JPS607632A - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents

光熱磁気記録媒体

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JPS607632A
JPS607632A JP11292683A JP11292683A JPS607632A JP S607632 A JPS607632 A JP S607632A JP 11292683 A JP11292683 A JP 11292683A JP 11292683 A JP11292683 A JP 11292683A JP S607632 A JPS607632 A JP S607632A
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film
recording medium
magnetic recording
photothermal
carbon
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JP11292683A
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Hiroyoshi Kishi
博義 岸
Masaaki Matsushima
正明 松島
Eizo Sasamori
笹森 栄造
Shigeji Iijima
飯島 繁治
Satoshi Yoshihara
吉原 諭
Katsuhiko Takano
勝彦 高野
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Canon Inc
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    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11B11/10Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
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    • G11B11/10582Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
    • G11B11/10586Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光磁気メモリー、磁気記録、表示素子などに
用いられ、磁気カー効果あるいはファラデー効果などの
磁気光学効果を用いて読み出すことのできる光熱°磁気
記録媒体に関するもので、特に、耐腐食性を向上さぜた
磁性薄膜記録媒体に関するものである。
従来、光熱磁気記録媒体としてはMnB1、MnCu 
Bi 等の多結晶薄膜、Ga、 Co 、 Ga Fe
、’1.”bFe、DyFe、Ga、TbF’e、’]
”bDyPe等の非晶質薄膜、GdIG等の単結晶薄膜
等が知られている。
この等の薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で
製作する製膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書き込
むだめの書き込み効率、書き込1れだ信号をS/N比よ
く読み出すための読み出し効率等を勘案し、最近では前
記非晶質薄膜が光熱磁気記録媒体として優れていると考
えられている。
特に、Ga Tb Feは、カー回転角も太きく、is
゛C前後のキューリ一点を持つから光熱磁気記録媒体と
しては最適である。更に我々は、カー回転角を向上させ
る目的で研究した結果、Tb FeCo特にGdTbF
eCoがカー回転角が充分に大きく、S/N比の良い読
み出しが可能な光熱磁気記録媒体であることを見い出し
だ。
然しながら、GdTbFeあるいはT、bFeCo。
GdTbFeCoをはじめとして、その他の非晶質磁性
体の特徴として、耐腐食性が悪い事があげられる。即ち
、大気、水蒸気に触れると、磁気特性が低下するだけで
なく、最終的には完全に酸化して透明化してしまう。
その為に、従来から記録層の」二に保護層を設けたり、
更に不活性ガスにより封じ込めだディスク状記録媒体が
提案されている。
本発明の目的は、従来とは異々り記録媒体自身に而」腐
木性を持たせようとするもので、磁気特性を損ねること
なく耐腐食性を向上させた非晶質の光熱磁気記録媒体を
提供することにある。
本発明の目的は次の光熱磁気記録媒体により達成される
基板上に1摸面に垂直方向に磁化容易軸を有する非晶質
磁性合金の薄膜からなる記録層−を形成した光熱磁気記
録媒体において、前記非晶質磁性合金が炭素を含有する
ことを特徴とする光熱磁気記録媒体。
本発明において用いられる非晶質磁性合金は、例えばG
a TbFe、TbFeCo、GaTbFeC。
などであるが、これらに限定されるものではない。
これらの磁性合金に炭素を含有させるには、例えば後述
する実施例に記載されているように、高周波スパッタ装
置を用いて非晶q・1磁性合金の薄膜を基板上に成膜す
る際に炭素を膜中に含有させる等の方法がある。
炭素の含有量は、好捷しくは0/原子%〜30原子係で
ある。θ/原子係以下では充分に耐腐食性を向上させる
ことができず、また30原子係以上では磁気特性に影響
ができるからである。
基板としてはガラス、金属9石英、アクリル系樹脂、ポ
リカーボネート、ポリエチレンテレフタレートなどから
なるものが用いられる。これらの基板上に炭素を含有す
る非晶質磁性合金の薄膜を形成したのち、その上に更に
、種々の物質からなる保護層または保護層を兼ねた反射
層1反射防止層、断熱層などを設けて確1腐食性を更に
向上させることができる。まだ基板と磁性記録層との間
に基板側から順次に、断熱層2反射防止層を設けること
もできる。さらに非晶質磁性合金薄膜中に炭素とともに
アルミニウム、ケイ素、クロム、ホウ素、窒素などの元
素の7種またはノ種以上を添加することによシ優れだ面
1腐食性を実現することができる。
本発明の磁気記録媒体は、周知のエアーザンドウィツチ
構造および貼り合せ構造のいずれによってもよい。
本発明によれば、非晶質磁性合金からなる薄膜中に炭素
を含有させることによって、この薄膜自体の耐腐食性を
向」二さぜ、従来のものよりも耐腐食性の優れた非晶質
磁性媒体による磁気記録媒体が提供される。
以下に実施例を示して、本発明をさらに詳細に説明する
実施例/ 高周波スパック装置において、31インチ角の白板ガラ
スを基板とし、第1のターゲットとして直径9インチの
Fe上に3 tnm角のGa、Tb片を均一に並べたも
のを、また第!のターゲットとして直径9インチのグラ
ファイトを用いた。装置内を/に×10 Pa以下の真
空としたのち、Arガスを’A×10 Paまで導入し
、真空損気系のメインバルブを操作することによってA
r圧を3P aとした。高周波電源より第1のターゲッ
トはスパッタ電力xsowと一定とし、第λのターゲッ
トはスパッタ電力を変えた!源同時スパッタにより下記
の種々の組成のGa、TbFeC膜を基板」二に作製し
た。
((GdO,5Tb0.5 ) 0.21 ”’ 0.
79 ) CO,950,05 ((GdO,5””〕0.5)0.21”””0.79
”09 01 ((GdO,5TbO,5>0.21F”’0.79)
 CO,850,15 ((Gdo5Tbo5)。2□Feo79) C080
2 また、第1のターゲットのFeの」二にグラファイトの
小片を均一に並べ、上述した過程により下記の組成のG
dTbFeC1摸を成膜した。
r (GdO,5TbO,5) 0.211″G0.7
9J 0.997CO,003((GdO,5TbO,
5) 0.21 FeG、79) 0.99 CO,0
1上記構成のGd、TbFeC膜をg 3 C,相対湿
度g3%の恒温恒湿槽中で耐腐食試験に付した。
結果を第1図に示しだ。第1図は縦軸に保磁力の初期値
に対する比を、まだ横軸に時間をとったもので、保磁力
の減少は腐食の進行を示している。
第1図から明らかなように、炭素を含有しないGd、T
bFe膜は約700時間で顕著な腐食が認められだ、G
dTbFe膜の炭素含量が増すにつれて保磁力の減少は
′小さく、耐腐食性が増す。また、非晶質磁性膜は比較
的低い温度で結晶化などの構造変化を起こしやすく、光
熱磁気材料としての特性が損われることがあるが、炭素
の添加により結晶化温度が上昇し、熱的安定性も向上し
た。
なお、炭素を30原子係以上含有するGaTbFeC膜
をも成膜しだが、この膜は膜面に垂直方向に磁化容易軸
を有しないものであった。
実施例! 高周波スパッタ装置において、3インチ角の白板ガラス
を基板とし、第1のターゲットとして直径7インチのF
e上に3 mm角のGa、Tb、Co 片を片−に並べ
たものと第2のターゲットとして直) 径qインチのグラフアイ)・を使用するか、または第1
のターゲットのFeの上に5 mm角のGd、、Tb。
00片と、グラファイトの小片とを均一に並べたものを
使用することにより、実施例/と同様のプロセスで下記
の組成のGdTbFeCo膜を基板上に作製した。
((GdO,5TbO,5) 0.21 (Feo9C
oOJ)0.79)0.997 CO,003((Gd
O,5” bo、5 ) 0.21 (FeO,9Co
O,1)079)0.99 C0o1((GdO,5”
 b(1,5) 0.21 (FeO,9CoO,1)
’Oニア9)0.95 c O,05((GdO,5T
bO,5) 0.21 (FeO,9COO,1,)0
.79)0.9 co、1[(Gdo、s Tbo5)
 0.21 (Fe0.9CoO,I)0.7J0.8
5 CO,15((GdO,5TbO,5) 0.21
 (FeO,9CoO,1)(]、79’J0.8 c
O,2上記のGdTbFeCoC膜とGci、 TI)
 Fe Co膜とを・、実施例/と同様の腐食試験に伺
した結果、GdTbPeCo膜は約750時間で表面に
顕著な腐食が認められた。上記Gd’J’bFe’Co
C膜の300時間の試験後の保磁力の減少を第1表に示
した。
第 / 表 なお、炭素を30原子係以上含有するGaTbFeC膜
C膜をも成膜したが、この膜は膜面に垂直方向に磁化容
易軸を有しないものであった。
実施例3 実施例λと同様にFe、 Tb、 Co および炭素を
用いて上記の組成のTb Fe Co C膜を基板上に
作製した。
(Tb20 (Foo、9C00,1) 80 ) 0
.!197 CO,003(Tb20 (””0.9C
oO,1) 80 )0.99 CO,01(Tb2o
(Feo9Coo1)8o)。、5 Co膜5(Tb2
o(Feo9COo□)8o)。9 Co1(Tb2o
(Feo9COo□)8o)。8.0o1゜(Tb2o
(Feo9COo1)8o)。8 Co2上記のTb 
Fe Co C膜とTbFeCo 膜とを実施例/と同
様の腐食試験に伺した結果、T、 b F eCo膜は
約730時間で表面に顕著なIJS食が認められた。上
記TbPeCoC膜のに00時間の試験後の保磁力の減
少を第2表に示した。
第 J 表 なお、炭素を30原子係以上含有するTb FGCoC
膜をも成膜したが、この膜は膜面に垂直方向に磁化容易
軸を有しないものであった。
【図面の簡単な説明】
第1図は実施例/において得られた各種組成のG(l 
Tb Fe C膜を有する光熱磁気記録媒体の耐腐食試
験の結果を示す図表である。 時Iv′l(ル) 1I11 手 続 補 正 書 (自発) 昭和58年10月241ゴ 特許庁長官 殿 1、’j(件の表示 昭和58年 特許M 第N282
6号2、発明の名称 光熱磁気記録媒体 3、補ILをする者 ・11件との関係 特許出願人 (100)キャノン株式会社 4、代 理 人 住所 東京都港区赤坂l]目9番20号5、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄。 特許請求の範囲 1、基板上に、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する非
晶質磁性合金の薄膜からなる記録層を形成した光熱磁気
記録媒体において、前記非晶質磁性合金が炭素を含有す
ることを特徴とする光熱磁気記録媒体。 2、炭素の含有量が0.1〜30原子%である特許請求
の範囲第1項記載の一熱磁′ζ記録な 氷。 3、 前記非晶質磁性合金がGd Tb Fe、Tb 
Fe CoまたはGd Tb Fe Coである特許請
求の範囲第1項記載の一熱磁″′″′、記M媒体。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 基板上に、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する非
    晶質磁性合金の薄膜からなる記録層を形成した光熱磁気
    記録媒体において、前記非晶質磁性合金が炭素を含有す
    ることを特徴とする光熱磁気記録媒体。 2 炭素の含有量が07〜30原子係である特許請求の
    範囲第1項記載の方法。 3 前記非晶質磁性合金がGaTbFe XTbreC
    oまたはGdTbPeCoである特許請求の範囲第1項
    記載の方法。
JP11292683A 1983-06-24 1983-06-24 光熱磁気記録媒体 Pending JPS607632A (ja)

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