JPS6078255U - 荷重調整機構付き平面研磨皿 - Google Patents
荷重調整機構付き平面研磨皿Info
- Publication number
- JPS6078255U JPS6078255U JP1983168870U JP16887083U JPS6078255U JP S6078255 U JPS6078255 U JP S6078255U JP 1983168870 U JP1983168870 U JP 1983168870U JP 16887083 U JP16887083 U JP 16887083U JP S6078255 U JPS6078255 U JP S6078255U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adjustment mechanism
- load adjustment
- workpiece
- weight
- polishing dish
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 8
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の実施例で、第１図は研磨機概略図、第２
図は荷重調整機構付き平面研磨器の平面゛ 図、第３図
は側面図である。 図中、２は研磨板、３は平面研磨器、３′は空洞、４は
被研磨物、６は砥粒、７は案内溝、８は分銅、９はネジ
軸、１０はナツトである。
図は荷重調整機構付き平面研磨器の平面゛ 図、第３図
は側面図である。 図中、２は研磨板、３は平面研磨器、３′は空洞、４は
被研磨物、６は砥粒、７は案内溝、８は分銅、９はネジ
軸、１０はナツトである。
Claims (1)
- 回転する研磨板と、被研磨物との間に砥粒を介在させ、
前記被研磨物を回転保持すると共に、重りの荷重を加え
て被研磨物を研磨する研磨機の研磨皿に、重りの移動を
案内する案内溝を研磨皿の″回転中心から放射状に等間
隔で少くとも３本形成すると共に、その溝に対し、取付
位置を調整可能にした重りを配置したことを特徴とする
荷重調整機構付き平面研磨器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983168870U JPS6078255U (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 荷重調整機構付き平面研磨皿 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983168870U JPS6078255U (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 荷重調整機構付き平面研磨皿 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6078255U true JPS6078255U (ja) | 1985-05-31 |
Family
ID=30369068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983168870U Pending JPS6078255U (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 荷重調整機構付き平面研磨皿 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6078255U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4839034U (ja) * | 1971-09-07 | 1973-05-15 |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP1983168870U patent/JPS6078255U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4839034U (ja) * | 1971-09-07 | 1973-05-15 |
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