JPS6078654A - 空気の清浄化方法 - Google Patents
空気の清浄化方法Info
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- JPS6078654A JPS6078654A JP58186215A JP18621583A JPS6078654A JP S6078654 A JPS6078654 A JP S6078654A JP 58186215 A JP58186215 A JP 58186215A JP 18621583 A JP18621583 A JP 18621583A JP S6078654 A JPS6078654 A JP S6078654A
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 27
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000004887 air purification Methods 0.000 claims description 2
- 238000009738 saturating Methods 0.000 claims 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 abstract description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 abstract 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000001580 bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
- B03C3/01—Pretreatment of the gases prior to electrostatic precipitation
- B03C3/014—Addition of water; Heat exchange, e.g. by condensation
Landscapes
- Electrostatic Separation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、空気の粕汁化方法に関する。
近年超オ白密機械工業、電子関連工業及びバイオテクノ
ロジー関連設備では、大気中の微粒子数により製品の品
Ｊｌ管理か大巾に左右される。
ロジー関連設備では、大気中の微粒子数により製品の品
Ｊｌ管理か大巾に左右される。
このため、空気を清浄化した？ｉ８Ｊ浄な環境、クリー
ンルームが望まれている。
ンルームが望まれている。
従来、空気な清浄化する方法として−ｎｍｐＡフィルタ
ー（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕ
ｌａｔｅＡｉｒ Ｂ”１ｌｔｅｒ、約０．３μのガラス
繊維で作った一一材）を用い、この通過１ｌｉＩ種を非
常に大きくとり、ここを通過する空気の流速を１〜３ｍ
／ａｅｅとして微粒子を除去する方法が行なわれている
。この方法によれは０．５μの微粒子を約９９．９％以
上除去でき、きわめて性能が茜い。
ー（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕ
ｌａｔｅＡｉｒ Ｂ”１ｌｔｅｒ、約０．３μのガラス
繊維で作った一一材）を用い、この通過１ｌｉＩ種を非
常に大きくとり、ここを通過する空気の流速を１〜３ｍ
／ａｅｅとして微粒子を除去する方法が行なわれている
。この方法によれは０．５μの微粒子を約９９．９％以
上除去でき、きわめて性能が茜い。
ところで、ＬＳＩ製造工業では、技術進歩が着しく、１
９７０年のパターン寸法が１０μであったのが近年では
２〜３μとなっており、史に極小化が予想されている。
９７０年のパターン寸法が１０μであったのが近年では
２〜３μとなっており、史に極小化が予想されている。
しかし従米の方法では、１μ以下の粒子（サブミクロン
粒子）を菌効率で除去することはできす、これに対応す
ることが望まれていた。
粒子）を菌効率で除去することはできす、これに対応す
ることが望まれていた。
不発８）３は、このような挙怪に銀みてなされたもので
その目的とするところは、サブミクロン粒子を増粒化し
て効率よく除去１−ることかできる空気の詐ゴ浄化力法
を得んとするものである。
その目的とするところは、サブミクロン粒子を増粒化し
て効率よく除去１−ることかできる空気の詐ゴ浄化力法
を得んとするものである。
すなわち本発明ね、被清沖化空気を増湿飽和させた後水
蒸気を注入して水分過飽和空気となし、ついでこの空気
中の微粒子を核として過飽和水蒸気を凝縮させて増粒化
し、この増粒粒子を湿式′屯気集塵器で捕集した後除湿
することを特徴と１−る。
蒸気を注入して水分過飽和空気となし、ついでこの空気
中の微粒子を核として過飽和水蒸気を凝縮させて増粒化
し、この増粒粒子を湿式′屯気集塵器で捕集した後除湿
することを特徴と１−る。
以下本発明を図示する実施例を番照して説明する。
第１図に示すようにブロアー１により被清浄化空気２Ｉ
を吸引し、スクラバー３に導入する。
を吸引し、スクラバー３に導入する。
スクラバー３ではポンプ４１／こより水滴を噴霧して、
ここに尋人された被清浄化空気２Ｉを増湿飽和さぜる。
ここに尋人された被清浄化空気２Ｉを増湿飽和さぜる。
この後増湿飽オー空気２□を過飽和部５に廊きここで水
蒸気６を吹き込んで過飽和空気２ｓとし、欺軸顯粒部７
に醇く。ここでは、断熱冷却によりここに導かれた空気
中の粒子を核として水蒸気を凝縮し１粒子を成長させ、
増粒化する。次いで増粒粒子を含む空気２４を湿式電気
集展機８に尋き、循環ボンｆ９から水滴を”１４ 訪し
で粒子除去をおこなう。
蒸気６を吹き込んで過飽和空気２ｓとし、欺軸顯粒部７
に醇く。ここでは、断熱冷却によりここに導かれた空気
中の粒子を核として水蒸気を凝縮し１粒子を成長させ、
増粒化する。次いで増粒粒子を含む空気２４を湿式電気
集展機８に尋き、循環ボンｆ９から水滴を”１４ 訪し
で粒子除去をおこなう。
このようｒ（シで粕汁化された空気２．を除湿部１０に
等き、冷房用空気１１で冷却除湿した後、温ｒＳＥ制御
用菟調空気１２として使用する。
等き、冷房用空気１１で冷却除湿した後、温ｒＳＥ制御
用菟調空気１２として使用する。
なお図中１３は除湿用水分をスクラバー３に送る送液ポ
ンプ、１４Ｉｒｉ、余剰水の放流ラインである。
ンプ、１４Ｉｒｉ、余剰水の放流ラインである。
次に本発明の具体的実施例につき説明″′３−る。
第２図に示すように、混合器２０にへ２ （クリーンガ
ス）の増湿飽和ガスを約１００１７ｍ１ｎ供給するとと
もに、唄輯器から発生させた０、１０９μのＰ、 Ｓ、
Ｌ、標準粒子を吹き込んだ。次に過飽和部２１に心い
て水蒸気２２を供給し、過飽和水蒸気とした後、凝縮増
粒都２３に導いて増粒化し１次いで湿式゛亀気集組機ｚ
４ｖＬ尋いて除りし、除湿部２５で冷却除湿した。
ス）の増湿飽和ガスを約１００１７ｍ１ｎ供給するとと
もに、唄輯器から発生させた０、１０９μのＰ、 Ｓ、
Ｌ、標準粒子を吹き込んだ。次に過飽和部２１に心い
て水蒸気２２を供給し、過飽和水蒸気とした後、凝縮増
粒都２３に導いて増粒化し１次いで湿式゛亀気集組機ｚ
４ｖＬ尋いて除りし、除湿部２５で冷却除湿した。
この工程Ｖ（−おい又、水蒸気短な食缶させて、混合器
出口Ｃａ点）のＰ：Ｓ、Ｌ、粒子数と除湿部出口Ｃｂ点
）のＰ、 Ｓ、 Ｌ、粒子数とをそれぞれ１徂１ｊシ。
出口Ｃａ点）のＰ：Ｓ、Ｌ、粒子数と除湿部出口Ｃｂ点
）のＰ、 Ｓ、 Ｌ、粒子数とをそれぞれ１徂１ｊシ。
）’、 Ｓ、 Ｌ、除去率を調べた。その結果を第１表
に示す。
に示す。
また＆紬増粒部出口（０点）における粒子の粒径分布（
５０％Ｄ）を訂濁した。その結果を第２表に示す。
５０％Ｄ）を訂濁した。その結果を第２表に示す。
第２表
以上の結果から明らかなように本発明によれは％増粒化
してから除去するのでサブミクロ粒子をきわめて効率よ
く除去できる頗著な効果な努する。
してから除去するのでサブミクロ粒子をきわめて効率よ
く除去できる頗著な効果な努する。
第１図は１本発明に係る空気の笛浄化力法の一例を示す
説明図、第２図は本発明方法の具体的実施例の説明図で
ある。 ｌ・・・ブロアー、２．〜２．・・・被清浄化空気。 ３・・・スクラバー、４・・・ポンプ、５・・・過飽和
部、６・・・水蒸気、７・・・ｋ細増粒部、８・・・湿
式電気集肌払、９・・・循環ポンプ、１０・・・除湿部
、１１・・・冷房用空気、１２・・・空調空気、１３・
・・送液ポンプ、１４・・・放流ライン。
説明図、第２図は本発明方法の具体的実施例の説明図で
ある。 ｌ・・・ブロアー、２．〜２．・・・被清浄化空気。 ３・・・スクラバー、４・・・ポンプ、５・・・過飽和
部、６・・・水蒸気、７・・・ｋ細増粒部、８・・・湿
式電気集肌払、９・・・循環ポンプ、１０・・・除湿部
、１１・・・冷房用空気、１２・・・空調空気、１３・
・・送液ポンプ、１４・・・放流ライン。
Claims (1)
- 被消浄化を気を増湿飽和させた後水蒸気を注入して水分
過飽和空気となし、ついでこの空気中の微粒子を核とし
て過飽和水蒸気を凝縮させて増粒化し、この増粒粒子を
湿式電気集鵡器で捕集した後除湿することを特徴とする
空気の清浄化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58186215A JPS6078654A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 空気の清浄化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58186215A JPS6078654A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 空気の清浄化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6078654A true JPS6078654A (ja) | 1985-05-04 |
Family
ID=16184380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58186215A Pending JPS6078654A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 空気の清浄化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6078654A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63221822A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-14 | Kazuya Hayakawa | 液滴生成による空気浄化方法及び装置 |
| CN109622224A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-04-16 | 东南大学 | 一种电喷雾辅助细颗粒核化凝结的预处理装置和方法 |
-
1983
- 1983-10-05 JP JP58186215A patent/JPS6078654A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63221822A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-14 | Kazuya Hayakawa | 液滴生成による空気浄化方法及び装置 |
| CN109622224A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-04-16 | 东南大学 | 一种电喷雾辅助细颗粒核化凝结的预处理装置和方法 |
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