JPS6083036A - 電子写真感光体の製造方法 - Google Patents

電子写真感光体の製造方法

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Publication number
JPS6083036A
JPS6083036A JP19022583A JP19022583A JPS6083036A JP S6083036 A JPS6083036 A JP S6083036A JP 19022583 A JP19022583 A JP 19022583A JP 19022583 A JP19022583 A JP 19022583A JP S6083036 A JPS6083036 A JP S6083036A
Authority
JP
Japan
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soln
layer
drum
sic
sic layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP19022583A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsutomu Otake
大竹 勉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp, Suwa Seikosha KK filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP19022583A priority Critical patent/JPS6083036A/ja
Publication of JPS6083036A publication Critical patent/JPS6083036A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
    • G03G5/04Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/08Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、金属面−Fに炭化シリコン(以下では8iC
とかく)粒子を含む溶液を塗布し加熱乾燥して、Si0
層を形成し、その上にアモルファスシリコン(以下でけ
α−8jと書く)層を形成することにより、低コヌトで
しかも耐刷性とNi(熱性の優ねた電子写真感光体の製
造方法に関する。
逓年a−8iを用いた電子写真Iじ光体が注目を集めて
いる。a−8i感光体はエリ在主流となっているセレン
系の感光体に比べて、耐熱性に非常に優れている。すな
わち、セレン系の感光体では60〜70°Cで感光層が
結晶化し+3→能を失うが、a−si感光体は約200
℃までの温+=、 vc 1liIえられる。
またα−8i感光体セレン系r2光体に比べ硬度が太き
く耐刷性にも優れている。
このようにa、−sj感光体は従来のセレン系感光体に
比べて非常に優れた点をイIする反面、成膜速度が遅い
為、製造時間が是〈かかり製造コストが高くなるという
欠点を有している。
たとえば、セレン系感光体では20〜60分間に60〜
80μm成膜できる。一方a−8i感光体で(dセレン
系感光体での60〜80μmの厚さの將性と同等の特性
f得るのに20〜30μmの厚さでよい。しかし、その
厚さですら成膜時間は90〜120分を必要とする。
このように製造時間が長いこと1−tz産する場合には
製造コストが高くなり非常に不利である。
本発明はかかる欠点を除去したものであって、その目的
とするところは、n−8i感光体の長所を生かしつつ、
成膜時間を短縮し、製造コストを下げることにある。
本発明の詳細について実施例をもって説明する、実施例 有機性高分子のバインダーに2〜10’trmの粒径を
もつsjc粉を混合する。組成化はsicが50〜80
%とする。これをイ1磯溶液、たとえばアルコール、エ
ステル、ケトン等に浴解し、810粒子を含む溶液を作
製する。
次に感光ドラムの支持体となるアルミのドラムを100
0〜200Or、 p、η7で回転させつつ、その表面
に前記溶液をスプレーする。10〜20秒スプレーをし
、1分子lil放置して乾燥させ、またスプレーを行な
う。これを3〜4回繰り返しアルミの表面に20μ票く
らいの厚さに前述の溶液を塗布する。
次に、この感光ドラムを400〜500℃の真空炉に入
れ、アルゴンガス、又は窒素ガスを20〜50Torr
の圧力になるように流しつつ約20分間加熱する。
この工程により、バインダーと4:剤のほとんどが蒸発
し、アルミ円筒異面に約10〜15μmのSiC層が形
成される。
さらに、この840層の表面に通常a−8i感光体の製
造に用いられるプラズマCVD法によって6〜5μフル
のa−8iPiを形成して本発明の感光体が完IJyす
る。
上記実施例の中で述べた溶液の塗布法には、スプレーの
仙に、細かいメツシュのシート上に溶液をつけたローラ
を転がし、シートに溶液を含浸させたのち、その上にア
ルミ支持体を転がして塗布する印刷法、あるいはアルミ
ナ支持体のドラムを高回転(3000〜5000 r、
 7)、 tn、 )させ、その表面に溶液を落して塗
布する回転塗布法等も第11用できる。
第1図d本発明の感光体の構造’r ffJi面の一部
を用いて表わしだ図である。同図において11はアルミ
支持体、12はSiC層、そして13はα−sj層であ
る。a−EEi層はわずかにホウ素がドープされP形半
導体となっている。
a−3iの表面が正電荷によって帯電している場合を考
える。ここに、矢印への方向から可視領域の光を照射す
ると、a、−8iTrj吸収係数が大きいので、表面か
ら1μm以内で行とんどの光が吸収され、電子正孔対を
生成する。帯1yによって、BiC層12とa−8i 
15の中には電界が形成されているので、発生したηイ
子けrt、−si内を辿って表面に向かい帯面々荷を中
和する。一方、発生した正孔はσ−8i13と多結晶B
i 12を通ってアルミ支持体11に達する。したがっ
て、見かけ上α−8iの表面からアルミ支持体に向かっ
て?lj流が流り1、帯電々荷は消える。
以上で動作について説明しだが、第1の構造では、α−
SZが電荷発生層、S7:CR・9が電荷輸送層として
の機能を果している。
SiC層はもともと1013Ω−cm程度の高11(抗
を有する半導体で返るが数PPMのホウ素をドープした
場合には10′4〜10”Q−αに達する。このように
E3i0層が非常に高抵抗k 7j’e L、第1図の
構造で1KV以上の帯電に耐えられる。
電荷発生層−〇−siであるから、a−8i感光体のも
つ可視領域に広い感度をもつという和点け、そのまま促
っていみ。このように本発明によって得られる感光体は
従来のa−si感光体のl時機をそのままイnuえてい
る。
しかも実M4例かられかるように、本発明では、SiC
粒子を含む溶液の塗布と乾燥で約20分、プラズマCv
Dの工程で約30分の剖50分で雷、子写真感光体を構
造することができる。これは従来のa−si感光体の製
造時間90〜120分に比べれば約半分の時間である。
製造時間が半分になれば、機械償却費が半分になり、コ
ストの低下は大きい。さらに塗布という向岸な方法によ
って、感光体の7〜8割をつけることになり、プラズマ
CVD装置という高価な装置l=1:を使う時間が少な
くてすむので投資金額が少ない。
またSiCとσ、−sjけ共にセレンに比べ、ピッカス
硬変を有する材料である。しかも熱的な安定性もセレン
が60〜70℃以下が限界であるのに対して150℃以
上で非常に高い。
したがって本発明の雫子写直感光体は、従来の感光体に
比べiii、I熱性、面1刷性ともにすぐれており組子
′グJ「感光体としての利用価値は大微い。
4 図面のfガ【単なΔシ明 第1図は本発明の感光体の4M浩を凹面の一部によって
表わした図である。
11・・・・・・アルミ支持体 12・・・・・・sic層 13・・・・・・a、−si絆 以 上 出願人 株式会社 諏訪精工舎 代理人 弁理士 最 ト 務 第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 金属面上に形成した電子写真感光体において、金属面上
    に炭化シリコン粒子を含む溶液を重布し、加熱乾燥して
    炭化シリコン層を形成したのち、前記岸化シリコン層の
    上にアモルファスシリコン層を形成することf特徴とす
    る冴子写前感光体の製造方法。
JP19022583A 1983-10-12 1983-10-12 電子写真感光体の製造方法 Pending JPS6083036A (ja)

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