JPS6076679A - レ−ザドツプラ−速度計 - Google Patents

レ−ザドツプラ−速度計

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JPS6076679A
JPS6076679A JP18576583A JP18576583A JPS6076679A JP S6076679 A JPS6076679 A JP S6076679A JP 18576583 A JP18576583 A JP 18576583A JP 18576583 A JP18576583 A JP 18576583A JP S6076679 A JPS6076679 A JP S6076679A
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laser
frequency
polarization
particle
optical fiber
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Katsuji Hironaga
勝治 広永
Tatsuo Muramoto
村本 龍夫
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NIPPON KAGAKU KOGYO KK
Nippon Chemical Industrial Co Ltd
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NIPPON KAGAKU KOGYO KK
Nippon Chemical Industrial Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/50Systems of measurement based on relative movement of target
    • G01S17/58Velocity or trajectory determination systems; Sense-of-movement determination systems

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  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
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  • Remote Sensing (AREA)
  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は光ファイバを用いたレーザドツプラー速度計に
関し、特にいわゆるデュアルビームモー1′のレーザド
ツプラー速度針に関するものである。
従来技術とその問題点 従来より可干渉性及び単色性に優れたレーザ光の特徴に
着目して、レーザ光を用いて移動する粒子の速度を測定
する装置が種々提案されている。
第1図は近年一般に用いられつつあるデュアルヒームに
よるレーザドツプラー速度計の測定原理を示したもので
ある。本図において直線偏光を有するレーザ発振器、例
えばヘリウムネオンレーザやアルゴンレーザ等のレーザ
光源1のレーザ光をビームスプリンタ2で二つの平行な
レーザビームに分離する。そしてこのレーザビームを集
光レンズ3によって集光し、ある点で交叉させるように
する。そうすれば交叉領域に散乱物体が存在する場合に
は第2図にその拡大図を示すように干渉縞が観測される
。従ってこの交叉領域内を粒子pが通過した場合、粒子
pより得られる散乱光は干渉縞の明暗に対応した周期的
な強度変化を持つこととなる。そこでこの散乱光を集光
レンズによって集光し、ミラー4を介して光電変換器5
によって電気信号に変換すると、干渉縞部分を通過した
時の散乱光強度に対応したバースト波形が得られる。
干渉縞の明暗の間隔はレーザビームのレーデ波圏と、そ
の交叉角とによって決定されるので、このバースト波の
周波数を測定することによって粒子pの速度をめること
ができる。しかるにこのような速度計では二本のレーザ
ビームの波長は同一であるため交叉領域にできる干渉縞
は静止しており、干渉縞を通過する粒子pの速さは検出
できてもその方向を判別することはできなかった。そご
で粒子pの方向を判別するために、音響光学セル6を一
方のレーザビームの光行路に挿入し、音響光学セル6を
周波数へfoの発振器7で駆動することにより、そのレ
ーザ光を一定の周波数(Δfo)だけシフ1−させるよ
うにしたものが考えられる。
このようにすれば交叉領域にできる干渉縞は常にΔfo
に対応する速度で移動することとなる。従ってもし交叉
領域に静止している粒子があれば光電変換器5によって
Δfoに等しい周波数の出力が得られる。又交叉領域を
粒子pが通過する場合は、周波数Δfoを基準としてそ
のバースト波の周波数シフト量によって粒子pの速度及
び方向を同時に計測することができる。
ところでこのようなレーザドツプラー速度針は、レーザ
光のコヒーレント性を用いている。従って第1図のよう
なレーザ光の処理部と被測定領域とを分離することは困
難であった。レーザ発振器1とビームスプリッタ2との
間をモード変換のない単一モード光ファイバを用いて接
続することは可能であるが、測定領域に設けた一点鎖線
で示すセンサ部に例えば数W程度の大出力の発振器7を
設けて音響光学セル6に周波数偏移用の超音波信号を供
給する必要があるため、センサ部を小型化することは困
難であった。
第3図はこのような欠点を解消した他の従来例を示す図
である。この場合にはレーザ光源1がら出た光を偏光ビ
ームスプリンタ10によってS偏光(図中・で表示)と
P偏光(図中1で表示)の偏光方向の異なる二つのレー
ザビームlla、11bに分割し、その一方の光行路に
音響光学セル6を配置している。そして音響光学セル6
を発振器7によって駆動することによってレーザ光を所
定周波数(Δfo)だけシフ(〜させ、再び偏光ビーム
スプリッタ12によってこれらのレーザビームを合成し
て単一モード型の光ファイバ13に与えている。この単
一モード型光ファイバ13を偏光面保存型の光ファイバ
とすれば、S偏光及びP偏光の二つのレーザ光をそのま
ま測定領域に設けられたセンサ部14に導くことができ
る。そしてセンサ部14において偏光面の異なる二つの
レーザビームを偏光ビームスプリッタ15によって再び
分割し偏光面回転器16によって偏光面をそろえ、集光
レンズI7で交叉させることによって移動する干渉縞を
有する交叉領域とすることができる。
しかしながらこのような速度計の場合も音響光学セル6
を駆動するための高い出力を有する発振器7が必要であ
り、他の信号処理回路に悪影響を与える恐れがあるとい
う問題点があった。更に構造が複雑となり製造価格を低
減することばできなかった。
発明の目的 本発明はこのような従来のレーザドツプラー速度計の問
題点を解消するものであって、光ファイバを用いて測定
位置を任意に延長することができ、センサ部を小型化し
て操作性を向上させ、しかも粒子の方向を判別すること
ができるレーザドツプラー速度針を提供することを目的
とする。
発明の構成と効果 本発明番、1、互いに方向の異なる直線偏光特性を有し
、所定の周波数差の二つの周波数成分を有するレーザ光
を発する内部鏡型レーザ光源と、レーザ光源のレーザ光
が与えられ、測定領域にまで延長された偏光面保存型の
単一モード光ファイバと光フアイバ出力のレーザ光を偏
光の相違に基づいて2つの成分に分光する偏光ビームス
プリッタと、偏光ビームスプリッタの出力のいずれかの
レーザビームの偏光方向を変え、他方のレーザビームの
偏光方向に揃える偏光面回転器と、偏光面回転器より得
られるレーザビームと他方のレーザビームとを一点で交
叉せしめる光学手段と、交叉領域を通過する粒子からの
散乱光を電気信号に変換する光電変換器と、光電変換器
より得られるパース(・信号の周波数を測定する周波数
測定器と、周波数測定器より得られる周波数をレーザ光
源の周波数差と比較して粒子の速度を算出する演算手段
と、を具備することを特徴とするものである。
ごのように本発明では、レーザ光源自体を互いに方向が
異なる直交偏光特性を有し、所定の周波数差のレーザビ
ームを発生するレーザ光源としている。従ってレーザ光
源の出力をそのまま用いるごとができるため、センサ部
にはレーザ発振器に近接して音響光学セルやそれを駆動
する発振器を設ける必要がなく構造が非常に簡単となり
、装置の価格を低減させることができる。又異なる周波
数の二つのレーザビームを偏光面保存型の単一モー1、
光ファイバに与えて測定領域にまで延長してセンサ部に
与えており、センサ部も小型、軽量とすることができる
ので任意の測定点に配置することが可能となり、操作性
を向上させることができる。更にセンサ部に設けた光学
手段により二つのレーザビームを交叉させれば所定の速
度で移動する干渉縞が形成されるので、粒子の速度のみ
ならず方向を同時に極めて容易に判定することが可能と
なる。
実施例の説明 第4図は本発明の一実施例を示すレーザドツプラー速度
計の構成を示すブロック図である。本発明ではゼーマン
効果を利用して互いに方向が異なる直線偏光特性を有し
、所定の周波数差Δfの二つの周波数成分子l、 f2
を有するレーザ光を発生ずる内部鏡型のレーザ光源を用
いている。第4図は周波数安定化された横ゼーマンレー
ザ2oをレーザ光源として用いた実施例を示すものであ
る。この構ゼーマンレーザ20は縦モード2〜3本で発
振する内部鏡型のHe / N eレーザのレーザ管2
1に、磁石22によって横磁場を加えてレーザ管の利得
幅を狭めることによって単−縦モード化するようにした
ものである。この横磁場により単−縦モード化されたレ
ーザ光は方位が直交した二つの直線偏光成分子L f2
から成るレーザビーム、である。そしてその発振周波数
を安定化させるためにレーザの高反射側反射鏡を漏れた
光を横磁場方向に対して45°の偏光板23を介して光
電変換器24によって電気信号に変換する。そうすれば
これらのレーザビームの光ビートによってfl、 f2
の差の周波数を有する光電変換信号が得られる。この信
号の差周波数を一定に保つようにフェーズロ・7クドル
ープ25に与え、その出力をドライバ26を介して小型
のファン27を駆動するようにしている。このようにす
ればフィー1−ハックループの積分特性により光キャビ
ティの温度が安定化する結果、二つの周波数差Δfの変
動が極めて少なくなり直交、直線偏光を持った二つの周
波数fl、 f2のレーザ光が得られる。横ゼーマンレ
ーザ20のレーザ出力ば集光レンズ、例えばセルフォ・
7クレンズ30を介して光ファイバ31に与えられる。
光ファイバ31ば偏光面保存型の単一モード光ファイバ
とし、その端部は測定すべき粒子が通過する被測定領域
にまで延長されている。被測定領域にはこのレーザ光を
分光して交叉させる光学手段を有するセンサ部32が設
けられる。センサ部32には光ファイバ3】の出力端に
そのレーザ光の偏光方向に基づいて二つのレーザビーム
に分光する偏光ビームスプリンタ33が設けられる。そ
してその一方の光行路には、ミラー34とレーザビーム
の偏光面を回転させて他方の偏光面を揃える偏光面回転
器35が設けられ、更にその出力となるレーザビームを
他方のレーザビーlえと共に集光させる集光レンズ37
が設けられる。又集光レンズ37の後方には干e縞領域
38からの散乱光を集光する集光レンズ39が設けられ
、その焦点位置に光ファイバ40の一端が固定されてい
る。光ファイバ40は散乱光を信号処理部に導くもので
あるので通常のマルチモード光ファイバを用いることが
できる。さて信号処理部50では光ファイバ40の出力
を電気信号に変換するアバランシェ型フォトダイオード
等の光電変換器51が設けられる。光電変換器51の出
力は増幅器52を介してバイパスフィルタ53に与えら
れる。バイパスフィルタ53は与えられた電気信号の高
周波成分のみを次段の周波数測定器54に与えるもので
ある。周波数測定器54は与えられた信号の周波数を測
定するものであって、信号を周波数領域において処理す
る周波数分析器でもよく、又時間領域において処理する
カウンタタイプや周波数負帰還を用いたF/V変換器で
あってもよい。周波数測定器54の出力は信号処理器5
5に与えられる。
信号処理器55は横ゼーマンレーザの二つのレーザビー
ムの周波数差に基づいて粒子pの速度及び方向を信号処
理によって出力するものであって、二つのレーザビーム
の周波数差を内部メモリに保持しておいてもよく、又第
4図に破線で示すように光電変換器24の二つの周波数
差の出力に基づいて信号処理するようにしてもよい。信
号処理器55の出力は表示器56に与えられて表示され
る。
次に本発明のレーザドツプラー速度針の動作について説
明する。第4図に示すように横ゼーマンレーザ20は周
波数Δfだけ異なり偏光方向が直交した二つのレーザビ
ームを出力しており、それらの二つのレーザビームは単
一モード光ファイバ31によってそのままセンサ部32
に与えられる。
センづ部32ではこれらのレーザビームを偏光ビームス
ブリック33によって分離する。即ち例えば図示のよう
に紙面に平行な1で表示したP偏光をそのまま通過させ
、・で表示したS偏光を偏光ビームスプリッタ33で反
射させミラー34に与える。ミラー34によって反射さ
れたS偏光のレーザ光は偏光面回転器35によってその
偏光面が回転されてP偏光に変換される。このようにし
て二つのレーデビーム36a、36bの偏光方向をそろ
えた後、前述したように集光レンズ37によって一点で
交叉するように集光させれば交叉領域3Bに干渉縞が得
られる。この干渉縞のピッチは横ゼーマンレーザ20の
レーザビームの周波数fl。
f2と交叉角度に対応したものとなっており、同時にそ
の干渉縞は横ゼーマンレーザ20における二つのレーザ
ビームの周波数差、即ち八fの周波数に対応して移動す
るものとなっている。従ってこの交叉領域38を粒子p
が通過すれば散乱光が集光レンズ37.39及び光ファ
イバ4oを介して信号処理部50の光電変換器51に与
えられるが、光電変換器51より得られる電気信号の周
波数は粒子pの速度及び方向に対応して異なるものとな
っている。例えば第5図に示すようにΔ「を中心として
その前後の周波数によって方向と速度とを判別すること
ができる。例えば第5図に示ずように光電変換器51の
出力信号のスペクトルSがシフト周波数Δfよりも低け
れば、第2図に示す拡大図において粒子pは交叉領域3
8の干渉縞部分をb方向に進行したものと考えられる。
そしてその速度はシフ1−周波数Δfからの差によって
検知することができる。又粒子pが交叉領域38をa方
向に進行した場合には、光電変換器51の出カスベクト
ルはシフト周波数Δfよりも大きなものとなっており、
その周波数差は粒子pの速度に対応している。このよう
な信号処理を信号処理器55によって行った後表示器5
6により粒子pの速度と方向を表示する。
尚前述したように信号処理器55に光電変換器24から
の二つの周波数差の信号を与えるようにした場合には、
横ゼーマンレーザ20の出力に微少な周波数変動があっ
ても正しい速度を表示することができる。即ちΔfが第
5図に破線で示すようにわずかにずれた場合には、それ
に対応して光電変換器51より与えられる信号の周波数
も同様に破線で信号スペクトルs1を示すようにずれる
こととなり、それらの間の周波数差は等しい。従って横
ゼーマンレーザの周波数変動を打ち消すことができるた
め、より精密な速度測定をすることが可能となる。
尚、本実施例は干渉縞を形成するレーザビームの後方に
散乱する散乱光を集光して検知信号として用いる後方散
乱型のレーザドツプラー速度計6ごついて説明した。こ
れは第3図に示すように発光部分と受光部分が一体にな
っているため取扱が容易であるが、SN比を高くし、よ
り強い散乱光強度を得るために光源となるレーザ光の前
方への散乱光を集光して信号とする前方散乱型のレーザ
ドツプラー速度針に適応することも可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第3図は従来のレーザドツプラー速度計を示
すブロック図、第2図はレーザビームの交叉領域にでき
る干渉縞の状態を示す図、第4図は本発明によるレーザ
ドツプラー速度計の構成の一実施例を示すブロック図、
第5図は光電変換器に得られる速度信号を示す検波出カ
スベクトル図である。 1−−−〜レーザ 20−−−横ゼーマンレーザ13、
 31−−一車一七−ト光ファイバ 10゜12 、 
33−−−一部光ビームスプリンタ 35−偏光面回転
器 37−−−−−−−集光レンズ 38− 交叉領域
 40−−−−一光ファイバ 50−一信号処理部 5
1−−−−一光電変換器 54−−周波数測定器 55
−−−−−一信号処理器特許出願人 日本科学工業株式
会社 代理人 弁理士 岡本宜喜(他1名) 第1図 第3図 第5図 太 0−一−−−−−→大 す方向 連d方向

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)互いに方向の異なる直線偏光特性を有し、所定の
    周波数差の二つの周波数成分を有するレーザ光を発する
    内部鏡型レーザ光源と、 前記レーザ光源のレーザ光がり、えられ、測定領域にま
    で延長された偏光面保存型の単一モー1′光フアイバと
    、 前記光フアイバ出力のレーザ光を偏光の相違tこ基づい
    て前記2つの成分に分光する偏光ビームスブリックと、 前記偏光ビームスプリンタの出方のいずれかのレーザビ
    ームの偏光方向を変え、他方のレーザビームの偏光方向
    に揃える偏光面回転器と、前記偏光面回転器より得られ
    るレーザビームと他方のレーザビームとを一点で交叉せ
    しめる光学手段と、 ゛ 前記交叉領域を通過する粒子がらの散乱光を電気信号に
    変換する光電変換器と、 前記光電変換器より得られるバースト信号の周波数を測
    定する周波数測定器と、 前記周波数測定器より得られる周波数を前記レーザ光源
    の周波数差と比較して粒子の速度を算出する演算手段と
    、を具備することを特徴とするレーザドツプラー速度計
  2. (2)前記気体レーザ光源は横ゼーマンレーザであるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレーザドツ
    プラー速度計。
  3. (3)前記演算手段には前記レーザ光源より得られる二
    つの周波数差の電気信号が与えられ、その信号を基準と
    して前記周波数測定器より得られる周波数を比較し速度
    を算出するものであることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項又は第2項記載のレーザドツプラー速度計。
  4. (4)前記光学手段は2つのレーザビームを集束する集
    束レンズであることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    から第3項のいずれか1項に記載のレーザトンプラー速
    度針。
JP18576583A 1983-10-03 1983-10-03 レ−ザドツプラ−速度計 Granted JPS6076679A (ja)

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JPH0115833B2 JPH0115833B2 (ja) 1989-03-20

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100568345B1 (ko) * 2001-11-21 2006-04-05 주식회사 포스코 단일 광섬유를 이용한 스트립 속도 측정장치
WO2008018001A3 (en) * 2006-08-09 2008-04-03 Koninkl Philips Electronics Nv Light-emitting apparatus, particularly for flow measurements
CN102854330A (zh) * 2012-09-07 2013-01-02 哈尔滨工程大学 光纤传输式声光调制激光多普勒相干探测仪
JP2022548307A (ja) * 2019-09-20 2022-11-17 エヌディーシー テクノロジーズ インコーポレイテッド レーザー干渉法システムおよび方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100568345B1 (ko) * 2001-11-21 2006-04-05 주식회사 포스코 단일 광섬유를 이용한 스트립 속도 측정장치
WO2008018001A3 (en) * 2006-08-09 2008-04-03 Koninkl Philips Electronics Nv Light-emitting apparatus, particularly for flow measurements
JP2010500086A (ja) * 2006-08-09 2010-01-07 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 特に流れの測定のための発光装置
CN102854330A (zh) * 2012-09-07 2013-01-02 哈尔滨工程大学 光纤传输式声光调制激光多普勒相干探测仪
JP2022548307A (ja) * 2019-09-20 2022-11-17 エヌディーシー テクノロジーズ インコーポレイテッド レーザー干渉法システムおよび方法

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