JPS6080656U - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JPS6080656U JPS6080656U JP17271583U JP17271583U JPS6080656U JP S6080656 U JPS6080656 U JP S6080656U JP 17271583 U JP17271583 U JP 17271583U JP 17271583 U JP17271583 U JP 17271583U JP S6080656 U JPS6080656 U JP S6080656U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- electron beam
- lens
- excitation
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はレンズ電流の正逆切換えに伴うヨーク内磁束密
度のヒステリシス特性を示すための図、第２図は本考案
の一実施例を示すための図、第３図は第２図に示した一
実施例装置の各回路よりの出力信号を例示するための図
である。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：対物レンズ、４：試
料、５：偏向コイル、６：走査信号発生回路、７：陰極
線管、８：二次電子検出器、９：励磁゛電源、１０，１
２：スイッチ回路、１１：補助信号発生回路、１３：励
磁電流調節回路、１４，１６：切換信号発生回路、１５
，１７：オンオフスイッチ。
度のヒステリシス特性を示すための図、第２図は本考案
の一実施例を示すための図、第３図は第２図に示した一
実施例装置の各回路よりの出力信号を例示するための図
である。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：対物レンズ、４：試
料、５：偏向コイル、６：走査信号発生回路、７：陰極
線管、８：二次電子検出器、９：励磁゛電源、１０，１
２：スイッチ回路、１１：補助信号発生回路、１３：励
磁電流調節回路、１４，１６：切換信号発生回路、１５
，１７：オンオフスイッチ。
Claims (3)
- （１）電子銃よりの電子線を細く絞って試料に照射する
ための複数段の電子レンズより成るレンズ系と、該レン
ズ系によって絞られた電子線を二次元的に走査するため
の走査手段と、該走査に同期して走査され検出信号の供
給に基づいて試料像を表示するための表示装置と、前記
複数段の電子レンズ間相互の軸を合わせるための手段と
、該軸合わせに際して励磁電源から電子レンズに供給す
る電流の向きを正逆切換えるための極性反転手段とを備
えた装置において、該励磁電源は該対物レンズの焦点を
合わせるために任意の励磁電流を供給するための第１の
電源と１、電子レンズの励磁履歴を同一にするための一
定の励磁電流を発生する補助用の第２の電源とから成り
、前記電子レンズを該第１、第２の電源間で切換接続す
るための手段を具備していることを特徴とする電子線装
置。 - （２）前記極性反転手段による極性の反転に伴なって、
自動的に該電子レンズを該第２の電源に一定時間接続し
た後、該第１の電源に接続するための手段を具備する実
用新案登録請求の範囲第（１）項記載の電子線装置。 - （３）該極性反転手段を周期的に作動させるための手段
を具備する実用新案登録請求の範囲第（１）項記載の電
子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17271583U JPS6080656U (ja) | 1983-11-08 | 1983-11-08 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17271583U JPS6080656U (ja) | 1983-11-08 | 1983-11-08 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6080656U true JPS6080656U (ja) | 1985-06-04 |
| JPH0228601Y2 JPH0228601Y2 (ja) | 1990-07-31 |
Family
ID=30376418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17271583U Granted JPS6080656U (ja) | 1983-11-08 | 1983-11-08 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6080656U (ja) |
-
1983
- 1983-11-08 JP JP17271583U patent/JPS6080656U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0228601Y2 (ja) | 1990-07-31 |
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