JPS607632A - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents
光熱磁気記録媒体Info
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- JPS607632A JPS607632A JP11292683A JP11292683A JPS607632A JP S607632 A JPS607632 A JP S607632A JP 11292683 A JP11292683 A JP 11292683A JP 11292683 A JP11292683 A JP 11292683A JP S607632 A JPS607632 A JP S607632A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- recording medium
- magnetic recording
- photothermal
- carbon
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光磁気メモリー、磁気記録、表示素子などに
用いられ、磁気カー効果あるいはファラデー効果などの
磁気光学効果を用いて読み出すことのできる光熱°磁気
記録媒体に関するもので、特に、耐腐食性を向上さぜた
磁性薄膜記録媒体に関するものである。
用いられ、磁気カー効果あるいはファラデー効果などの
磁気光学効果を用いて読み出すことのできる光熱°磁気
記録媒体に関するもので、特に、耐腐食性を向上さぜた
磁性薄膜記録媒体に関するものである。
従来、光熱磁気記録媒体としてはMnB1、MnCu
Bi 等の多結晶薄膜、Ga、 Co 、 Ga Fe
、’1.”bFe、DyFe、Ga、TbF’e、’]
”bDyPe等の非晶質薄膜、GdIG等の単結晶薄膜
等が知られている。
Bi 等の多結晶薄膜、Ga、 Co 、 Ga Fe
、’1.”bFe、DyFe、Ga、TbF’e、’]
”bDyPe等の非晶質薄膜、GdIG等の単結晶薄膜
等が知られている。
この等の薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で
製作する製膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書き込
むだめの書き込み効率、書き込1れだ信号をS/N比よ
く読み出すための読み出し効率等を勘案し、最近では前
記非晶質薄膜が光熱磁気記録媒体として優れていると考
えられている。
製作する製膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書き込
むだめの書き込み効率、書き込1れだ信号をS/N比よ
く読み出すための読み出し効率等を勘案し、最近では前
記非晶質薄膜が光熱磁気記録媒体として優れていると考
えられている。
特に、Ga Tb Feは、カー回転角も太きく、is
。
。
゛C前後のキューリ一点を持つから光熱磁気記録媒体と
しては最適である。更に我々は、カー回転角を向上させ
る目的で研究した結果、Tb FeCo特にGdTbF
eCoがカー回転角が充分に大きく、S/N比の良い読
み出しが可能な光熱磁気記録媒体であることを見い出し
だ。
しては最適である。更に我々は、カー回転角を向上させ
る目的で研究した結果、Tb FeCo特にGdTbF
eCoがカー回転角が充分に大きく、S/N比の良い読
み出しが可能な光熱磁気記録媒体であることを見い出し
だ。
然しながら、GdTbFeあるいはT、bFeCo。
GdTbFeCoをはじめとして、その他の非晶質磁性
体の特徴として、耐腐食性が悪い事があげられる。即ち
、大気、水蒸気に触れると、磁気特性が低下するだけで
なく、最終的には完全に酸化して透明化してしまう。
体の特徴として、耐腐食性が悪い事があげられる。即ち
、大気、水蒸気に触れると、磁気特性が低下するだけで
なく、最終的には完全に酸化して透明化してしまう。
その為に、従来から記録層の」二に保護層を設けたり、
更に不活性ガスにより封じ込めだディスク状記録媒体が
提案されている。
更に不活性ガスにより封じ込めだディスク状記録媒体が
提案されている。
本発明の目的は、従来とは異々り記録媒体自身に而」腐
木性を持たせようとするもので、磁気特性を損ねること
なく耐腐食性を向上させた非晶質の光熱磁気記録媒体を
提供することにある。
木性を持たせようとするもので、磁気特性を損ねること
なく耐腐食性を向上させた非晶質の光熱磁気記録媒体を
提供することにある。
本発明の目的は次の光熱磁気記録媒体により達成される
。
。
基板上に1摸面に垂直方向に磁化容易軸を有する非晶質
磁性合金の薄膜からなる記録層−を形成した光熱磁気記
録媒体において、前記非晶質磁性合金が炭素を含有する
ことを特徴とする光熱磁気記録媒体。
磁性合金の薄膜からなる記録層−を形成した光熱磁気記
録媒体において、前記非晶質磁性合金が炭素を含有する
ことを特徴とする光熱磁気記録媒体。
本発明において用いられる非晶質磁性合金は、例えばG
a TbFe、TbFeCo、GaTbFeC。
a TbFe、TbFeCo、GaTbFeC。
などであるが、これらに限定されるものではない。
これらの磁性合金に炭素を含有させるには、例えば後述
する実施例に記載されているように、高周波スパッタ装
置を用いて非晶q・1磁性合金の薄膜を基板上に成膜す
る際に炭素を膜中に含有させる等の方法がある。
する実施例に記載されているように、高周波スパッタ装
置を用いて非晶q・1磁性合金の薄膜を基板上に成膜す
る際に炭素を膜中に含有させる等の方法がある。
炭素の含有量は、好捷しくは0/原子%〜30原子係で
ある。θ/原子係以下では充分に耐腐食性を向上させる
ことができず、また30原子係以上では磁気特性に影響
ができるからである。
ある。θ/原子係以下では充分に耐腐食性を向上させる
ことができず、また30原子係以上では磁気特性に影響
ができるからである。
基板としてはガラス、金属9石英、アクリル系樹脂、ポ
リカーボネート、ポリエチレンテレフタレートなどから
なるものが用いられる。これらの基板上に炭素を含有す
る非晶質磁性合金の薄膜を形成したのち、その上に更に
、種々の物質からなる保護層または保護層を兼ねた反射
層1反射防止層、断熱層などを設けて確1腐食性を更に
向上させることができる。まだ基板と磁性記録層との間
に基板側から順次に、断熱層2反射防止層を設けること
もできる。さらに非晶質磁性合金薄膜中に炭素とともに
アルミニウム、ケイ素、クロム、ホウ素、窒素などの元
素の7種またはノ種以上を添加することによシ優れだ面
1腐食性を実現することができる。
リカーボネート、ポリエチレンテレフタレートなどから
なるものが用いられる。これらの基板上に炭素を含有す
る非晶質磁性合金の薄膜を形成したのち、その上に更に
、種々の物質からなる保護層または保護層を兼ねた反射
層1反射防止層、断熱層などを設けて確1腐食性を更に
向上させることができる。まだ基板と磁性記録層との間
に基板側から順次に、断熱層2反射防止層を設けること
もできる。さらに非晶質磁性合金薄膜中に炭素とともに
アルミニウム、ケイ素、クロム、ホウ素、窒素などの元
素の7種またはノ種以上を添加することによシ優れだ面
1腐食性を実現することができる。
本発明の磁気記録媒体は、周知のエアーザンドウィツチ
構造および貼り合せ構造のいずれによってもよい。
構造および貼り合せ構造のいずれによってもよい。
本発明によれば、非晶質磁性合金からなる薄膜中に炭素
を含有させることによって、この薄膜自体の耐腐食性を
向」二さぜ、従来のものよりも耐腐食性の優れた非晶質
磁性媒体による磁気記録媒体が提供される。
を含有させることによって、この薄膜自体の耐腐食性を
向」二さぜ、従来のものよりも耐腐食性の優れた非晶質
磁性媒体による磁気記録媒体が提供される。
以下に実施例を示して、本発明をさらに詳細に説明する
。
。
実施例/
高周波スパック装置において、31インチ角の白板ガラ
スを基板とし、第1のターゲットとして直径9インチの
Fe上に3 tnm角のGa、Tb片を均一に並べたも
のを、また第!のターゲットとして直径9インチのグラ
ファイトを用いた。装置内を/に×10 Pa以下の真
空としたのち、Arガスを’A×10 Paまで導入し
、真空損気系のメインバルブを操作することによってA
r圧を3P aとした。高周波電源より第1のターゲッ
トはスパッタ電力xsowと一定とし、第λのターゲッ
トはスパッタ電力を変えた!源同時スパッタにより下記
の種々の組成のGa、TbFeC膜を基板」二に作製し
た。
スを基板とし、第1のターゲットとして直径9インチの
Fe上に3 tnm角のGa、Tb片を均一に並べたも
のを、また第!のターゲットとして直径9インチのグラ
ファイトを用いた。装置内を/に×10 Pa以下の真
空としたのち、Arガスを’A×10 Paまで導入し
、真空損気系のメインバルブを操作することによってA
r圧を3P aとした。高周波電源より第1のターゲッ
トはスパッタ電力xsowと一定とし、第λのターゲッ
トはスパッタ電力を変えた!源同時スパッタにより下記
の種々の組成のGa、TbFeC膜を基板」二に作製し
た。
((GdO,5Tb0.5 ) 0.21 ”’ 0.
79 ) CO,950,05 ((GdO,5””〕0.5)0.21”””0.79
”09 01 ((GdO,5TbO,5>0.21F”’0.79)
CO,850,15 ((Gdo5Tbo5)。2□Feo79) C080
2 また、第1のターゲットのFeの」二にグラファイトの
小片を均一に並べ、上述した過程により下記の組成のG
dTbFeC1摸を成膜した。
79 ) CO,950,05 ((GdO,5””〕0.5)0.21”””0.79
”09 01 ((GdO,5TbO,5>0.21F”’0.79)
CO,850,15 ((Gdo5Tbo5)。2□Feo79) C080
2 また、第1のターゲットのFeの」二にグラファイトの
小片を均一に並べ、上述した過程により下記の組成のG
dTbFeC1摸を成膜した。
r (GdO,5TbO,5) 0.211″G0.7
9J 0.997CO,003((GdO,5TbO,
5) 0.21 FeG、79) 0.99 CO,0
1上記構成のGd、TbFeC膜をg 3 C,相対湿
度g3%の恒温恒湿槽中で耐腐食試験に付した。
9J 0.997CO,003((GdO,5TbO,
5) 0.21 FeG、79) 0.99 CO,0
1上記構成のGd、TbFeC膜をg 3 C,相対湿
度g3%の恒温恒湿槽中で耐腐食試験に付した。
結果を第1図に示しだ。第1図は縦軸に保磁力の初期値
に対する比を、まだ横軸に時間をとったもので、保磁力
の減少は腐食の進行を示している。
に対する比を、まだ横軸に時間をとったもので、保磁力
の減少は腐食の進行を示している。
第1図から明らかなように、炭素を含有しないGd、T
bFe膜は約700時間で顕著な腐食が認められだ、G
dTbFe膜の炭素含量が増すにつれて保磁力の減少は
′小さく、耐腐食性が増す。また、非晶質磁性膜は比較
的低い温度で結晶化などの構造変化を起こしやすく、光
熱磁気材料としての特性が損われることがあるが、炭素
の添加により結晶化温度が上昇し、熱的安定性も向上し
た。
bFe膜は約700時間で顕著な腐食が認められだ、G
dTbFe膜の炭素含量が増すにつれて保磁力の減少は
′小さく、耐腐食性が増す。また、非晶質磁性膜は比較
的低い温度で結晶化などの構造変化を起こしやすく、光
熱磁気材料としての特性が損われることがあるが、炭素
の添加により結晶化温度が上昇し、熱的安定性も向上し
た。
なお、炭素を30原子係以上含有するGaTbFeC膜
をも成膜しだが、この膜は膜面に垂直方向に磁化容易軸
を有しないものであった。
をも成膜しだが、この膜は膜面に垂直方向に磁化容易軸
を有しないものであった。
実施例!
高周波スパッタ装置において、3インチ角の白板ガラス
を基板とし、第1のターゲットとして直径7インチのF
e上に3 mm角のGa、Tb、Co 片を片−に並べ
たものと第2のターゲットとして直) 径qインチのグラフアイ)・を使用するか、または第1
のターゲットのFeの上に5 mm角のGd、、Tb。
を基板とし、第1のターゲットとして直径7インチのF
e上に3 mm角のGa、Tb、Co 片を片−に並べ
たものと第2のターゲットとして直) 径qインチのグラフアイ)・を使用するか、または第1
のターゲットのFeの上に5 mm角のGd、、Tb。
00片と、グラファイトの小片とを均一に並べたものを
使用することにより、実施例/と同様のプロセスで下記
の組成のGdTbFeCo膜を基板上に作製した。
使用することにより、実施例/と同様のプロセスで下記
の組成のGdTbFeCo膜を基板上に作製した。
((GdO,5TbO,5) 0.21 (Feo9C
oOJ)0.79)0.997 CO,003((Gd
O,5” bo、5 ) 0.21 (FeO,9Co
O,1)079)0.99 C0o1((GdO,5”
b(1,5) 0.21 (FeO,9CoO,1)
’Oニア9)0.95 c O,05((GdO,5T
bO,5) 0.21 (FeO,9COO,1,)0
.79)0.9 co、1[(Gdo、s Tbo5)
0.21 (Fe0.9CoO,I)0.7J0.8
5 CO,15((GdO,5TbO,5) 0.21
(FeO,9CoO,1)(]、79’J0.8 c
O,2上記のGdTbFeCoC膜とGci、 TI)
Fe Co膜とを・、実施例/と同様の腐食試験に伺
した結果、GdTbPeCo膜は約750時間で表面に
顕著な腐食が認められた。上記Gd’J’bFe’Co
C膜の300時間の試験後の保磁力の減少を第1表に示
した。
oOJ)0.79)0.997 CO,003((Gd
O,5” bo、5 ) 0.21 (FeO,9Co
O,1)079)0.99 C0o1((GdO,5”
b(1,5) 0.21 (FeO,9CoO,1)
’Oニア9)0.95 c O,05((GdO,5T
bO,5) 0.21 (FeO,9COO,1,)0
.79)0.9 co、1[(Gdo、s Tbo5)
0.21 (Fe0.9CoO,I)0.7J0.8
5 CO,15((GdO,5TbO,5) 0.21
(FeO,9CoO,1)(]、79’J0.8 c
O,2上記のGdTbFeCoC膜とGci、 TI)
Fe Co膜とを・、実施例/と同様の腐食試験に伺
した結果、GdTbPeCo膜は約750時間で表面に
顕著な腐食が認められた。上記Gd’J’bFe’Co
C膜の300時間の試験後の保磁力の減少を第1表に示
した。
第 / 表
なお、炭素を30原子係以上含有するGaTbFeC膜
C膜をも成膜したが、この膜は膜面に垂直方向に磁化容
易軸を有しないものであった。
C膜をも成膜したが、この膜は膜面に垂直方向に磁化容
易軸を有しないものであった。
実施例3
実施例λと同様にFe、 Tb、 Co および炭素を
用いて上記の組成のTb Fe Co C膜を基板上に
作製した。
用いて上記の組成のTb Fe Co C膜を基板上に
作製した。
(Tb20 (Foo、9C00,1) 80 ) 0
.!197 CO,003(Tb20 (””0.9C
oO,1) 80 )0.99 CO,01(Tb2o
(Feo9Coo1)8o)。、5 Co膜5(Tb2
o(Feo9COo□)8o)。9 Co1(Tb2o
(Feo9COo□)8o)。8.0o1゜(Tb2o
(Feo9COo1)8o)。8 Co2上記のTb
Fe Co C膜とTbFeCo 膜とを実施例/と同
様の腐食試験に伺した結果、T、 b F eCo膜は
約730時間で表面に顕著なIJS食が認められた。上
記TbPeCoC膜のに00時間の試験後の保磁力の減
少を第2表に示した。
.!197 CO,003(Tb20 (””0.9C
oO,1) 80 )0.99 CO,01(Tb2o
(Feo9Coo1)8o)。、5 Co膜5(Tb2
o(Feo9COo□)8o)。9 Co1(Tb2o
(Feo9COo□)8o)。8.0o1゜(Tb2o
(Feo9COo1)8o)。8 Co2上記のTb
Fe Co C膜とTbFeCo 膜とを実施例/と同
様の腐食試験に伺した結果、T、 b F eCo膜は
約730時間で表面に顕著なIJS食が認められた。上
記TbPeCoC膜のに00時間の試験後の保磁力の減
少を第2表に示した。
第 J 表
なお、炭素を30原子係以上含有するTb FGCoC
膜をも成膜したが、この膜は膜面に垂直方向に磁化容易
軸を有しないものであった。
膜をも成膜したが、この膜は膜面に垂直方向に磁化容易
軸を有しないものであった。
第1図は実施例/において得られた各種組成のG(l
Tb Fe C膜を有する光熱磁気記録媒体の耐腐食試
験の結果を示す図表である。 時Iv′l(ル) 1I11 手 続 補 正 書 (自発) 昭和58年10月241ゴ 特許庁長官 殿 1、’j(件の表示 昭和58年 特許M 第N282
6号2、発明の名称 光熱磁気記録媒体 3、補ILをする者 ・11件との関係 特許出願人 (100)キャノン株式会社 4、代 理 人 住所 東京都港区赤坂l]目9番20号5、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄。 特許請求の範囲 1、基板上に、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する非
晶質磁性合金の薄膜からなる記録層を形成した光熱磁気
記録媒体において、前記非晶質磁性合金が炭素を含有す
ることを特徴とする光熱磁気記録媒体。 2、炭素の含有量が0.1〜30原子%である特許請求
の範囲第1項記載の一熱磁′ζ記録な 氷。 3、 前記非晶質磁性合金がGd Tb Fe、Tb
Fe CoまたはGd Tb Fe Coである特許請
求の範囲第1項記載の一熱磁″′″′、記M媒体。
Tb Fe C膜を有する光熱磁気記録媒体の耐腐食試
験の結果を示す図表である。 時Iv′l(ル) 1I11 手 続 補 正 書 (自発) 昭和58年10月241ゴ 特許庁長官 殿 1、’j(件の表示 昭和58年 特許M 第N282
6号2、発明の名称 光熱磁気記録媒体 3、補ILをする者 ・11件との関係 特許出願人 (100)キャノン株式会社 4、代 理 人 住所 東京都港区赤坂l]目9番20号5、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄。 特許請求の範囲 1、基板上に、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する非
晶質磁性合金の薄膜からなる記録層を形成した光熱磁気
記録媒体において、前記非晶質磁性合金が炭素を含有す
ることを特徴とする光熱磁気記録媒体。 2、炭素の含有量が0.1〜30原子%である特許請求
の範囲第1項記載の一熱磁′ζ記録な 氷。 3、 前記非晶質磁性合金がGd Tb Fe、Tb
Fe CoまたはGd Tb Fe Coである特許請
求の範囲第1項記載の一熱磁″′″′、記M媒体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 基板上に、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する非
晶質磁性合金の薄膜からなる記録層を形成した光熱磁気
記録媒体において、前記非晶質磁性合金が炭素を含有す
ることを特徴とする光熱磁気記録媒体。 2 炭素の含有量が07〜30原子係である特許請求の
範囲第1項記載の方法。 3 前記非晶質磁性合金がGaTbFe XTbreC
oまたはGdTbPeCoである特許請求の範囲第1項
記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11292683A JPS607632A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 光熱磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11292683A JPS607632A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 光熱磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607632A true JPS607632A (ja) | 1985-01-16 |
Family
ID=14598943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11292683A Pending JPS607632A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 光熱磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607632A (ja) |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP11292683A patent/JPS607632A/ja active Pending
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