JPS6079805A - 電圧制御発振器における発振周波数調整方法 - Google Patents
電圧制御発振器における発振周波数調整方法Info
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- JPS6079805A JPS6079805A JP18591483A JP18591483A JPS6079805A JP S6079805 A JPS6079805 A JP S6079805A JP 18591483 A JP18591483 A JP 18591483A JP 18591483 A JP18591483 A JP 18591483A JP S6079805 A JPS6079805 A JP S6079805A
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- Japan
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- trimming
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- controlled oscillator
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title claims abstract description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 241001441724 Tetraodontidae Species 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/02—Details
Landscapes
- Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、電圧制御発振器における発振周波数の調整方
法に関するものである。
法に関するものである。
（従来技術）
従来の電圧制御発振器における発振周波数の調整方法に
ついて第１図に示す。第１図において、１は基板上に図
示しない電子部品を搭載して構成した電圧制御発振器、
ノー１は前記電圧制御発振器１を構成する基板上に形成
された発振周波数の調整用パターン（以下、単に調整用
パターンと称す）２は前記電圧制御発振器１の発振周波
数を測定する装置（以下、単に測定器と称す）、３はグ
ラインダーである。
ついて第１図に示す。第１図において、１は基板上に図
示しない電子部品を搭載して構成した電圧制御発振器、
ノー１は前記電圧制御発振器１を構成する基板上に形成
された発振周波数の調整用パターン（以下、単に調整用
パターンと称す）２は前記電圧制御発振器１の発振周波
数を測定する装置（以下、単に測定器と称す）、３はグ
ラインダーである。
一般に、この種の電圧制御発振器における初期発振周波
数は、電圧制御発振器を構成する基板上に形成されたパ
ターン幅と厚さ、更には搭載する電子部品、例えばコン
デンサ、トランジスタ、抵抗等の製造又は部品のバラツ
キによシ変動することが知られ、その変動量は時に８０
０ ＭＨｚ帯の電圧制御発振器において５０ ＭＨｚを
超える程の大きな場合もある。一方、電圧制御発振器に
要求される初期発振周波数の規格は極めて厳しく、例え
ば±］ ＭＨｚ以内に設定されることがある。したがつ
って、この種の電圧制御発振器においては発振周波数の
調整工程が必要不可欠なものとなっているのである。
数は、電圧制御発振器を構成する基板上に形成されたパ
ターン幅と厚さ、更には搭載する電子部品、例えばコン
デンサ、トランジスタ、抵抗等の製造又は部品のバラツ
キによシ変動することが知られ、その変動量は時に８０
０ ＭＨｚ帯の電圧制御発振器において５０ ＭＨｚを
超える程の大きな場合もある。一方、電圧制御発振器に
要求される初期発振周波数の規格は極めて厳しく、例え
ば±］ ＭＨｚ以内に設定されることがある。したがつ
って、この種の電圧制御発振器においては発振周波数の
調整工程が必要不可欠なものとなっているのである。
仁こで、雷、圧制御発振器の発振周波数は基本的には次
式でめられる。
式でめられる。
但し、ｆｏは発振周波数、πは円周率、Ｌはインダクタ
ンス、Ｃはキャパシタンスを示す。したがって、発振周
波Ｒｆｏの調整はインダクタンスＬをｊ！ｉＨｊ加して
発振周波数ｆＯを減少させることにより実現出来るとと
が知れ、電圧制御発振器を構成する基板上のパターンを
トリミング手法を用いて・ぐり−ン幅を切削すればよい
ことに庁る。
ンス、Ｃはキャパシタンスを示す。したがって、発振周
波Ｒｆｏの調整はインダクタンスＬをｊ！ｉＨｊ加して
発振周波数ｆＯを減少させることにより実現出来るとと
が知れ、電圧制御発振器を構成する基板上のパターンを
トリミング手法を用いて・ぐり−ン幅を切削すればよい
ことに庁る。
次に、第１図を用いて従来の電圧制御発振器における発
振周波数の調整について説明する。第１図で示す従来の
発振周波数の調整はトリミング手法であって、基板上に
形成したヌトリ、ｆ線路である調整用パターン１−１を
、作業者がグラインダー３を操作してトリミングし、所
望の発振周波数を得るのである。この時、作業者は測定
器２に表示される発振周波数の値を監視しんからグライ
ンダー３を操作し、調整用パターン１−１を除々に、何
回もトリミングすることになる。
振周波数の調整について説明する。第１図で示す従来の
発振周波数の調整はトリミング手法であって、基板上に
形成したヌトリ、ｆ線路である調整用パターン１−１を
、作業者がグラインダー３を操作してトリミングし、所
望の発振周波数を得るのである。この時、作業者は測定
器２に表示される発振周波数の値を監視しんからグライ
ンダー３を操作し、調整用パターン１−１を除々に、何
回もトリミングすることになる。
第２図は前記操作により一部分をトリミングした調整用
パターン１−１の一部拡大図であって、図中、１−２は
グラインダー３によりトリミンンされた部分を示すもの
である。
パターン１−１の一部拡大図であって、図中、１−２は
グラインダー３によりトリミンンされた部分を示すもの
である。
以上の如く、従来技術による発振周波数の調整は、グラ
インダー等の機械手段を用いて手動で行表われており、
したがって、精度の良いトリミングを行うことは困離で
、作業者の経験と勘に依存する部分も多かったのである
。このよう々ことから・ （１））ＩＪミング作業に熟練度を必要とする。
インダー等の機械手段を用いて手動で行表われており、
したがって、精度の良いトリミングを行うことは困離で
、作業者の経験と勘に依存する部分も多かったのである
。このよう々ことから・ （１））ＩＪミング作業に熟練度を必要とする。
（２）人に依存する為、工数が多く、量産に不向きであ
る。
る。
（３）人に依存する為、安定しまたトリミングが出来な
い。
い。
（４）トリミングによるパターンの切屑の処理が必要で
ある。
ある。
（５）トリミング処理の間、基板に高振動、衝撃が加わ
るので他の部品に悪影響を及ぼす。
るので他の部品に悪影響を及ぼす。
等、多くの問題点があった。
（発明の目的）
本発明は上述のよう々点を考慮して々されたものであっ
て、安定したトリミングが出来、電気特性の安定した、
しかも低コストで自動的に行える発し周波数の調整を実
現することを目的としたものである。
て、安定したトリミングが出来、電気特性の安定した、
しかも低コストで自動的に行える発し周波数の調整を実
現することを目的としたものである。
（発明の構成）
すなわち、この種の電圧制御発振器において、基板上に
形成されたストリップ状の調整パターンを、レーザを用
いて段階的にトリミングし、所望する初期発振周波数を
得るように構成したもので、これによって前述した目的
を達成出来るのである。
形成されたストリップ状の調整パターンを、レーザを用
いて段階的にトリミングし、所望する初期発振周波数を
得るように構成したもので、これによって前述した目的
を達成出来るのである。
以下、図面を用いて本発明を説明する。
（発明の実施例）
第３図は本発明に係る発振周波数の調整方法を説明する
図である。第３図において、２は第１図と同様に発振周
波数を測定する測定器であり、５は基板上に図示しない
電子部品を搭載して構成した電圧制御発振器であり、５
−１は前記電圧制御発振器５の発振周波数調整用のパタ
ーン（以下、単に調整用・母ターンと称す）である。６
は所望の発振周波数を得る為に・やターンをトリミング
するレーザ光を作成、発射するレーザ装置、７はあらか
じめ決められた手順によりシステム全体の制御を司どる
制御部である。
図である。第３図において、２は第１図と同様に発振周
波数を測定する測定器であり、５は基板上に図示しない
電子部品を搭載して構成した電圧制御発振器であり、５
−１は前記電圧制御発振器５の発振周波数調整用のパタ
ーン（以下、単に調整用・母ターンと称す）である。６
は所望の発振周波数を得る為に・やターンをトリミング
するレーザ光を作成、発射するレーザ装置、７はあらか
じめ決められた手順によりシステム全体の制御を司どる
制御部である。
次いで、本発明による発振周波数の調整方法についてみ
る。先ず、初期発振周波数を設定すべき電圧制御発振器
５をあらかじめ決められた所定位置にセットする。この
後、セットした電圧制御発振器５の初期発振周波数Ｆｏ
を測定器２を用いて測定する。この測定による結果が得
られると、制御部７はあらかじめ設定しである所望する
初期発し、その差Δｆを算出するとともに、この算出し
た差Δｆをあらかじめ設定しである第１の基準値、換言
すると、あらかじめ設定しである粗調整量ｆ＋ｓ例えｉ
’ｊ： ］ ＯＭＨｚとその大小を較べる。そして、制
御部７目算出した差Δｆが粗調整量ｆ１より大きい場合
にはレーザ装置６に対して制御命令を送り、粗調整用ト
リミング箇所、すなわち、調整用・ぐターン５−１上で
あらかじめ決められた単位面積を粗調トリミングするよ
うに指令する。これによってし〜ザ装置６は、レーザを
発射し、所定場所をトリミングすることになるが、この
時、レーザ装置６け調整用・ｅターフ５−１に対して非
接触であって、振動、衝撃を与えることはない。次いで
−、レーザによるトリミング後の発振周波数ＦＯ′を測
定し、規格値ＦＣとの差Δｆをめ、粗調整量ｆ１とその
大小を較べる。以下、差Δｆが粗調整Ｍｆ＋ より小さ
くなるまで上記動作を繰り返す。そして、前記差Δｆが
′Ｍｉ調整量ｆ１ より小さい場合、あるいは前記動作
の繰り返しにより小さくなると、制御部７はレーザ装置
６に対して制御指令を送り、微調整用トリミング箇所、
すなわち、調整用・ぐターン５−１上であらかじめ決め
られた単位面積をトリミングするように指令する。この
指令によって微″調トリミングが行々われるが、測定器
２はトリミングの都度、その時の発振周波数Ｆｏ″の測
定を行い、制御部７はその測定された発振周波数Ｆｏ″
と前記設定しである規格値Ｆｃとの比較を行う。これら
制御は、前記所望する初期発振周波数の規格値Ｆ。
る。先ず、初期発振周波数を設定すべき電圧制御発振器
５をあらかじめ決められた所定位置にセットする。この
後、セットした電圧制御発振器５の初期発振周波数Ｆｏ
を測定器２を用いて測定する。この測定による結果が得
られると、制御部７はあらかじめ設定しである所望する
初期発し、その差Δｆを算出するとともに、この算出し
た差Δｆをあらかじめ設定しである第１の基準値、換言
すると、あらかじめ設定しである粗調整量ｆ＋ｓ例えｉ
’ｊ： ］ ＯＭＨｚとその大小を較べる。そして、制
御部７目算出した差Δｆが粗調整量ｆ１より大きい場合
にはレーザ装置６に対して制御命令を送り、粗調整用ト
リミング箇所、すなわち、調整用・ぐターン５−１上で
あらかじめ決められた単位面積を粗調トリミングするよ
うに指令する。これによってし〜ザ装置６は、レーザを
発射し、所定場所をトリミングすることになるが、この
時、レーザ装置６け調整用・ｅターフ５−１に対して非
接触であって、振動、衝撃を与えることはない。次いで
−、レーザによるトリミング後の発振周波数ＦＯ′を測
定し、規格値ＦＣとの差Δｆをめ、粗調整量ｆ１とその
大小を較べる。以下、差Δｆが粗調整Ｍｆ＋ より小さ
くなるまで上記動作を繰り返す。そして、前記差Δｆが
′Ｍｉ調整量ｆ１ より小さい場合、あるいは前記動作
の繰り返しにより小さくなると、制御部７はレーザ装置
６に対して制御指令を送り、微調整用トリミング箇所、
すなわち、調整用・ぐターン５−１上であらかじめ決め
られた単位面積をトリミングするように指令する。この
指令によって微″調トリミングが行々われるが、測定器
２はトリミングの都度、その時の発振周波数Ｆｏ″の測
定を行い、制御部７はその測定された発振周波数Ｆｏ″
と前記設定しである規格値Ｆｃとの比較を行う。これら
制御は、前記所望する初期発振周波数の規格値Ｆ。
を満足するまで繰り返えされる。
第４図は、前記トリミングにより周波数調整のされた調
整用パターン５−１の一例を示す一部拡大図であって、
図中５−２．５−３はトリミングされた部分を示し、こ
こではトリミングは調整用ノやターン５−１土に格子状
に行なわれた例が示されている。
整用パターン５−１の一例を示す一部拡大図であって、
図中５−２．５−３はトリミングされた部分を示し、こ
こではトリミングは調整用ノやターン５−１土に格子状
に行なわれた例が示されている。
第５図は以上述べた所望の初期発振周波数を得る為の動
作、制御手順を示す流れ図であり、これに基いて発振周
波数調整の為のプログラムを作成し、それをあらかじめ
制御部ｚ内に格納し、測定器２、レーザ装置６、制御部
７を連動させ、電圧制御発振器５のセット等も併せて制
御すれば、人手を介す°ることなく連続して大量の電圧
制御発振器の初期量波数調整の自動化が実現出来ること
は明らかである。
作、制御手順を示す流れ図であり、これに基いて発振周
波数調整の為のプログラムを作成し、それをあらかじめ
制御部ｚ内に格納し、測定器２、レーザ装置６、制御部
７を連動させ、電圧制御発振器５のセット等も併せて制
御すれば、人手を介す°ることなく連続して大量の電圧
制御発振器の初期量波数調整の自動化が実現出来ること
は明らかである。
なお、以上の説明では測定器とレーザ装置と制御部とを
個別に扱ったが、個々の機能を寄せ集め、１つの装置と
して構成し、使用してもよいことは説明する寸でもない
。
個別に扱ったが、個々の機能を寄せ集め、１つの装置と
して構成し、使用してもよいことは説明する寸でもない
。
（発明の効果）
以」＝、詳細に説明したように本発明に係るトリミング
手法を用いた周波数調整の方法によれば、周波数調整の
為のトリミングはレーザを用いる構成であるので、調整
用の・ｐターンとは非接触でトリミングが実施出来、し
たがって、振動、衝撃の発生はなく他の部品への影響は
生ぜず、しかも微小な調整量を限られたパターンスペー
ス内での実現可能で、熟練者を必要とせずに精度の高い
安定したトリミングが出来るのである。更に、測定器と
レーザ装置と制御部とを組み合わせ、連動させることに
より調整用ノぐターンのトリミング及びトリミング後の
発振周波数の測定を自動的に行う初期発振周波数の自動
調整も実現出来る等の優れた効果が期待出来るのである
。
手法を用いた周波数調整の方法によれば、周波数調整の
為のトリミングはレーザを用いる構成であるので、調整
用の・ｐターンとは非接触でトリミングが実施出来、し
たがって、振動、衝撃の発生はなく他の部品への影響は
生ぜず、しかも微小な調整量を限られたパターンスペー
ス内での実現可能で、熟練者を必要とせずに精度の高い
安定したトリミングが出来るのである。更に、測定器と
レーザ装置と制御部とを組み合わせ、連動させることに
より調整用ノぐターンのトリミング及びトリミング後の
発振周波数の測定を自動的に行う初期発振周波数の自動
調整も実現出来る等の優れた効果が期待出来るのである
。
第１図は従来の電圧制御発振器における発振周波数の調
整方法を説明する図、紀２図は調整用・ぐターンの一部
拡大図、第３図は本発明に係る発振周波数の調整方法を
説明する図、第４図は調整用・ぐターンの一部拡大図、
第５図は本発明に係る発振周波数の調整方法の流れを示
すチャート図である。 １．５は電圧制御発振器、１−１．５−１は調整用・ぐ
ターン、２は測定器、３はグラインダー、６はレーザ装
置、７は制御部である。 特許出願人 沖電気工業株式会社 第５図 手続補正書（峠） ］ 事件の表示 昭和５８年 特 許 願第１８５９１４ 号２ 発明の
名称 電圧制御発振器における発振周波数調整方法３ 補正を
する者 事件との関係 特許出願人 任 所（〒１０５） 東京都港区虎ノ門１丁目７番１２
号名称（０２９） 、５中電気工業株式会社代表者 取
締役社長橋本南海男 ４代理人 住 所（〒１０５） 東京都港区虎ノ門１丁目７番１２
号５ 補正の対象 明細書中「特許請求の範囲」の欄、
「発明の詳細な説明」の欄及び曲面「第５、図」° 補
？）ＭＶ 、、、紙。よおシ 、゛゛６６補正容 （１）明細書中「特許請求の範囲」の欄を別紙のとおシ
補正する。 （２）同書第９頁第１５行目に「パターンス被−ス内で
の」とあるのを「パターンス被−ス内において」と補正
する。 （３）図面「第５図」を別紙のとおシ補正する。 別紙 ２ 特許請求のｊ（Ｎ、囲 所望する初期発振周波数の許容差のある規格値と、粗調
整量を示す基準値とを設定し、組立て後に１ｊｌｌ力了
した発振周波数の値が前記規格値との比較において、そ
の差が前記基準値以上の場合にはその値が前記基準値以
下に々るまで・ぐターン」二の粗調整用地所をトリミン
グし、次いで、トリεフグ後の測定により発振周波数の
値が基′Ａ（値以下になった場合には、以後、規格値と
の比較を行い、その差が該規格値の許容範囲内と々る丑
でパターン上の微調整用箇所をトリミングすることだよ
り所望の初期発振周波数を得ることを特徴とした電圧制
御発振器における発振周波数調整方法。
整方法を説明する図、紀２図は調整用・ぐターンの一部
拡大図、第３図は本発明に係る発振周波数の調整方法を
説明する図、第４図は調整用・ぐターンの一部拡大図、
第５図は本発明に係る発振周波数の調整方法の流れを示
すチャート図である。 １．５は電圧制御発振器、１−１．５−１は調整用・ぐ
ターン、２は測定器、３はグラインダー、６はレーザ装
置、７は制御部である。 特許出願人 沖電気工業株式会社 第５図 手続補正書（峠） ］ 事件の表示 昭和５８年 特 許 願第１８５９１４ 号２ 発明の
名称 電圧制御発振器における発振周波数調整方法３ 補正を
する者 事件との関係 特許出願人 任 所（〒１０５） 東京都港区虎ノ門１丁目７番１２
号名称（０２９） 、５中電気工業株式会社代表者 取
締役社長橋本南海男 ４代理人 住 所（〒１０５） 東京都港区虎ノ門１丁目７番１２
号５ 補正の対象 明細書中「特許請求の範囲」の欄、
「発明の詳細な説明」の欄及び曲面「第５、図」° 補
？）ＭＶ 、、、紙。よおシ 、゛゛６６補正容 （１）明細書中「特許請求の範囲」の欄を別紙のとおシ
補正する。 （２）同書第９頁第１５行目に「パターンス被−ス内で
の」とあるのを「パターンス被−ス内において」と補正
する。 （３）図面「第５図」を別紙のとおシ補正する。 別紙 ２ 特許請求のｊ（Ｎ、囲 所望する初期発振周波数の許容差のある規格値と、粗調
整量を示す基準値とを設定し、組立て後に１ｊｌｌ力了
した発振周波数の値が前記規格値との比較において、そ
の差が前記基準値以上の場合にはその値が前記基準値以
下に々るまで・ぐターン」二の粗調整用地所をトリミン
グし、次いで、トリεフグ後の測定により発振周波数の
値が基′Ａ（値以下になった場合には、以後、規格値と
の比較を行い、その差が該規格値の許容範囲内と々る丑
でパターン上の微調整用箇所をトリミングすることだよ
り所望の初期発振周波数を得ることを特徴とした電圧制
御発振器における発振周波数調整方法。
Claims (1)
- 所望する初期発振周波数の許容差のある規格値と、粗調
整ルを示す基準値とを設定し、組立て後に測定した発振
周波数の値が前記規格値との比較において、その差が前
記基準値以上の場合にはその値が前記基準値以下になる
までｉＥターン上の粗調整用箇所をトリミングし、次い
で、トリミング後の測定により発振周波数の値が基準値
以下に々っだ場合には、以後、規格値との比較を行い、
その差が該規格値の許容範囲内となる丑でパターン上の
微調整用箇所をトリミングするととにより所望の初期発
振周波数を得ることを特徴とした電圧制御発振における
発振周波数調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18591483A JPS6079805A (ja) | 1983-10-06 | 1983-10-06 | 電圧制御発振器における発振周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18591483A JPS6079805A (ja) | 1983-10-06 | 1983-10-06 | 電圧制御発振器における発振周波数調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6079805A true JPS6079805A (ja) | 1985-05-07 |
Family
ID=16179084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18591483A Pending JPS6079805A (ja) | 1983-10-06 | 1983-10-06 | 電圧制御発振器における発振周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6079805A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5122058A (ja) * | 1974-08-20 | 1976-02-21 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | |
| JPS5417693A (en) * | 1977-07-08 | 1979-02-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Composite piezoelectric vibrator unit |
| JPS59134904A (ja) * | 1983-01-24 | 1984-08-02 | Nec Corp | 電圧制御発振器 |
-
1983
- 1983-10-06 JP JP18591483A patent/JPS6079805A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5122058A (ja) * | 1974-08-20 | 1976-02-21 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | |
| JPS5417693A (en) * | 1977-07-08 | 1979-02-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Composite piezoelectric vibrator unit |
| JPS59134904A (ja) * | 1983-01-24 | 1984-08-02 | Nec Corp | 電圧制御発振器 |
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