・・・・・・・・・・・
・ （１０）ｆｖｌＶ ＝ （Ｍａ ＝Ｍｃ−ＦＺ （
ａｔ−＋３） ）／２ ・・・・・・・・・・・・・・
・・・・ （１１）このように上記検出ゲージ３ａ乃至
Ｓ［の出力を用いてハンド５先端にお（〕る各方向のツ
ノ及びモーメンＩ−を仝てＲｉＬｔ するごどが可能と
なり、例えばロボットＲ側或は被組付部材２側にハンド
５の倒れを補正づる機構を設（）、センリＳからの信号
をフィードバラクタることによりハンドの倒れをほぼ零
に保った滑らかなに合動作が可能になるのである。
・・・ （７）ＦＶ ＝Ｍｅ／ｒ＋ ・・・・・・・・
・・・・・・・・・・ （８ンＦｚ ＝ （Ｍａ 十Ｍ
ｔｌ ＋ＭＣｌ−Ｍｄ ）／４ （ａｔ ＋ａ２４−ａ
ａ ＋ａ４ ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・
（０）ＭＸ ＝ （Ｍｂ −Ｍｄ −「ｚ （＋２−
＋４ ））／２ ・・・・・・・・・・・・・・・・・
・ （１０）ｆｖｌＶ ＝ （Ｍａ ＝Ｍｃ−ＦＺ （
ａｔ−＋３） ）／２ ・・・・・・・・・・・・・・
・・・・ （１１）このように上記検出ゲージ３ａ乃至
Ｓ［の出力を用いてハンド５先端にお（〕る各方向のツ
ノ及びモーメンＩ−を仝てＲｉＬｔ するごどが可能と
なり、例えばロボットＲ側或は被組付部材２側にハンド
５の倒れを補正づる機構を設（）、センリＳからの信号
をフィードバラクタることによりハンドの倒れをほぼ零
に保った滑らかなに合動作が可能になるのである。
ところで上式（７）乃至（１１）までの変換式は例えば
第３図に示り−ように、複数のオペアンプ、人力抵抗Ｒ
１’乃至Ｒ６′、帰環抵抗Ｒ１乃↑Ｒ１２及びイの他の
抵抗素子を用いて容易に電気回路化されている。この電
気回路においては、検出ゲージＳ８乃至 Ｓ「の装着位置が不正確であること及び検出ゲージＳａ
）す’ｌＳｆのゲージ率にバラツキがあること等の問題
から、上記入力抵抗Ｒ１’乃至１＜６′及び帰環１１（
抗Ｒｉ乃至Ｒ１２の値を調整し、力へ９１−ルの各力成
分に対して各々の検出１ゲージＳ、Ｉ乃＝、ｔ、 Ｓ（
の増幅率を調整りるといういわゆるセンサのキャリブレ
ーションが必要になっ（くる。
第３図に示り−ように、複数のオペアンプ、人力抵抗Ｒ
１’乃至Ｒ６′、帰環抵抗Ｒ１乃↑Ｒ１２及びイの他の
抵抗素子を用いて容易に電気回路化されている。この電
気回路においては、検出ゲージＳ８乃至 Ｓ「の装着位置が不正確であること及び検出ゲージＳａ
）す’ｌＳｆのゲージ率にバラツキがあること等の問題
から、上記入力抵抗Ｒ１’乃至１＜６′及び帰環１１（
抗Ｒｉ乃至Ｒ１２の値を調整し、力へ９１−ルの各力成
分に対して各々の検出１ゲージＳ、Ｉ乃＝、ｔ、 Ｓ（
の増幅率を調整りるといういわゆるセンサのキャリブレ
ーションが必要になっ（くる。
（１） 従来技術ど−との問題点
ｆ（、来この４重のセンサの：１１２リプレージョン方
法どしＵ ｌ；Ｌ、［記センリに既知の外力を作用さＥ
！、この１１４の各検出ゲージの出力１的を測定し、−
１記既知の外）ｊのγ−タ及び検出ゲージの出力１白の
データを用いて上式（７）ノう至（１１）までの変１ｇ
！式から各検出ゲージの増幅率を４紳づるというもので
あった。
法どしＵ ｌ；Ｌ、［記センリに既知の外力を作用さＥ
！、この１１４の各検出ゲージの出力１的を測定し、−
１記既知の外）ｊのγ−タ及び検出ゲージの出力１白の
データを用いて上式（７）ノう至（１１）までの変１ｇ
！式から各検出ゲージの増幅率を４紳づるというもので
あった。
しかしながら、このような従来のセンサのキルリプレー
ジョン方法にあっては、例えばＸ軸及びＹ軸方向の力Ｆ
Ｘ、Ｆ’Ｖは１式（７）及び（８）で示されるように、
１つの検出ゲージの出力にＪ：つて検出されるものであ
るため、比較的容易にキレリプレージョンを行なうこと
が可能であるが、例えばＺ軸方向の力をみてみると、上
式（９）で示されるように１′つの検出ゲージの出力値
の和として与えられる。このため、次式（１２）の連立
方稈式を解さ、各々の検出ゲージに３・１する増幅率を
決めな（Ｊればならない。
ジョン方法にあっては、例えばＸ軸及びＹ軸方向の力Ｆ
Ｘ、Ｆ’Ｖは１式（７）及び（８）で示されるように、
１つの検出ゲージの出力にＪ：つて検出されるものであ
るため、比較的容易にキレリプレージョンを行なうこと
が可能であるが、例えばＺ軸方向の力をみてみると、上
式（９）で示されるように１′つの検出ゲージの出力値
の和として与えられる。このため、次式（１２）の連立
方稈式を解さ、各々の検出ゲージに３・１する増幅率を
決めな（Ｊればならない。
このＩＲ、Ｍ ａ ｉ乃至Ｍｄ１ｌまでの１６個のデー
タを四々的に８１測し、上式（１２）を解がな番ノれば
４ｊらないので、ｊ′−夕の測定に時間を要し、その分
キ１７リプレーシヨンが面倒なものになっていた９、ま
た、上記バ１静にＪ、り各々の検出ゲージの増幅率を設
定したとしてら、抵抗値のバラツキや検出ゲージの検出
誤差等が複雑に絡み合い、その分、ｉＥ ｌｌ（ｔ：な
１：１７リプレーシヨンが困ｆｆ１ｌ［になっ（しまう
。
タを四々的に８１測し、上式（１２）を解がな番ノれば
４ｊらないので、ｊ′−夕の測定に時間を要し、その分
キ１７リプレーシヨンが面倒なものになっていた９、ま
た、上記バ１静にＪ、り各々の検出ゲージの増幅率を設
定したとしてら、抵抗値のバラツキや検出ゲージの検出
誤差等が複雑に絡み合い、その分、ｉＥ ｌｌ（ｔ：な
１：１７リプレーシヨンが困ｆｆ１ｌ［になっ（しまう
。
（４） 発明の１」的
本発明はｊメ十の観点に立つ（なδれたものであって、
その目的とづるところは、簡単でしかｂ ４ｉｉめ（１
０１丁「な１！ンリのＩ： ｔ＋ ＩＪブ゛レーション
方ン人をｌ１ｉｉ （共りることにある。
その目的とづるところは、簡単でしかｂ ４ｉｉめ（１
０１丁「な１！ンリのＩ： ｔ＋ ＩＪブ゛レーション
方ン人をｌ１ｉｉ （共りることにある。
（５）発明の４ｔ１成
そしく、本発明のＬｌ木的構成は、センサの基板上にｆ
ｌｊｉ々の検出ゲージに各々最大モーメントを加える外
力作用位置を予め設定し、各外カ作用位１ｕに既知の一
定外力を順次作用せしめると」（に、それぞれの場合に
おいＣ最大ヒーメン１−が加わる検出ゲージの増幅率の
みを調整しＣ、センサ出力値を上記外力に相当するもの
に合致させるＪ：うにし、各検出ゲージの増幅率が所定
値に集束覆るまで上記操作を繰返すＪ：うにし１〔セン
サのキＩ７リプレーシー１ン方法にある。
ｌｊｉ々の検出ゲージに各々最大モーメントを加える外
力作用位置を予め設定し、各外カ作用位１ｕに既知の一
定外力を順次作用せしめると」（に、それぞれの場合に
おいＣ最大ヒーメン１−が加わる検出ゲージの増幅率の
みを調整しＣ、センサ出力値を上記外力に相当するもの
に合致させるＪ：うにし、各検出ゲージの増幅率が所定
値に集束覆るまで上記操作を繰返すＪ：うにし１〔セン
サのキＩ７リプレーシー１ン方法にある。
（６） 発明の実施例
以下、添付図面に承り実施例に塁づいＣ本発明の詳細な
説明する。
説明する。
この実施例にかかるセンサは、第４図に示りように、第
２図とほぼ同様な基本構造を有しているが、第２図に示
Ｊものど異なり、平行板バネ１１．１２のハンド側面は
支持板２０で塞がれており、該支持板の中央部に支持４
ｑ＝２１を介して十字バネ１３の中火部が支持されＣ１
１３す、この十字バネの周囲にはλ口形状の外枠２２が
一体的に形成されている。そしく、上記外枠２２には、
個々の検出ゲージＳａ乃至Ｓｄに名々ル人Ｐ−メン１〜
を加える鍾設＠位侃Ｐ１乃至１〕４が予め設定されてい
る。尚、検出ゲージ３ａ乃〒Ｓｆの出力１ｉｌ′、ｆは
従来と同様に第２図に示すような電気回路に入力され（
いる、。
２図とほぼ同様な基本構造を有しているが、第２図に示
Ｊものど異なり、平行板バネ１１．１２のハンド側面は
支持板２０で塞がれており、該支持板の中央部に支持４
ｑ＝２１を介して十字バネ１３の中火部が支持されＣ１
１３す、この十字バネの周囲にはλ口形状の外枠２２が
一体的に形成されている。そしく、上記外枠２２には、
個々の検出ゲージＳａ乃至Ｓｄに名々ル人Ｐ−メン１〜
を加える鍾設＠位侃Ｐ１乃至１〕４が予め設定されてい
る。尚、検出ゲージ３ａ乃〒Ｓｆの出力１ｉｌ′、ｆは
従来と同様に第２図に示すような電気回路に入力され（
いる、。
従つＣ１この実施例においＣ１例えばＺ軸方向の力Ｆｚ
のキ１７リプレーシヨンを行なう場合には、第５５図に
示す′フローブ１７−１〜に従っ−Ｃ行なうように１れ
ば、Ｊ：い。即ら、まづ”ロンザを図示のような所定の
姿勢に設置する１、そして、第２図に示１人力抵抗Ｒ１
’）り至Ｒ／ｌ’ を調ｆｌｉ＋ シ（、検出ゲージ３
ａ乃至Ｓ（１の出力１＋ｉ′ＪＭａ７り至ＭｄのＡ〕（
ピッｌ−ｉｉｉを調節しておく。この段階（”Ｍａ７１
Ｊ芋Ｍ〔１の初期（１「（が設定されることになる。こ
の後、既知重量の錘Ｗ＠鍾設置位置Ｐ１に：Ｑ ｆｌＴ
ｌ−！Ｊる。このり、？ 、最大モーメン１−が作用し
くいる検出ゲージ３ａの増幅率を調整し−（具体的には
第２図の帰環抵抗Ｒ３を調整し）センり出カド／のｌｉ
ｌ’ｉをＬ記鍾ＷＬＪ）東予に等しくなるようにりる。
のキ１７リプレーシヨンを行なう場合には、第５５図に
示す′フローブ１７−１〜に従っ−Ｃ行なうように１れ
ば、Ｊ：い。即ら、まづ”ロンザを図示のような所定の
姿勢に設置する１、そして、第２図に示１人力抵抗Ｒ１
’）り至Ｒ／ｌ’ を調ｆｌｉ＋ シ（、検出ゲージ３
ａ乃至Ｓ（１の出力１＋ｉ′ＪＭａ７り至ＭｄのＡ〕（
ピッｌ−ｉｉｉを調節しておく。この段階（”Ｍａ７１
Ｊ芋Ｍ〔１の初期（１「（が設定されることになる。こ
の後、既知重量の錘Ｗ＠鍾設置位置Ｐ１に：Ｑ ｆｌＴ
ｌ−！Ｊる。このり、？ 、最大モーメン１−が作用し
くいる検出ゲージ３ａの増幅率を調整し−（具体的には
第２図の帰環抵抗Ｒ３を調整し）センり出カド／のｌｉ
ｌ’ｉをＬ記鍾ＷＬＪ）東予に等しくなるようにりる。
次に１．１記１１ｉ１ｉ Ｗを紳設買位１べＰｌから１
〕２へ移し−（設「σづる。この時、第２図にｄＢ）る
％ｌ 環抵抗Ｒ／ｌをＣＩ４ ｌ”Ｓ Ｊることにより
１、晶大七−メン１〜が作用づる検出ゲージｓｂの増幅
率を調整し、ＩＩ＋Ｉ Ｌ； ＜センリ出力Ｆｚが錘Ｗ
の重量に等しくなるＪ：うにする１、更に、上記紳Ｗを
鍾設置位置Ｐ３へ移し、この場合にも上述したのと同様
に、帰環抵抗１（５を調整リ−ることににす、最大モー
メン１〜が作用覆る検出ゲージＳＣの増幅率を調整し、
けンリ出力Ｆｚの値を鍾Ｗの重量に等しくなるようにす
る。史に鍾Ｗを鍾設買位置Ｐ４に移しＣ上述したのと同
様に、帰環抵抗Ｒ６を調整しＣ検出ゲージ３ｄの増幅率
を調整りるという操作を行なう、、このような操作を上
記鍾段置位置Ｐ１乃至Ｐ４に対して繰）反ｌノ行なつ（
いさ、各鍾設置（ｉ’／ ｊＡ ［〕１乃至１）４に対
しで５回鍾Ｗを設置してぞれぞれの検出ゲージ３ａ乃至
３ （Ｉのｊｌｊｌ字幅率整し、鍾Ｗを外枠２２の任意
の位置に首いた時にセンザ出力Ｆ Ｚが紳Ｗの重量ど等
しくなつ（いればこの段階において「ｌに対づるキｌ＝
、リプレージョンを終了りる。この場合、上記検出ゲー
ジＳａ７！＋〒Ｓｄの増幅率は所定のｌｉＱに集束して
いる。
〕２へ移し−（設「σづる。この時、第２図にｄＢ）る
％ｌ 環抵抗Ｒ／ｌをＣＩ４ ｌ”Ｓ Ｊることにより
１、晶大七−メン１〜が作用づる検出ゲージｓｂの増幅
率を調整し、ＩＩ＋Ｉ Ｌ； ＜センリ出力Ｆｚが錘Ｗ
の重量に等しくなるＪ：うにする１、更に、上記紳Ｗを
鍾設置位置Ｐ３へ移し、この場合にも上述したのと同様
に、帰環抵抗１（５を調整リ−ることににす、最大モー
メン１〜が作用覆る検出ゲージＳＣの増幅率を調整し、
けンリ出力Ｆｚの値を鍾Ｗの重量に等しくなるようにす
る。史に鍾Ｗを鍾設買位置Ｐ４に移しＣ上述したのと同
様に、帰環抵抗Ｒ６を調整しＣ検出ゲージ３ｄの増幅率
を調整りるという操作を行なう、、このような操作を上
記鍾段置位置Ｐ１乃至Ｐ４に対して繰）反ｌノ行なつ（
いさ、各鍾設置（ｉ’／ ｊＡ ［〕１乃至１）４に対
しで５回鍾Ｗを設置してぞれぞれの検出ゲージ３ａ乃至
３ （Ｉのｊｌｊｌ字幅率整し、鍾Ｗを外枠２２の任意
の位置に首いた時にセンザ出力Ｆ Ｚが紳Ｗの重量ど等
しくなつ（いればこの段階において「ｌに対づるキｌ＝
、リプレージョンを終了りる。この場合、上記検出ゲー
ジＳａ７！＋〒Ｓｄの増幅率は所定のｌｉＱに集束して
いる。
このようなキレリブレージ：１ン方法の集束性を確認す
るため以下のようなシミュレーションを行／、ｊっ（み
る。
るため以下のようなシミュレーションを行／、ｊっ（み
る。
例えば、（１，２ｋｇの錘を鍾設置位置Ｐ１にｎいた時
、 Ｍ ｙ・・−７（ｋｇ、／ ｃｍ）、 ａｌ” ７ ＝ １ （ｋｕ／Ｃｎ１）Ｃ４＝’ｔｚ＝
ｔｌｚ＝−４，７＝’Ｊとしく Ｍａ−’＋ ７−＝８、 ｌｖｌ ｂ・−−１，１−０＝ 、−１、へ４（）・・
−１１７＝Ｃｉ。
、 Ｍ ｙ・・−７（ｋｇ、／ ｃｍ）、 ａｌ” ７ ＝ １ （ｋｕ／Ｃｎ１）Ｃ４＝’ｔｚ＝
ｔｌｚ＝−４，７＝’Ｊとしく Ｍａ−’＋ ７−＝８、 ｌｖｌ ｂ・−−１，１−０＝ 、−１、へ４（）・・
−１１７＝Ｃｉ。
ｆｖｌｄ −−１−０＝ −１
が１１１られる。このようにしく各検出ゲージＳ５１乃
！Ｊｉ Ｓ （＋の出力を表１のように決め、第５図に
示すノｌ−：ｌ −Ｊｌ・−１〜に従ってｊ１１幅率Ｑ
１乃至（コ４を調整υるど表２の結束が得られる。表
２によるど、に６己シｌミレーシ、１ンから一１１！リ
フレーションは１２回のイタレーションで集束すること
がブ）る１、また、センリの精度とし−Ｃ±１％程１身
４゛充分と考えれば、５回目で所定の精瓜をＭｒ仙；ぐ
さることがｊＩｌｌ解される。
！Ｊｉ Ｓ （＋の出力を表１のように決め、第５図に
示すノｌ−：ｌ −Ｊｌ・−１〜に従ってｊ１１幅率Ｑ
１乃至（コ４を調整υるど表２の結束が得られる。表
２によるど、に６己シｌミレーシ、１ンから一１１！リ
フレーションは１２回のイタレーションで集束すること
がブ）る１、また、センリの精度とし−Ｃ±１％程１身
４゛充分と考えれば、５回目で所定の精瓜をＭｒ仙；ぐ
さることがｊＩｌｌ解される。
よｌこ、検出ゲージの催られｌこ位置及びゲージファク
タのバラン：１：Ｗから、検出ゲージＳａ乃至Ｓｄの出
力値が各々所定の Ｍａ ： １２０％ Ｍｂ：８２％ Ｍｅ ：’ ９５％ Ｍｄ：８８％ であった場合の増幅率のｗ束過程を表３に承り。
タのバラン：１：Ｗから、検出ゲージＳａ乃至Ｓｄの出
力値が各々所定の Ｍａ ： １２０％ Ｍｂ：８２％ Ｍｅ ：’ ９５％ Ｍｄ：８８％ であった場合の増幅率のｗ束過程を表３に承り。
この場合において、検出ゲージの仮想出力値は表４のよ
うに定めＣいる。表３によると、良好な集束性を示しＣ
いる。尚実験Ｃ゛は１０ｋＭ １０Ｖノルスタールで１
ｇの分解能まで３回の一イタレーションで到達すること
が１１イ「かめられＣいる。
うに定めＣいる。表３によると、良好な集束性を示しＣ
いる。尚実験Ｃ゛は１０ｋＭ １０Ｖノルスタールで１
ｇの分解能まで３回の一イタレーションで到達すること
が１１イ「かめられＣいる。
また、ＸＩｒ１１１１周りのモーメントＭ×のルリプレ
ーシ・１ンについてｂ本発明にかかるものを用いること
かぐきる１、その貝イホ的ｒ順は例えば第６図に示づに
うなフローチｖ −ｌ−に従って行なわれる。この場合
にＩ３い（、Ｊ、−ｆ、既知小回の鍾Ｗを鍾設置位置Ｐ
’ｌに買く。この時、最大モーメントが作用！Ｊや検
出ゲージ３ａの増幅率（具体的にはＺ軸方向の力成分Ｆ
ｚの増幅率）を調Ｆ ｂ ’（、センリ用力Ｍ×がＯに
ｈるにうにりる。具体的には）１２図に示４帰環抵抗Ｒ
９を調ｆ！Ｄ ｕることにより行なう。次に上記鍾Ｗを
鍾設置位置Ｐ２貞に移１．この時には第２図に示１９ｉ
ｉｔ環抵抗［く７を調整して、最大モーメントが作用し
ている検出ゲージｓｂの増幅率を調整し、センリ出力Ｍ
×をＩｍＷにＪ、る作用ヒーメントに等しく＜ｉる、Ｊ
、うにづる１、更に錘Ｗを評設置位置［）３に移り１．
この１１．１には９ｆｉ）環抵抗Ｒ９を調整しく１１１
人し−メン１〜が作用している検出ゲージＳｃの増幅率
〈具体的にはＺ＠力方向力成分［−７の増幅ヰ゛）を調
整し、センリー出力Ｍ×をＯｌに４ＴるＪ、うに調整り
る。更にまた、−ト記紳Ｗを、’ｊｒｌｉ設置６位首［
）４へ移し、この場合には、ｌｌ＋７！環抵抗［く８を
調整しＣ最大し−メン１〜がイ′（用りる検出ゲージ３
ｄの増幅率を調整し、レノ１〕出ノＪへ１１Ｘを錘Ｗに
よるイ′１川［−メントに等しくなる、Ｊ、うにりる。
ーシ・１ンについてｂ本発明にかかるものを用いること
かぐきる１、その貝イホ的ｒ順は例えば第６図に示づに
うなフローチｖ −ｌ−に従って行なわれる。この場合
にＩ３い（、Ｊ、−ｆ、既知小回の鍾Ｗを鍾設置位置Ｐ
’ｌに買く。この時、最大モーメントが作用！Ｊや検
出ゲージ３ａの増幅率（具体的にはＺ軸方向の力成分Ｆ
ｚの増幅率）を調Ｆ ｂ ’（、センリ用力Ｍ×がＯに
ｈるにうにりる。具体的には）１２図に示４帰環抵抗Ｒ
９を調ｆ！Ｄ ｕることにより行なう。次に上記鍾Ｗを
鍾設置位置Ｐ２貞に移１．この時には第２図に示１９ｉ
ｉｔ環抵抗［く７を調整して、最大モーメントが作用し
ている検出ゲージｓｂの増幅率を調整し、センリ出力Ｍ
×をＩｍＷにＪ、る作用ヒーメントに等しく＜ｉる、Ｊ
、うにづる１、更に錘Ｗを評設置位置［）３に移り１．
この１１．１には９ｆｉ）環抵抗Ｒ９を調整しく１１１
人し−メン１〜が作用している検出ゲージＳｃの増幅率
〈具体的にはＺ＠力方向力成分［−７の増幅ヰ゛）を調
整し、センリー出力Ｍ×をＯｌに４ＴるＪ、うに調整り
る。更にまた、−ト記紳Ｗを、’ｊｒｌｉ設置６位首［
）４へ移し、この場合には、ｌｌ＋７！環抵抗［く８を
調整しＣ最大し−メン１〜がイ′（用りる検出ゲージ３
ｄの増幅率を調整し、レノ１〕出ノＪへ１１Ｘを錘Ｗに
よるイ′１川［−メントに等しくなる、Ｊ、うにりる。
このような操作を５回繰返し、更に！！ＩｉＷを外枠２
２の任意の位；釦に厘いた時にセンリ出力１ｖｌｘが作
用七−メン１−に等しい所定値になつでいれば、この段
階にａ３いＣ七−メントＭｘのキャリブレーションが完
了する。この場合において、上記検出ゲージ増幅率は所
定のものに集束している。
２の任意の位；釦に厘いた時にセンリ出力１ｖｌｘが作
用七−メン１−に等しい所定値になつでいれば、この段
階にａ３いＣ七−メントＭｘのキャリブレーションが完
了する。この場合において、上記検出ゲージ増幅率は所
定のものに集束している。
上記キ１１リプレージョンの集束性を示りためのシミュ
レーション結果を表５に示す。表５によると、４回のイ
タシーシミ１ンＣ検出ゲージの各増幅！？！Ｑ５．ｏ６
．ｇ７が隼東することが示されている１、この場合ＩＪ
おい（、検出ゲージ３ａ乃至Ｓｄの仮想出力１面【五人
６のように定められでいる。
レーション結果を表５に示す。表５によると、４回のイ
タシーシミ１ンＣ検出ゲージの各増幅！？！Ｑ５．ｏ６
．ｇ７が隼東することが示されている１、この場合ＩＪ
おい（、検出ゲージ３ａ乃至Ｓｄの仮想出力１面【五人
６のように定められでいる。
また、Ｙ軸周りの七−メンｌ−Ｍ ｙのキャリブレーシ
ョンについてｔ；Ｌ、−ｈ記第６図（ａ）（ｂ）に示−
ｙ−ｂのとはぼＩ、’ｉｌイ、丘に（１＜ｆわイ′むる
のζ−１（二（二ではイの詳細＜２説明を省略りる。尚
、実験では、５０に！＋−ＣＩｌｌ ／ １０Ｖ （１
） −７）Ｌｔ スケ−／ｌ／ テ５ ｕ−ｃｍノ分解
能まで４回のイタレージＥｌンー（ｖｌＩ達づることが
確められた。
ョンについてｔ；Ｌ、−ｈ記第６図（ａ）（ｂ）に示−
ｙ−ｂのとはぼＩ、’ｉｌイ、丘に（１＜ｆわイ′むる
のζ−１（二（二ではイの詳細＜２説明を省略りる。尚
、実験では、５０に！＋−ＣＩｌｌ ／ １０Ｖ （１
） −７）Ｌｔ スケ−／ｌ／ テ５ ｕ−ｃｍノ分解
能まで４回のイタレージＥｌンー（ｖｌＩ達づることが
確められた。
次に第７図に示ＴＩ第２実茄例につい−Ｃ説明りる。
この実茄例においＣ用いられるセンリＳは第１実施例と
異なり、ト記鍾設防位置Ｐ１乃至１）／ｌに錘Ｗを位置
決めりるための位置決め孔２５ｆ、 Ｉ１１設りるど共
に上配錘Ｗには位置決め突起（Ｗｉ＋）を穿設したｂの
（゛ある。このため、本発明にかかるセン４）のキャリ
ブレーション方法を実施した際にｔｉｌＩＷの位同が各
操作毎に一定に位置決めされることになるので、鍾Ｗの
設置誤Ｘ：がなく４にす、ぞの分各検出ゲージの増幅率
の集＞＋４ ｔ’ｉを速めることが可能になる。
異なり、ト記鍾設防位置Ｐ１乃至１）／ｌに錘Ｗを位置
決めりるための位置決め孔２５ｆ、 Ｉ１１設りるど共
に上配錘Ｗには位置決め突起（Ｗｉ＋）を穿設したｂの
（゛ある。このため、本発明にかかるセン４）のキャリ
ブレーション方法を実施した際にｔｉｌＩＷの位同が各
操作毎に一定に位置決めされることになるので、鍾Ｗの
設置誤Ｘ：がなく４にす、ぞの分各検出ゲージの増幅率
の集＞＋４ ｔ’ｉを速めることが可能になる。
第８図及び第９）図に承り第３実施例に−）いて説明り
る。
る。
この実施例は、１−記名実施例と異なり、谷検出ゲージ
の増幅率を自動的に調整するものであるｎ ”Ｅの只１
本的−例どじ（は、例えば第８図に示されるものがある
。７検出ゲージＳａ乃至３ ｄの出力舶ＭＨＩ乃ＩＭｄ
はアブに１グマルヂプレクリ２６を介して八［）変換器
２７に入力される。このＡ１）変換器２７から出力はン
イク［ｌプロ上ツリ２８に）Ｘられる。ぞしｃマイクロ
ブロピツサ２８はアナログマルヂブ１ツク（＋２６及び
ΔＤ変換器２７をそれぞれ制御しＣいる。この場合の制
御システムは例えば第９図に示リフ１コーＩ＋？−１〜
に従−）て行なわれている。第９図において【よ、まず
けン１ノのｆ＋’Ｊｑが正しいかどうか判１１１ｉされ
た後、各ゲージ出力の初期値が例えばＸ。Ｉ、ＸＯ２，
Ｘ１１３゜Ｘ ０４に設定されマイクロブ［］Ｉ？ッ→
ノ２８内に記憶される。そして谷検出ゲージ３ａ乃至Ｓ
ｄの増幅率の初期値が任意の伯例えば１に設定され、し
かも鍾Ｗの車中Ｃも設定される。この後、センリの錘段
１行位ｆｆｆｉ Ｐ １７り至Ｐ４に順次−１−配錘Ｗ
が乗せられると、谷検出ゲージ３ａ乃至３ｄの増幅率Ａ
１乃至Δ４の泪粋が１ｊなわれる。この場合のＭ’ｌ’
Ｃ７ｊとし４は次式（１３）のものが用いられる。
の増幅率を自動的に調整するものであるｎ ”Ｅの只１
本的−例どじ（は、例えば第８図に示されるものがある
。７検出ゲージＳａ乃至３ ｄの出力舶ＭＨＩ乃ＩＭｄ
はアブに１グマルヂプレクリ２６を介して八［）変換器
２７に入力される。このＡ１）変換器２７から出力はン
イク［ｌプロ上ツリ２８に）Ｘられる。ぞしｃマイクロ
ブロピツサ２８はアナログマルヂブ１ツク（＋２６及び
ΔＤ変換器２７をそれぞれ制御しＣいる。この場合の制
御システムは例えば第９図に示リフ１コーＩ＋？−１〜
に従−）て行なわれている。第９図において【よ、まず
けン１ノのｆ＋’Ｊｑが正しいかどうか判１１１ｉされ
た後、各ゲージ出力の初期値が例えばＸ。Ｉ、ＸＯ２，
Ｘ１１３゜Ｘ ０４に設定されマイクロブ［］Ｉ？ッ→
ノ２８内に記憶される。そして谷検出ゲージ３ａ乃至Ｓ
ｄの増幅率の初期値が任意の伯例えば１に設定され、し
かも鍾Ｗの車中Ｃも設定される。この後、センリの錘段
１行位ｆｆｆｉ Ｐ １７り至Ｐ４に順次−１−配錘Ｗ
が乗せられると、谷検出ゲージ３ａ乃至３ｄの増幅率Ａ
１乃至Δ４の泪粋が１ｊなわれる。この場合のＭ’ｌ’
Ｃ７ｊとし４は次式（１３）のものが用いられる。
Ａ＋ ＝ （Ａ２ Ｘ２−Ｉ Ａ３ Ｘ３−Ａ４ Ｘ４
４ （’：） ／Ｘ＋Ａ２ ＝ （Ａ＋ Ｘ＋ −Ａ３
Ｘ３ ＋Ａ４ Ｘ４−Ｃ） ／Ｘ３ ・・・・・・・
・・（１３）Ａ３−（△＋Ｘｌ−へ２Ｘ２１−Ａ４ Ｘ
４−Ｃ） ／ｘ３△４＝（−Ａ＋Ｘ＋ 十△２Ｘ２４−
Ａ３ Ｘ３−１−Ｃ） ／Ｘ４この増幅ψのム１紳が繰
返し行なわれ、各錘設置位置Ｐ１乃至Ｐ４に錘を５回以
上乗せた時に錘を外枠２２の任意の位置に載直し、この
段山におイＣＩ？ツリ出力！ｉｆＪ Ｃｍ （＝ Ａ
＋ Ｘ ＋ −Ａ ２ Ｘ ２Δ３Ｘ：ｌ＋△４Ｘ１）
ど実際の錘Ｗの小量とを比較し一定範囲例えば５％以内
であれば最終的に５１律されたＪ（を輸率△１乃至Ａ４
がマイク［コブ口しツリー２８内に記憶されるのである
。このため、この実施例においＣは、キ１７リフレーシ
ヨンＹ１業がＬＩば自動化され、しかもマイク［ｌプ［
ｌけツリ２８のｆｉ’ｉ鴎に伴なう高精度のキトリブレ
ージ」ンかｌｉｌ （ｉ！＝になる。更に、鍾Ｗを自動
耐直する１］ボツ１へ簀の自動（戊ど引合ｌれは゛、十
記キＩＩリグＩノーシｊ）作業の全自動システムが実現
でさる。
４ （’：） ／Ｘ＋Ａ２ ＝ （Ａ＋ Ｘ＋ −Ａ３
Ｘ３ ＋Ａ４ Ｘ４−Ｃ） ／Ｘ３ ・・・・・・・
・・（１３）Ａ３−（△＋Ｘｌ−へ２Ｘ２１−Ａ４ Ｘ
４−Ｃ） ／ｘ３△４＝（−Ａ＋Ｘ＋ 十△２Ｘ２４−
Ａ３ Ｘ３−１−Ｃ） ／Ｘ４この増幅ψのム１紳が繰
返し行なわれ、各錘設置位置Ｐ１乃至Ｐ４に錘を５回以
上乗せた時に錘を外枠２２の任意の位置に載直し、この
段山におイＣＩ？ツリ出力！ｉｆＪ Ｃｍ （＝ Ａ
＋ Ｘ ＋ −Ａ ２ Ｘ ２Δ３Ｘ：ｌ＋△４Ｘ１）
ど実際の錘Ｗの小量とを比較し一定範囲例えば５％以内
であれば最終的に５１律されたＪ（を輸率△１乃至Ａ４
がマイク［コブ口しツリー２８内に記憶されるのである
。このため、この実施例においＣは、キ１７リフレーシ
ヨンＹ１業がＬＩば自動化され、しかもマイク［ｌプ［
ｌけツリ２８のｆｉ’ｉ鴎に伴なう高精度のキトリブレ
ージ」ンかｌｉｌ （ｉ！＝になる。更に、鍾Ｗを自動
耐直する１］ボツ１へ簀の自動（戊ど引合ｌれは゛、十
記キＩＩリグＩノーシｊ）作業の全自動システムが実現
でさる。
尚、土５【シ各実／＋ｉｌｉ Ｉｌ’ｌｌにおい−（、
センサの具体的１７、ｉ成に−）いて【よ適宜設置、１
変更できることは勿論Ｃある１゜ （１） ざし明のり１宋 以１： ｒ；＋ａ明しくさたように本発明にかかるセン
サのキ１！リプレージョン方法によれば、ロン４ノのキ
ャリブレーション作業が簡略化され、しかも検出ゲージ
の装着位同のパンツ−１＝−１りグージノ１クタのバラ
ツキに影響されない正確なキャリブレーションを行なう
ことがＣぎる。
センサの具体的１７、ｉ成に−）いて【よ適宜設置、１
変更できることは勿論Ｃある１゜ （１） ざし明のり１宋 以１： ｒ；＋ａ明しくさたように本発明にかかるセン
サのキ１！リプレージョン方法によれば、ロン４ノのキ
ャリブレーション作業が簡略化され、しかも検出ゲージ
の装着位同のパンツ−１＝−１りグージノ１クタのバラ
ツキに影響されない正確なキャリブレーションを行なう
ことがＣぎる。
第１図はけン１すを備えた［］ボッ１〜の一例を示す説
明図、第２図はヒツリの具体的−例を示づ説明図、第３
図はセンサの電気回路の一例を示づ説明図、第４図は本
発明にかかるセンサのキ〜・リプレージョン方法を使用
づる際に用いられるレジ１ノの具体例を示す説明図、第
５図は本発明にかかる：Ｉｌ： ｖリプレージョン方法
の一例を示すノＬ１−ヂャー１〜、第６図（ａ）（ｂ）
はＸ軸Ｉ７；１りのモーメン！・の；１ニヤリプレージ
ヨンを行なう手順を示すフ１」−チャーｌ〜、第７図は
本発明にかかるセンサのキ亀！リプレージョンｈ法を使
用する際に用いられるしツリーの他の例を示す説明図、
第８図は本発明にかかるセンサの十ｔ・リプレージョン
方法を使用りるＩＷｌに各検出ゲージの増幅ンヤの調整
を自動化りるための具体的回路の一例を示り゛回路図、
第９図は第８図の回路によるキ亀・リブレージ）ｌン方
法の手順を示づフロＷ・・・鍾（一定の外力） Ｓａ乃至Ｓｆ・・・検出ゲージ 特 ６′１ 出願人 富士通株式会社 １：′５ゲージシー５Ｃ−１Ｊ−・ ４ −１ ８ −１ −８ −２−Ｆｚのキ リプレー・ン ンのシュミレーシ ン
Ｉ）（錘ｗ−２ｏｏｇ） に３： Ｆｚのキ リブレージ ンのシ ミレーシ ン
ＩＩ（錘Ｗ・２ｏｏｇ） −４： 出ゲージＳａｐ至γの゛捜出 ｌＧ４ −１．
２ ４．９２．、−０．８５ −７．００４−１５＝！
キ リブレージ ンのシュミレーン ン（錘−・２０
０ｇ） （モーメノトＭ−７０００ｇ−Ｃ躊）ｎ ｇ（
５） ｇ（ｆ（） ｇ（７） １ １ １ １ ２ −７５０．５９４ ４．０６９７７ −９１．３２
４３−７５ｓ、７３４．１１７７４ −８２．７６６５
４ −７５９．８７３ ４．１１８４９ −９２．７８
９１５ −７５９．８７５ ４．１１８５ −８２．７
８９４６−７５８．８７５ ４．１１８５ −９２．７
８９４７ −７５９．８７５ ４．１１８５ −９２．
７８９４８ −７５１１．８７５ ４．１１８５ −８
２．７８９４９ −７５１１．８７５ ４．１１８５
−！１１２．７８９４１０−７５９．８７５ ４．１１
８５ −９２．７８９４１１ −７５９．８７５ ４．
１１８５ −９２．７８９４１２ −７５８．８７５
’４．１１８５ −９２．７８９４１３ −７５Ｌ８７
５ ４．１１８５ −９２゜７８８４１４ −７５９．
８７５ ４．１１８５ −９２．７８９４１５ −７５
９．８７５ ４．１１８５ −！３２．７８９４６：
出ゲージ気ア奈おの仮−１１１出 値Ｐ Ｍａ Ｍｂ
Ｍｃ Ｍｄ １ −９．６ −０．８２ ５．７ −０．８８２ −
１．２ −６．５Ｅｉ −０，９５５，２８３７・２
−０．８２ ”７．８ −０．８８４ −１．２ ４．
９２ −０．８５ −７．０４第 Ｍ 図 第２図 ２ 第７図 第８図 ２日 第
明図、第２図はヒツリの具体的−例を示づ説明図、第３
図はセンサの電気回路の一例を示づ説明図、第４図は本
発明にかかるセンサのキ〜・リプレージョン方法を使用
づる際に用いられるレジ１ノの具体例を示す説明図、第
５図は本発明にかかる：Ｉｌ： ｖリプレージョン方法
の一例を示すノＬ１−ヂャー１〜、第６図（ａ）（ｂ）
はＸ軸Ｉ７；１りのモーメン！・の；１ニヤリプレージ
ヨンを行なう手順を示すフ１」−チャーｌ〜、第７図は
本発明にかかるセンサのキ亀！リプレージョンｈ法を使
用する際に用いられるしツリーの他の例を示す説明図、
第８図は本発明にかかるセンサの十ｔ・リプレージョン
方法を使用りるＩＷｌに各検出ゲージの増幅ンヤの調整
を自動化りるための具体的回路の一例を示り゛回路図、
第９図は第８図の回路によるキ亀・リブレージ）ｌン方
法の手順を示づフロＷ・・・鍾（一定の外力） Ｓａ乃至Ｓｆ・・・検出ゲージ 特 ６′１ 出願人 富士通株式会社 １：′５ゲージシー５Ｃ−１Ｊ−・ ４ −１ ８ −１ −８ −２−Ｆｚのキ リプレー・ン ンのシュミレーシ ン
Ｉ）（錘ｗ−２ｏｏｇ） に３： Ｆｚのキ リブレージ ンのシ ミレーシ ン
ＩＩ（錘Ｗ・２ｏｏｇ） −４： 出ゲージＳａｐ至γの゛捜出 ｌＧ４ −１．
２ ４．９２．、−０．８５ −７．００４−１５＝！
キ リブレージ ンのシュミレーン ン（錘−・２０
０ｇ） （モーメノトＭ−７０００ｇ−Ｃ躊）ｎ ｇ（
５） ｇ（ｆ（） ｇ（７） １ １ １ １ ２ −７５０．５９４ ４．０６９７７ −９１．３２
４３−７５ｓ、７３４．１１７７４ −８２．７６６５
４ −７５９．８７３ ４．１１８４９ −９２．７８
９１５ −７５９．８７５ ４．１１８５ −８２．７
８９４６−７５８．８７５ ４．１１８５ −９２．７
８９４７ −７５９．８７５ ４．１１８５ −９２．
７８９４８ −７５１１．８７５ ４．１１８５ −８
２．７８９４９ −７５１１．８７５ ４．１１８５
−！１１２．７８９４１０−７５９．８７５ ４．１１
８５ −９２．７８９４１１ −７５９．８７５ ４．
１１８５ −９２．７８９４１２ −７５８．８７５
’４．１１８５ −９２．７８９４１３ −７５Ｌ８７
５ ４．１１８５ −９２゜７８８４１４ −７５９．
８７５ ４．１１８５ −９２．７８９４１５ −７５
９．８７５ ４．１１８５ −！３２．７８９４６：
出ゲージ気ア奈おの仮−１１１出 値Ｐ Ｍａ Ｍｂ
Ｍｃ Ｍｄ １ −９．６ −０．８２ ５．７ −０．８８２ −
１．２ −６．５Ｅｉ −０，９５５，２８３７・２
−０．８２ ”７．８ −０．８８４ −１．２ ４．
９２ −０．８５ −７．０４第 Ｍ 図 第２図 ２ 第７図 第８図 ２日 第
Claims (3)
- （１） 弾性変形可能な基板の異なつｌ〔部位に複数個
の検出ゲージを装着し、各検出ゲージからの出力により
複数次元のカベク１−ルの成分を検出づるようにしたセ
ンサに対して、各検出ゲージの増幅率を＋、１．’ｌ整
する。１：Ｉ＋リプレージョンを行なうに際し、上記基
板上には個々の検出ゲージに各々最大゛し一メン１へを
加える外力作用位置を予め設定し、上記外力作用位置に
既知の一定外力を順次作用μしめると共に、上記外力を
作用さＵる毎に最大七−メンｌ〜が加わる検出ゲージの
増幅率の力を調整し−（、センリ出〕Ｊ ｌ１ｔＪを上
記外力に相当りるものに合致させるようにし、各検出ゲ
ージの増幅率が所定１ｉｒｉに集束するまで上記操作ヶ
繰返りことを特徴とするセンサのキャリフレージョン方
法１゜ - （２） 上記基板の外力作用位置に既知の一定外力を作
用させるに際し、当該外力の作用点を位置決めするよう
にしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のセ
ンサのキャリブレーション方法。 - （３）各検出ゲージの増幅率を調整づるに際し、マイク
ロプロセッサで制御するようにしたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のロン１ノのキャリブレーショ
ン方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181917A JPS6073326A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | センサのキヤリブレ−シヨン方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181917A JPS6073326A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | センサのキヤリブレ−シヨン方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6073326A true JPS6073326A (ja) | 1985-04-25 |
Family
ID=16109162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58181917A Pending JPS6073326A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | センサのキヤリブレ−シヨン方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6073326A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6278075B1 (en) | 1998-02-05 | 2001-08-21 | Fanuc, Ltd. | Controller of wire electric discharge machine |
| CN105043664A (zh) * | 2015-08-21 | 2015-11-11 | 中国工程物理研究院总体工程研究所 | 特种高温测力传感器标定装置 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP58181917A patent/JPS6073326A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6278075B1 (en) | 1998-02-05 | 2001-08-21 | Fanuc, Ltd. | Controller of wire electric discharge machine |
| CN105043664A (zh) * | 2015-08-21 | 2015-11-11 | 中国工程物理研究院总体工程研究所 | 特种高温测力传感器标定装置 |
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