JPS6080238A - パツケ−ジ型回路素子の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はパッケージ型回路素子の検査装置に関する。

品質保証性に優れ且つ経済性に富んだＩＣ，ＬＳＩ等の
回路素子を製造するためには、正確且つ迅速な検査が重
要である。ところが、実装密度が高くて端子数も多いパ
ッケージ型回路素子、その内でもフラットパッケージ型
回路素子（ＦＰＥ）においてはその取扱い性に困難性を
伴なうことが多く、従来、必ずしも、効率的な検査を行
うことのできる装置はなかった。これは、パッケージ型
回路素子と検査回路との位置決め精度が厳密に要求され
るにもかかわらず、検査回路に供給する前段階としてパ
ッケージ型回路素子の位だ決めを正確に行なえ得る検査
装置がなかったからである。

特に、フラットパッケージ型回路素子では、その規格も
なく、回路素子の取扱い等を一層困難なものとさせてい
た。

本発明の目的は、パッケージ型回路素子を検査回路と接
続して検査する際のパッケージ型回路素子の位置決めを
１人手を煩わせることなく、容易旦つ正確に行うことの
できるパッケージ型回路素子の検査装置を提供すること
にある。

そのため本発明は、所定の検査位置に位置決めされたパ
ッケージ型回路素子の複数端子の夫々に検査回路を接続
して検査するパッケージ型回路素子の検査装置において
、パッケージ型回路素子を前記検査位置に正確に位置決
め保持する検査位置決め部材と、この検査位置決め部材
に先立ってパッケージ型回路素子を前記検査位置決め部
材による正確な位置決め範囲よりは広い所定の範囲内の
姿勢に位置決め保持する準備位置決め部材と。

を所定間隔だけ離れて配設し、かつ、パッケージ型回路
素子を着脱可能に吸着保持する吸Ｈａが前記配設間隔と
等しい間隔で配されているとともに前記間隔を往復手段
により往復動されながらパッケージ型回路素子を前記間
隔毎に順次搬送する搬送装置を設け、この搬送装置によ
りパッケージ型回路素子を、まず、前記準備位置決め部
材にて、検査位置においてめられる位置決め範囲よりは
広い範囲に位置決めした後、次いで、前記検査位置決め
部材により正確な位置決めを行うようにし、別言すれば
、前記検査位置決め部材およびこれに先立つ準備位置決
め部材により少しづつ正確な位置決めを行いながら搬送
するようにして、前記目的を達成しようとするものであ
る。

以下１本発明の実施例を図面に基いて説明する。

ｆｆ５１図には本発明によるパッケージ型回路素子の検
査装置の一実施例の全体ｍ成が示されており、図中左側
が供給側であり、右側が排出側である。供給側には回路
素子保持盤収納体１ｏが配置され、この回路素子保持盤
収納体１ｏには複数の回路素子保持盤２０が収納されて
いる０回路素子保持盤収納体１０にｌｌ＃接して配置さ
れたＸ−Ｙテーブル３０には固定手段４ｏが備えられ、
この固定手段４０により回路素子保持盤２ｏがｘ−ｙテ
ーブル３０上に固定されるようになっている。また、回
路素子保持盤収納体１ｏからＸ−Ｙテーブル３０への回
路素子保持盤２ｏの移動は引出手段５０により行なわれ
るようになっている。Ｘ−Ｙテーブル３０上に固定され
た回路素子保持盤収納体１０はＸ−Ｙテーブル３ｏとと
もに、互いに直交する２方向（Ｘ、Ｙ方向）に沿って適
宜移動可能とされており、回路素子保持盤収納体１０に
複数配列保持されたフラットパッケージ型のパッケージ
型回路素子６ｏの１つが特定位置に位置決めされるよう
になっている。

前記特定位置に位置決めされたパッケージ型回路素子６
０は、ハンドラー７０により着脱可能に保持されて、第
１の準備位置決め部材８ｏへと移送されるようになって
いる。このｆｆ１ｌの準備位置決め部材８０の検査位置
側（排出側）にはｔ５２の準備位置決め部材９０．検査
位置決め部材ｉ。

１．第１の排出側位置決め部材１１０．ｆｆ１２の排出
側位置決め部材１２０．および第３の排出側位置決め部
材１１０がこの記載順序に従って且つ互いに等しい所定
間隔を隔てて一直線状に配列されている。一方、これら
各位置決部材８０　、９０　。

１００．１１０，１２０，１３０１７）図中上方側には
搬送装置１２１４０が備えられている。この搬送装置１
４０は、パッケージ型回路素子６０を着脱自在に保持し
ながら前記所定間隔と等しい距離だけ前記配列方向に沿
って往復移動しながらパッケージ型回路素子６０を第１
の準備位置決め部材８０から第３の排出側位置決め部材
１１０へと順次搬送する装置である。

本検査装置の排出側には、前記Ｘ−Ｙテーブル３０と同
様に構成される排出側のＸ−Ｙテーブル１５０が配置さ
れ、このＸ−Ｙテーブル１５０上に載置固定された回路
素子保持盤２０上には排出側のハンドラー１６０により
パッケージ型回路素子６０が戻されるようになている。

また、Ｘ−Ｙテーブル１５０に隣接して排出側の回路素
子保持盤収納体１７０が備えられている。この回路素子
保持盤収納体１７０は前記回路素子保持盤収納体ｌＯと
同様に構成され、前記引出手段５０と同様に構成される
戻し手段１８０によりＸ−Ｙテーブル１５０上の回路素
子保朽盤２０が回路素子保持盤収納体１７０へと戻され
るようになっている。

第３の排出側位置決め部材１１０のさらに排出側には前
記所定間隔と等しい間隔を隔てて不合格品収容部１９０
が配置されている。ここにおいて、前記検査位置決め部
材１００上に位置決めされて保持されたパッケージ型回
路素子６０は、その各端子が検査回路２００の各検査端
子と接続されて通電されることにより検査されるよう構
成されており、合格品は前記搬出側■回路素子保持盤収
納体１７０へと収納されるが、不合格品は不合格品収容
部１９０へと収容されるよう即ち１合否判別されるよう
になっている。

第２図には前記位置決め部材８０，９０，１００．１１
０，１２０，１３０および搬送装置１４０が示されてい
る。この図において、前記位置決め部材８０，９０，１
００．ｌｌｏ、１２０，１３０は前記基台２６」二の所
定高さ位置に水平に固定された基盤ｊ８１の上端面に互
いの間隔が等しくなるよう（一定ピツチで）直線状に配
列されている。

これらの内、検査位置決め部材１００は、第３図にも拡
大して示されるように、保持用孔部１８２を有している
。この保持用孔部１８２には、回路素子６０の本体部６
０Ａが挿入されるとともに、孔部１８２の周縁部が端子
保持部１８２Ａとされており、この端部保持部１８２Ａ
上に回路素子６ｏの端子６０Ｂが保持されるようになっ
ている。また２位置決め部材１００にはヒータ１９１が
備えられ、このヒータ１９１により回路素子６０の加熱
下における検査が行なえるようになっている。

この保持用孔部１８２を右する検査位置決め部材１００
は、台座部１８３を介して昇降板１８４（第２．３図参
照）上に載置されている。この渭降板１８４は通常は前
記基盤１８１と等しい高さ位置に配置されているが、検
査時においては昇降板１８４の下部側に設けられた図示
しない検査用昇降手段により上昇させられて、昇降板１
８４の上部側の所定高さ位置に設けられた前記検査回路
２００（第１図参照）へと供給されて保持用孔部−ジ型
回路素子６０の各端子は検査回路２００の各検査端子と
接続されて検査電流が通電されて検査が行なわれるよう
になっている。

基盤１８１上に載置された第１の準備位置決め部材８０
および第２の準備位置決め部材９０は前記検査位に決め
部材１００と略同様に形成され、夫々がパッケージ型回
路素子６０を保持する保持用孔ｍ　１９２　、１９３　
ヲ有１：テイルカ、ｔ５２ノｔＰ＝備位置決め部材９０
の保持用孔部１９３はｔｊＳ４図に示されるように、前
記検査位置決め部材１００の保持用孔部１８２よりも更
に所定範囲だけ大きく（広く）形成され、また、第１の
準備位置決め部材８０の保持用孔部１９２にあっては、
第５図に示されるように、ｉ２の準備位置２決め部材９
０の保持用孔部１９３よりも更に所定範囲だけ大きく形
成されている。従って、パッケージ型回路素子６０が第
１の準備位置決め部材８０から第２の準備位置決め部材
９０を経て検査位置決め部材１００へと順次移行される
に従いパッケージ型回路轡２ＲＯ礒Ｃｉｌｌ’　ＴＩＥ
　ｅ’　１１１１片格器９番めされるようになっている
、なお、保持用孔部１９２，１９３の周縁部にも夫々端
子保持部１９２Ａ、１９３Ａが設けられている。また、
各孔部１９２，１９３の底部側には夫々ヒータ１９１が
配されており、検査位置に至る前に回路素子６０が加熱
されるようになっている。

一方、検査位置決め部材１００の排出側に設けられたｆ
ｉＳ１〜第３の排出側位置決め部材１１０゜１２０．１
３０も夫々検査位置決め部材１００と略同様に構成され
、夫々が保持用孔部１９４．１９５．１９６を有してい
るが、これら保持用孔部１９４〜１９Ｇ内に保持される
パッケージ型回路素子６０は既に検査済のパッケージ型
回路素子６０であるため、４．シに正確に位置決めする
必要性は低く、検査位置決め部材ｌＯＯの保持用孔部１
８２よりもやや大きく形成されている。

これら位置決め部材８０，９０，１００，１１０．１２
０，１３０間にパッケージ型回路素子６０を順次移動さ
せる前記搬送装置１４０は、長尺な丸軸材よりなる搬送
部材２０１を有し、この搬送部材２０１は前記位と決め
部材８０，９０，１００．１１０，１２０，１３０の配
列方向に泊って配置され、且つ、所定間隔毎に設けられ
た軸受２０２を介して前記基盤１８１上に軸方向往復移
動可能且つ軸中心反転移動可能に支持されている。また
、この搬送部材２０１は回動手段２１０により軸中心反
転（回動）されるとともに、往復７段２２０により軸方
向に往復移動されるようになっている。

搬送部材２０１にはその長手方向に沿って所定間隔イσ
に複数の吸着アーム２３１が取付けられている。これら
吸着アーム２３１は第６図にも示されるように締付片２
３２により搬送部材２０１の６１１方向と直交する方向
に沿って固定されている。また、各吸着アーム２３１の
先端部の下端面側には図中下方側に向って吸着盤２３３
が夫々取付けられている。吸着盤２３３は伸縮自在な蛇
腹ゴム管とこの蛇腹ゴム管の周囲を囲む圧縮コイルばね
を有しており、伸縮可能で且つ復元力を有するよう構成
されている。また、吸着アーム２３１内には一端側が前
記吸着盤２３３に連通し他端側か吸着アーム２３１の基
端側（第６図中右方側）にて開口する空気流路２３４が
設けられており、この空気流路２３４はチューブ取付管
２３５を介してこの空気流路２３４に連通される樹脂チ
ューブ等により吸引ポンプ等の負圧源に連通され、前記
負圧源が作動するときには各吸着盤２３３には夫々パッ
ケージ型回路素子６０が着脱自在に吸着されるようにな
っている。更にまた、各吸着アーム２３１の先端の吸着
盤２３３の間隔は前記位置決め部材８０，９０，１００
，１１０，１２０．１３０相互間の間隔と等しい間隔と
されている。

第７，８図には前記回動手段２１０が示されている。こ
れらの図において、回動手段２１０は回動用駆動モータ
２４１を有し、この回動用駆動モータ２４１は取付板２
４２を介して前記基ｆｉ１８１の下端面側に取付けられ
ている。モータ２４１の出力軸は鉛直方向とされ、この
出力軸には１組の歯車組２４３を介してカム軸２４４の
一端側が連結されている。カム軸２４４は両端が軸受２
４５を介して前記取（−１板２４２に鉛直方向に治って
回転自在に支持されるとともに、その中間部の所定位置
には回動用カム２４６が取付けられている。

回動片カム２４６は偏心カムであり、カム面には当接ロ
ーラ２４７を介してＬ字型の回動用カムフォロワ２４８
の一端部が当接されている。この回動片カムフォロワ２
４８はその角部においてカムフォロワ数句板２４９の支
軸２５１に回転自在に支持されている。また、この回動
用カムフォロワ２４８の一辺側の所定位置には取付軸２
５２を介して回動片２５３が回転自在に取４＝Ｊけられ
ている。

前記回動用カムフォロワ２４８の他端側には圧縮コイル
ばね２５４の一端が取付けられ、この圧縮コイルばね２
５４の他端はばね取付板２５５を介して固定側である基
盤１８１に取引けられている。従って、前記ばね取付板
２５５により回動用カムフォロワ２４８は、支＠ｂ２５
１を回動中心として第８図中反時計方向へと常に回動す
るよう付勢されている。一方、回動片２５３と回動用カ
ムフォロワ２４８とは圧縮コイルばね２５６により連結
され、従って１回動用カムフォロワ２４８の先端部側と
回動片２５３の先端側とは夫々互いに近接する方向に付
勢されている。

これら互いに近接する方向に付勢されたカムフォロワ２
４８と回動片２５３の画先端部には夫々軸受ローラ２５
７が回転自在に取付は−られており、これら軸受ローラ
２５７間には所定の長さの丸軸材よりなる上下動軸２６
１が抑圧挟持されている。この上下動軸２６１の両端部
は、第６図にも示されるように、取付片２６２を介して
前記搬送部材２０１に固定されており、上下動軸２６１
が上下移動すると搬送部材２０１は軸中心反転（回動）
するようになっている。また、上下動軸２６１は前記一
対の軸受ローラ２５７に挟持された状態でその長手方向
に泊って移動可能とされている。ここにおいて、前記回
動用駆動モータ２４１により回動用カム２４Ｂが回動さ
れると、この回動用カム２４６のカム面に当接するよう
構成された回動用カムフォロワ２４８により、回動用カ
ムフォロワ２４８と回動片２５３との間に挟まれた前記
上下動軸２６１が上下動して搬送部材２０１がその軸中
心に回転するようになっている。なお、カム軸２４４に
はカム１ｌｉｂ　２４４の回転角度、別言すれば回動用
カム２４６の回転角度、更に別言すれば、搬送部材２０
１の回動角度を検知する回動角度検出器２６３が設けら
れている。

第９〜１１図には前記往復手段２２０が示されている。

これらの図において、往復手段用基台２７１は前記基台
２６上の所定高さ位置に固定され、この往復手段用基台
２７１上に立設された取付板２７２には往復用駆動モー
タ２７３が固定されている。往復用駆動モータ２７３の
出力軸にはプーリ２７４が取付けられ、ブー９２７４に
巻掛けらえた駆動用ベルト２７５は、往復用、回転軸２
７６の一端に取付けられたプーリ２７７に巻掛けられて
いる。往復用回転軸２７６は両端側が夫々油受２７８を
介して前記取付板２７２に鉛直方向に沿った状態で軸中
心回転自在に支持されている。

往復用回転軸２７６の上端には往復用回転軸２７６の回
転角度位置を検出する回転角度検出器２７９が備えられ
るとともに、一方、下端には取付部２８１を介して揺動
レバー２８２の基端側が固定されている。この揺動レバ
ー２８２の先端部には係合ローラ２８３が取付けられ、
係合ローラ２８３は、スライダ２８４の上端面に形成さ
れた係合溝２８５内に摺動自在に挿入されている。

スライダ２８４は、スライダボックス２８６の一側に取
付けられ、このスライダボックス２８６は、前記搬送部
材２０１の長手方向に沿って取付台２８７を介して往復
手段用基台２７１上に固定された丸軸材状のスライダ案
内レール２８８により、前記長手方向に沿って摺動自在
に案内されている。従って、揺動レバー２８２が往復用
回転軸２７６を揺動中心として揺動運動されると、これ
に伴ない、スライダ２８４およびスライダボックス２８
６はスライダ案内レール２８８に案内されながら往復ｉ
！Ｉ！動するよう構成されている。なお。

第２図に示されるようにスライダポ・ンクス２８６と前
記回動片２５３とは長尺な圧縮コイルばね２８９により
結合され、これにより、係合ローラ２８３と係合溝２８
５とのがたつきが防止されている。

また、スライダ２８４の先端側には搬送部材２０１の一
端部が取付は位置変位不能且つ軸中心回転可能に取イ・
ｊけられており、スライダ２８４がスライダ案内レール
２８８に沿って往復移動されると、搬送部材２０１も同
時に往復移動されるようになっている。なお、第２．９
図中符合２９１は揺動レバー２８２の揺動角度を規ル１
するストッパーである。

このような本実施例によれば、一定間隔（一定ピツチ）
に配設された順次高精度位Ｍ快めを行う各位置決め部材
８０，９０，１００と、一定ピツチ毎に回路素子６０を
移送する位相装２ｉ１４０と、いう簡単な構成によって
、検査上必要な高精度な位置づけを容易に実現すること
ができる。しかも１位置決め部材８０，９０．１００を
正確に配置させる以外には、特に高精度な構成が要求さ
れないという効果がある。

また、回路素子６ｏを第１の順次位ご決め部材８０に供
給する際には正確に位置決めする必要がないため、Ｕ（
船側に特に高精度な装置をイＩすることなくして全自動
化、無人化を達成しゃすい。

更に、検査回路２００の位２決め部材１１０゜１２０を
検査回路２００前の位置決め部材８０゜９０と対称的に
配設してあり、主要部を共通としながら、合否判断し且
つ合格品についてｊ±整列回収することも容易な構造と
なっている。

更にまた、被検査体であるパッケージ型回路素子６０の
形式、形状等を変更した場合にも、単に位置決め部材８
０，９０，１００．１１０　１２０を交替すれば、他に
改変を有することなく、異なる回路素子についての検査
を行うことができ、拡大適用性に富んでいる。

また、ヒータ１９１により加熱下における検査を行うこ
とができ、検査態様についての拡大もできるようになっ
ている。

また、搬送装置１４０は吸着盤２３３により回路素子６
０を吸着させる方式であるため、この点からも、種々の
形式等の回路素子６ｏに容易に適用できるとともに、搬
送に際して回路素子６ｏを損傷したり、汚したりするこ
とがない、また、搬送装置１４０は揺動レバー２８２に
よる往復回動力式であり、ストッパ２９１も設けらえて
いるところから、一定ピ）チの往ｕｌ運動を行うことが
容易且つ確実である。

なお、実施にあたり、同一の位置決め部材を夫々複数個
づつ配設し、且つ、吸着盤２３３の数もそれに応じて増
設した構造として、複数の回路素子６０を同時検査可能
な構造としてもよい。

また、ヒ〜り１９１は必ずしも必要ではないが、位置決
め部材８０，９０，１００の少なくとも何れか１つにヒ
ータ１９１を設けられていれば、加熱下における回路素
子６ｏの検査を行なうことができる。また、前記実施例
では２つの準備位置決め部材８０．９０が設けられてい
たが、ただ１つの準備位置決め部材が設けられていても
よいし、或いはまた３例以上の準Ｉｎ位区決め部材が設
けられているもであってもよい、また、前記パッケージ
型回路素子６ｏはフラットパッケージ型であったがこれ
に限らずデュアルパッケージ型等他の型式のパッケージ
型回路素子であってもよい。

上述のように本発明によれば、パッケージ型開ｉ１８素
子を検査回路と接続して検査する際のパッケージ型回路
素子の位置決めを人手を煩わせることなく容易且つ正確
に行なうことのできるパッケージ型回路素子の検査装置
をを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るパッケージ型回路素子の検査装置
の一実施例の概略的全体構成を示す平面図、第２図は前
記実施例における搬送装置１４０を示す平面図、第３図
は前記実施例における検査位置決め部材１００を示す拡
大断面図、第４図および第５図は夫々第１および第２の
準備位置決め部材を示す拡大断面図、第６図は前記搬送
装ｆｉｔ４０における吸着アーム２３１を示す一部を切
欠いた側面図、ｉ’５７図および第８図は夫々前記実施
例における回動手段２１０を示す正面図および一部を切
欠いた側面図、第９図および第１Ｏ図は夫々前記実施例
における往復手段２２０を示す平面図および一部を切欠
いた側面図、ｔ５１１図は前記往復手段２２０の要部を
示す一部を切欠いた正面図である。 ｌＯ・・・回路素子保持盤収納体、２０・・・回路素子
保持盤、３０・・・Ｘ−Ｙテーブル、４０・・・固定手
段、５０・・・引出子役、６０・・・パッケージ型回路
素子、７０・・・ハンドラー、８０・・・ｊｌＱｌの準
備位置決め部材、９０・・・第２の準備位置決め部材、
１００・・・検査位置決め部材、１１０・・・第１の排
出側位置決め部材、１２０・・・第２の排出側位置決め
部材、１３０・・・第３の排出側位置決め部材、１４０
・・・搬送装置、１５０・・・Ｘ−Ｙテーブル、１６０
・・・ハンドラー、１７０・・・回路素子保持盤収納体
、１８０・・・戻し手段、１９０・・・不合格品収容部
、２００・・・検査回路、２０１・・・搬送部材、２１
０・・・回動手段、２２０・・・往復手段、２８２・・
・揺動レバー、２８４・・・スライダ、２８５・・・係
合溝部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）所定の検査位置に位置決めされたパッケージ型回
   路素子の複数端子の夫々に検査回路を接続して検査する
   パッケージ型回路素子の検査装置において、パッケージ
   型回路素子を前記検査位置に正確に位置決め保持する検
   査位置決め部材とこの検査位置決め部材に先立ってパッ
   ケージ型回路素子を前記検査位置決め部材による正確な
   位置決め範囲よりは広い所定の範囲内の姿勢に位置決め
   保持する準備位置決め部材と、が所定間隔だけ離れて配
   設され、かつ、パッケージ型回路素子を着脱可能に吸着
   保持する吸着盤が前記配設間隔と等しい間隔で配されて
   いるとともに前記間隔を往復手段により往復動されなが
   らパッケージ型回路素子を前記間隔毎に順次搬送する搬
   送装置が設けられていることを特徴とするパッケージ型
   回路素子の検査装置。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記準備位置決
   め部材に更に先立ってパッケージ型回路素子を更に広い
   所定範囲内の姿勢に保持する単数若しくは複数の準備位
   置決め部材が前記所定間隔だけ離れて配設され、一方、
   前記搬送部材には前記位置決め部材の数に対応する数の
   吸着盤が設けられていることを特徴とするパッケージ型
   回路素子の検査装置。 （３）特許請求の範囲第１項または第２項において、前
   記往復手段は、前記搬送部材に固定された係合溝と、先
   端側がこの係合溝内に摺動自在に係合し旦つ所定角度範
   囲内を往復回動する揺動レバーと、を備えていることを
   特徴とするパッケージ型回路素子の検査装置。 （４）特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかにお
   いて、前記１位置決め部材の少なくとも一部にはパッケ
   ージ型回路素子を加熱するヒータが付設されていること
   を特徴とするパッケージ型回路素子の検査装置。