JPS6082808A - 角度検出装置 - Google Patents
角度検出装置Info
- Publication number
- JPS6082808A JPS6082808A JP19111383A JP19111383A JPS6082808A JP S6082808 A JPS6082808 A JP S6082808A JP 19111383 A JP19111383 A JP 19111383A JP 19111383 A JP19111383 A JP 19111383A JP S6082808 A JPS6082808 A JP S6082808A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- analyzer
- angle
- light
- rotary
- transmitted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/344—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using polarisation
- G01D5/345—Polarising encoders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は回転体の回転角、ロボットハンドの回動角等を
光学的に検出する角度検出装置に関する。
光学的に検出する角度検出装置に関する。
従来から偏光子と検光子によって光を偏光させ。
その透過強度を測定することによシ回転体の回転角を検
出する角度検出装置が知られている。しかし、このよう
な装置においても単に偏光子と検光子とを1枚ずつ用い
ているため、透過強度が回転角180°を1周期として
サインカーブを描き、したがって角度が一義的に定まる
範囲は06〜90°で。
出する角度検出装置が知られている。しかし、このよう
な装置においても単に偏光子と検光子とを1枚ずつ用い
ているため、透過強度が回転角180°を1周期として
サインカーブを描き、したがって角度が一義的に定まる
範囲は06〜90°で。
検出範囲が狭いという欠点があった。
本発明は上述したような点に鑑みてなされたもので、角
度を検出しようとする対称物に取付けた偏光板に複数の
偏光を照射し、その透過光の光の強さを測定するという
極めて簡単な構成により、対称物の回転角を広範囲にわ
たって一時的に検出し得るようにした角度検出装置を提
供するものである。
度を検出しようとする対称物に取付けた偏光板に複数の
偏光を照射し、その透過光の光の強さを測定するという
極めて簡単な構成により、対称物の回転角を広範囲にわ
たって一時的に検出し得るようにした角度検出装置を提
供するものである。
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第1図は本発明に係る角度検出装置の第1実施例を示す
概略構成図である。同図において、1は第1の偏光手段
としての検光子、2は第2の偏光手段としての偏光板で
、検光子1は回転軸等の回転体Aに直接取付けられるか
もしくは適宜な回転伝達機構を介して回転体の回転変位
を受けるように配設されている。前記偏光板2は偏光方
向が−定角度ずつずれた3枚の偏光板2A、2B、2C
からなシ、前記検光子1と平行に対向して配設されてい
る。この場合、各偏光板2A、2B、2Cの偏光方向は
、+z、rラジアン(rad)に設定さ3 れている。
概略構成図である。同図において、1は第1の偏光手段
としての検光子、2は第2の偏光手段としての偏光板で
、検光子1は回転軸等の回転体Aに直接取付けられるか
もしくは適宜な回転伝達機構を介して回転体の回転変位
を受けるように配設されている。前記偏光板2は偏光方
向が−定角度ずつずれた3枚の偏光板2A、2B、2C
からなシ、前記検光子1と平行に対向して配設されてい
る。この場合、各偏光板2A、2B、2Cの偏光方向は
、+z、rラジアン(rad)に設定さ3 れている。
前記偏光板2の左方には各偏光板2A、2B、2Cに対
応して3個の光源3A、3B、3Cと、これらの光源3
A、 3B 、 3Cから放射された光7a、7b、7
cを各偏光板2A、2B、2Cに垂直に導く3本の出射
用光ファイバー4A、4B、4Cとが配設されている。
応して3個の光源3A、3B、3Cと、これらの光源3
A、 3B 、 3Cから放射された光7a、7b、7
cを各偏光板2A、2B、2Cに垂直に導く3本の出射
用光ファイバー4A、4B、4Cとが配設されている。
一方、前記検光子1の右方には各光源3A、3B、3C
から放射され各偏光板2A、 2B 、 2Cおよび該
検光子1を透過した光8a、8b、9cをそれぞれ受光
し、電気信号に変換する3個の光電変換器5A、 5B
、 5Cと、前記透過光8a、8b、8cをそれぞれ各
光電変換器5A、5B。
から放射され各偏光板2A、 2B 、 2Cおよび該
検光子1を透過した光8a、8b、9cをそれぞれ受光
し、電気信号に変換する3個の光電変換器5A、 5B
、 5Cと、前記透過光8a、8b、8cをそれぞれ各
光電変換器5A、5B。
5Cに導く3本の入射用光ファイバー6A、6B、6C
とが配設されている。なお、9はレンズである。
とが配設されている。なお、9はレンズである。
このような構成からなる角度検出装置において。
各光源3A、3B、3Cから放射され出射用光ファイバ
ー4A、4B、4Cから出射した光7a、7b、7eが
各偏光板2A、2B、2Cおよび検光子1を透過し、そ
の透過光8a、8b、8cを入射用光ファイバー6A、
6B 。
ー4A、4B、4Cから出射した光7a、7b、7eが
各偏光板2A、2B、2Cおよび検光子1を透過し、そ
の透過光8a、8b、8cを入射用光ファイバー6A、
6B 。
6Cで光電変換器5A、 5B 、 5CK導き、その
強度を検出すると、検光子1の回転角に応じてそれぞれ
異なり、第2図に示すように60度ずつ位相のずれた曲
線I、n、]Hが得られる。ここで1曲線■は透過光8
aの強度変化を示し1回転体Aの回転角度が0°で検光
子1の偏光方向が偏光板2人のそれと一致する時および
回転体Aが180°回転した時において最大強度となり
、回転体Aが90°と270°回転しだ時最小になる。
強度を検出すると、検光子1の回転角に応じてそれぞれ
異なり、第2図に示すように60度ずつ位相のずれた曲
線I、n、]Hが得られる。ここで1曲線■は透過光8
aの強度変化を示し1回転体Aの回転角度が0°で検光
子1の偏光方向が偏光板2人のそれと一致する時および
回転体Aが180°回転した時において最大強度となり
、回転体Aが90°と270°回転しだ時最小になる。
曲線■は透過光8bの強度変化を示し、回転体Aが12
0°と300°回転した時最大で530°と210°回
転した時最小の値をとる。そして、曲線■は透過光8C
の強度変化を示し、回転体Aが60°と240°回転し
た時最大で、150°と330°回転した時最小となる
。
0°と300°回転した時最大で530°と210°回
転した時最小の値をとる。そして、曲線■は透過光8C
の強度変化を示し、回転体Aが60°と240°回転し
た時最大で、150°と330°回転した時最小となる
。
このように、各透過光8a、8b、8cの強度は検光子
1の回転角に応じて変化するので、各強度を測定するこ
とKよシ回転体Aが何度回転したかを0゜〜180°の
範囲で一義的に検出することができる。
1の回転角に応じて変化するので、各強度を測定するこ
とKよシ回転体Aが何度回転したかを0゜〜180°の
範囲で一義的に検出することができる。
この場合、各光電変換器5A、5B、5Cからの電気信
号をマイクロコンピュータ等で処理すれば1回転角の自
動検出および表示が可能であシ、また強度の増減を考慮
すれば正逆回転も判別し得る。
号をマイクロコンピュータ等で処理すれば1回転角の自
動検出および表示が可能であシ、また強度の増減を考慮
すれば正逆回転も判別し得る。
第3図は本発明の第2実施例を示す概略構成図である。
この実施例は検光子1の外周部にそれぞれ180°の範
囲で円弧状の遮光部10と透光部11を形成すると共に
光源12.光電変換器13.出射用光ファイバー14お
よび入射用光ファイバー15からなる1組の光路系を前
記検光子1の外周部に対応して付加した点が上記実施例
と異なるだけで、他は全て同一である。光源12から放
射された光16は検光子1が00〜180°まで回転す
る間道元部11を透過して光電変換器13によシ受光さ
れ、180°〜360°の範囲では遮光部10によって
遮ぎられるため、光電変換器13によって検出される光
16の強度は第2図に示す折線■となる。したがって、
このような構成によれば折線■と前述した3つの曲線I
〜■の強度変化によシ、回転体Aの回転角を0〜2πの
範囲で一義的に検出することが可能となる。
囲で円弧状の遮光部10と透光部11を形成すると共に
光源12.光電変換器13.出射用光ファイバー14お
よび入射用光ファイバー15からなる1組の光路系を前
記検光子1の外周部に対応して付加した点が上記実施例
と異なるだけで、他は全て同一である。光源12から放
射された光16は検光子1が00〜180°まで回転す
る間道元部11を透過して光電変換器13によシ受光さ
れ、180°〜360°の範囲では遮光部10によって
遮ぎられるため、光電変換器13によって検出される光
16の強度は第2図に示す折線■となる。したがって、
このような構成によれば折線■と前述した3つの曲線I
〜■の強度変化によシ、回転体Aの回転角を0〜2πの
範囲で一義的に検出することが可能となる。
また、例えば一つの光源から分割されたものとして基準
光路を構成する光源17と光電変換器18を配置すれば
、各信号の相対強度を測定することができ正確な計測を
行うこともできる。
光路を構成する光源17と光電変換器18を配置すれば
、各信号の相対強度を測定することができ正確な計測を
行うこともできる。
第4図は本発明の第3実施例を示す概略構成図である。
この実施例は第1の偏光手段としての検光子1をその回
転中心を中心とする3つの同心円状に区画し、その夫々
の領域を偏光方向が60°ずつずれた3つの偏光板IA
、IB、ICとし、光源3に第2の偏光手段としての偏
光板2を配設して直線偏光光源とし、この直線偏光光源
3からの光を偏波面保存光ファイバー20でビームスプ
リンタ21に導き、このビームスプリンタ21によって
分割された3つの光線22a 、 22b 、 22c
を各偏光板IA、IB、ICに垂直に導いてこれら偏光
板IA、、IB、1Cを透過させ、その透過光を各光電
変換器5A。
転中心を中心とする3つの同心円状に区画し、その夫々
の領域を偏光方向が60°ずつずれた3つの偏光板IA
、IB、ICとし、光源3に第2の偏光手段としての偏
光板2を配設して直線偏光光源とし、この直線偏光光源
3からの光を偏波面保存光ファイバー20でビームスプ
リンタ21に導き、このビームスプリンタ21によって
分割された3つの光線22a 、 22b 、 22c
を各偏光板IA、IB、ICに垂直に導いてこれら偏光
板IA、、IB、1Cを透過させ、その透過光を各光電
変換器5A。
5B、5Cで検出するようにしたものである。
このような構成においても回転体Aの回転角を0°〜1
800の範囲で一義的に検出し得ることは明らかであろ
う。また、偏光板1人の外周に第3図に示した遮光部1
0と透光部11を設けると共にこれに対応して光源およ
び光電変換器を付加すれば、00〜3600の範囲で回
転角を一義的に検出することができる。
800の範囲で一義的に検出し得ることは明らかであろ
う。また、偏光板1人の外周に第3図に示した遮光部1
0と透光部11を設けると共にこれに対応して光源およ
び光電変換器を付加すれば、00〜3600の範囲で回
転角を一義的に検出することができる。
第5図は本発明の第4実施例を示す概略構成図である。
この実施例は第1の偏光手段として3つの同心円状をな
す3つの偏光板IA、IB、ICからなる検光子1を用
い、第2の偏光手段としての偏光板2を前記検光子1の
偏光板1人に対応して配設し、これら両偏光板1人、2
間に分波器としてのプリズム30を配設し、このプリズ
ム30によシ光源3からの光を分光し、各偏光板IA、
IB、ICを透過させるように構成したものである。プ
リズム30によって分光され各偏光板IA、IB、IC
を透過した各透過光31a、 31b、 31cはそれ
ぞれ異なった特定の単一波長を有し、これらを一旦合波
器32によシ合成し、光ファイバー33で分波器34に
導く。分波器34に導かれた合成波は再び前記透過光3
1a、 31b、 31cと同一の単一波長を有する3
つの光に分光された後、図示しない3つの光電変換器に
それぞれ導かれる。
す3つの偏光板IA、IB、ICからなる検光子1を用
い、第2の偏光手段としての偏光板2を前記検光子1の
偏光板1人に対応して配設し、これら両偏光板1人、2
間に分波器としてのプリズム30を配設し、このプリズ
ム30によシ光源3からの光を分光し、各偏光板IA、
IB、ICを透過させるように構成したものである。プ
リズム30によって分光され各偏光板IA、IB、IC
を透過した各透過光31a、 31b、 31cはそれ
ぞれ異なった特定の単一波長を有し、これらを一旦合波
器32によシ合成し、光ファイバー33で分波器34に
導く。分波器34に導かれた合成波は再び前記透過光3
1a、 31b、 31cと同一の単一波長を有する3
つの光に分光された後、図示しない3つの光電変換器に
それぞれ導かれる。
なお、本発明は上記実施例に特定されるものではなく、
これら実施例を組合わせたシあるいはまた第1.第2実
施例においては第1偏光手段と第2偏光手段もしくは光
源と光電変換器の配設位置を逆にするなど種々の変更が
可能である。
これら実施例を組合わせたシあるいはまた第1.第2実
施例においては第1偏光手段と第2偏光手段もしくは光
源と光電変換器の配設位置を逆にするなど種々の変更が
可能である。
以上説明したように本発明に係る角度検出装置は、複数
の偏向光を角度を検出しようとする対象物に取付けた検
光子に照射し、ある瞬間におけるその透過光の光の強さ
を各別に検出するように構成したので、対象物の回転角
を広い範囲に亘って一義的に検出することができ、また
構造簡易にして検出精度も良好である。
の偏向光を角度を検出しようとする対象物に取付けた検
光子に照射し、ある瞬間におけるその透過光の光の強さ
を各別に検出するように構成したので、対象物の回転角
を広い範囲に亘って一義的に検出することができ、また
構造簡易にして検出精度も良好である。
第1図は本発EAK係る角度検出装置の第1実施例を示
す概略構成図、第2図は回転角と光の強度の関係を示す
図、第3図は本発明の第2実施例を示す概略構成図、第
4図は本発明の第3実施例を示す概略構成図、第5図は
本発明の第4実施例を示す概略構成図である。 1・・・・第1の偏光手段、IA、IB、IC?・・・
偏光板、2・・・・第2の偏光手段、2A、2B2C・
・・・偏光板、3 、3A、3B、3C・・・・光源、
5A、5B、5C・・・・光電変換器、10・・・・遮
光部、11・・・・透光部、12・・・・光源、13・
・・・光電変換器、21・・・・ビームスプリンター、
30・・・・プリズム、A・・・・回転体。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社
す概略構成図、第2図は回転角と光の強度の関係を示す
図、第3図は本発明の第2実施例を示す概略構成図、第
4図は本発明の第3実施例を示す概略構成図、第5図は
本発明の第4実施例を示す概略構成図である。 1・・・・第1の偏光手段、IA、IB、IC?・・・
偏光板、2・・・・第2の偏光手段、2A、2B2C・
・・・偏光板、3 、3A、3B、3C・・・・光源、
5A、5B、5C・・・・光電変換器、10・・・・遮
光部、11・・・・透光部、12・・・・光源、13・
・・・光電変換器、21・・・・ビームスプリンター、
30・・・・プリズム、A・・・・回転体。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社
Claims (1)
- 複数の偏光を角度を検出しようとする対象物に取付けた
検光子に照射し、ある瞬間におけるその透過光の光の強
さを各別に検出して前記対象物の角度を測定するように
したことを特徴とする角度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19111383A JPS6082808A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 角度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19111383A JPS6082808A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 角度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6082808A true JPS6082808A (ja) | 1985-05-11 |
Family
ID=16269072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19111383A Pending JPS6082808A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 角度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6082808A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0246892A3 (en) * | 1986-05-21 | 1988-03-23 | British Aerospace Public Limited Company | Optical position transducer |
| JPH04152214A (ja) * | 1990-10-17 | 1992-05-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 防爆温度補償型光学式エンコーダ |
| JPH04152209A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 防爆型光学式エンコーダ |
| JPH04152208A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 防爆型光学式エンコーダ |
| EP2388557A1 (fr) * | 2010-05-21 | 2011-11-23 | Codechamp | Capteur optique de position angulaire absolue utilisant la technique de la polarimétrie |
| JP2015200675A (ja) * | 2011-10-31 | 2015-11-12 | 日本精工株式会社 | 光学スケールの製造方法 |
| CN114383760A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-22 | 厦门大学 | 一种力学参数的测量装置和测量方法 |
-
1983
- 1983-10-13 JP JP19111383A patent/JPS6082808A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0246892A3 (en) * | 1986-05-21 | 1988-03-23 | British Aerospace Public Limited Company | Optical position transducer |
| JPH04152209A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 防爆型光学式エンコーダ |
| JPH04152208A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 防爆型光学式エンコーダ |
| JPH04152214A (ja) * | 1990-10-17 | 1992-05-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 防爆温度補償型光学式エンコーダ |
| EP2388557A1 (fr) * | 2010-05-21 | 2011-11-23 | Codechamp | Capteur optique de position angulaire absolue utilisant la technique de la polarimétrie |
| FR2960292A1 (fr) * | 2010-05-21 | 2011-11-25 | Codechamp | Capteur optique de position angulaire absolue utilisant la technique de la polarimetrie |
| JP2015200675A (ja) * | 2011-10-31 | 2015-11-12 | 日本精工株式会社 | 光学スケールの製造方法 |
| JP2015200677A (ja) * | 2011-10-31 | 2015-11-12 | 日本精工株式会社 | 光学スケール及び光学式エンコーダ |
| CN114383760A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-22 | 厦门大学 | 一种力学参数的测量装置和测量方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4682024A (en) | Laser radiation warning sensor utilizing polarization | |
| US5424535A (en) | Optical angle sensor using polarization techniques | |
| GB1348978A (en) | Infrared technique for measuring a parameter eg thickness of a thin film | |
| US3877816A (en) | Remote-angle-of-rotation measurement device using light modulation and electro-optical sensors | |
| JPS6082808A (ja) | 角度検出装置 | |
| US3635552A (en) | Optical interferometer | |
| US5017777A (en) | Diffracted beam encoder | |
| JP2000131193A (ja) | 光モジュールの消光比測定装置 | |
| JPH11101739A (ja) | エリプソメトリ装置 | |
| JPH01250778A (ja) | 光学検出装置 | |
| JPH0419522B2 (ja) | ||
| JP2890699B2 (ja) | 非接触式配向計 | |
| JPH0462003B2 (ja) | ||
| JPS60129645A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
| JPS62178208A (ja) | 光チヨツパ装置 | |
| JPH0339736Y2 (ja) | ||
| SU1534300A1 (ru) | Устройство контрол оптических световозвращателей | |
| JPH045142B2 (ja) | ||
| SU539288A1 (ru) | Оптико-электронное измерительное устройство | |
| JPS6267409A (ja) | 光フアイバを用いたエンコ−ダ | |
| JP3209550B2 (ja) | 偏光度測定器 | |
| JPH032401B2 (ja) | ||
| JPS6290547A (ja) | 光応用計測装置 | |
| SU883875A1 (ru) | Устройство дл дистанционного контрол положени объектов | |
| SU1397720A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь |