JPS6083298A - 消去可能読出し専用記憶素子 - Google Patents
消去可能読出し専用記憶素子Info
- Publication number
- JPS6083298A JPS6083298A JP58191617A JP19161783A JPS6083298A JP S6083298 A JPS6083298 A JP S6083298A JP 58191617 A JP58191617 A JP 58191617A JP 19161783 A JP19161783 A JP 19161783A JP S6083298 A JPS6083298 A JP S6083298A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage area
- standard
- memory cell
- cell array
- additional
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C17/00—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
Landscapes
- Read Only Memory (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(21)発明の技術分野
本発明は齋替え可能の読出し専用記憶素子(E−FRO
M)の改良に関する。
M)の改良に関する。
(bl 技術の背景
llPROMは胱出し専用記憶素子(ROM)の動作電
源をオフとしても記憶する情報を損失することなく繰返
し固定記憶素子として使用出来る他、一旦記憶したデー
タを消去するに規定景の紫外線照射お↓びデータ書込み
に通常の動作用電源5ボルト(V)とは異なる高電圧例
えば20〜30Vによる駆動手段を8鼎とするが、同一
記憶内容のROMを大量に使用する場合には問題となら
ない注文イエ様品におけるマスク代金や初期ロットの納
期に対するマスク式ROMの弱点を細う手段として一記
憶内容当りのロット個舷が少い場合に用いる品種と゛し
て誉替え機能をもつ第1図のNiO8によるフローテン
グアバランシェ(FAMO8)構造によりメモリセルを
実現したEPROMが賞用されている。
源をオフとしても記憶する情報を損失することなく繰返
し固定記憶素子として使用出来る他、一旦記憶したデー
タを消去するに規定景の紫外線照射お↓びデータ書込み
に通常の動作用電源5ボルト(V)とは異なる高電圧例
えば20〜30Vによる駆動手段を8鼎とするが、同一
記憶内容のROMを大量に使用する場合には問題となら
ない注文イエ様品におけるマスク代金や初期ロットの納
期に対するマスク式ROMの弱点を細う手段として一記
憶内容当りのロット個舷が少い場合に用いる品種と゛し
て誉替え機能をもつ第1図のNiO8によるフローテン
グアバランシェ(FAMO8)構造によりメモリセルを
実現したEPROMが賞用されている。
1cil 従来技術と問題点
a+! 2図は従来における消去可能読出し専用記憶素
子(EPROM)のブロック図を示す。1はメモリセル
アレイ、2はカラムゲート、3は出力バッファ、4はロ
ウデコーダ、5はカラムデコーダ、6は制御回路、Aa
−にはアドレス入力端子、110o〜m、−1はデータ
入出力端子、C8はチップセシタト悟号端子、OEはア
ウトイネーブル端子、PGMは書込みイネーブル娼子、
Vccは動作電圧入力螺子、Vppは書込み電圧入力甥
子およびGNDは接地端子である1、 近年半導体素子特にメモリ素子は集積技術の発達に伴い
大容量化され、従来16キロビツト(Kb)〜32kb
レベルであったF AMOSによるE)’ROMも近年
64kbから更に256kb容量品が提供されるように
なった。FAMO8によるEPROMけその構造上初期
および消去状態はオフによるオール”1″として’o”
itu込む形で提供されるが大容量化に従ってその消去
および書込み時間が増加するので効率の良い処理手段が
期待されている。通常紫外線を照射して行う該EPRO
Mにおける書込データの消去は最小必要量の7ワツト秒
/平方センチメートル(W S /r、rA )で充分
であるが個片のバラツキを充分にカバー−j″るには例
えば15 WS Ayl ’に適用する。個片によって
はその172以下の照射量で周込データの消去が実現す
るので容易に短縮出来るが個片相互1すよび同一個片に
おいてもメモリセルイ好にその電極や半導体形成におけ
る層構成膜厚寸法のバラツキを伴うのでEPROM+7
)個片毎に書込データ消去の紫外綴照合量を8波最小点
に設定することは困難であった。
子(EPROM)のブロック図を示す。1はメモリセル
アレイ、2はカラムゲート、3は出力バッファ、4はロ
ウデコーダ、5はカラムデコーダ、6は制御回路、Aa
−にはアドレス入力端子、110o〜m、−1はデータ
入出力端子、C8はチップセシタト悟号端子、OEはア
ウトイネーブル端子、PGMは書込みイネーブル娼子、
Vccは動作電圧入力螺子、Vppは書込み電圧入力甥
子およびGNDは接地端子である1、 近年半導体素子特にメモリ素子は集積技術の発達に伴い
大容量化され、従来16キロビツト(Kb)〜32kb
レベルであったF AMOSによるE)’ROMも近年
64kbから更に256kb容量品が提供されるように
なった。FAMO8によるEPROMけその構造上初期
および消去状態はオフによるオール”1″として’o”
itu込む形で提供されるが大容量化に従ってその消去
および書込み時間が増加するので効率の良い処理手段が
期待されている。通常紫外線を照射して行う該EPRO
Mにおける書込データの消去は最小必要量の7ワツト秒
/平方センチメートル(W S /r、rA )で充分
であるが個片のバラツキを充分にカバー−j″るには例
えば15 WS Ayl ’に適用する。個片によって
はその172以下の照射量で周込データの消去が実現す
るので容易に短縮出来るが個片相互1すよび同一個片に
おいてもメモリセルイ好にその電極や半導体形成におけ
る層構成膜厚寸法のバラツキを伴うのでEPROM+7
)個片毎に書込データ消去の紫外綴照合量を8波最小点
に設定することは困難であった。
fd+ 発明の目的
本発明の目的は従来におけるFAMO8によるEPRO
Mの書込データ消去において紫外線照射における一括規
定針照射と異なり、個片毎に付加したモニタ用小容辻記
憶領域のビットデータを監視しつ\行う紫外線照射によ
って書込みデータ消去における8閲最小限の照射量検出
を可能とするE’−PRO,Mk提供[7ようとするも
のである。。
Mの書込データ消去において紫外線照射における一括規
定針照射と異なり、個片毎に付加したモニタ用小容辻記
憶領域のビットデータを監視しつ\行う紫外線照射によ
って書込みデータ消去における8閲最小限の照射量検出
を可能とするE’−PRO,Mk提供[7ようとするも
のである。。
tel 発明の(1ケ成
この目的は、少数のワードおよびビットにメモリセルを
西i’、 /yll l 、フローテングアパランシイ
咋1;入1杉MO8(FAMO8HCより構成する消去
可能の読出し専用素子において、標準書込み電圧と標準
動作電圧の組合せによりビットデータを書込み、標準動
作電圧供給下で読出し動作を行い、規定景の紫外線照射
による書込データ消去特性を有するメモリセルプレイと
そのアドレス制御手段よりなるnワード×mピットの標
準記憶領域ならびに該標準記憶領域のビット線と共通の
ビット線を有し、標準書込み電圧と高動作電圧の組合せ
によりビットデータを書込み、高動作電圧供給下で読出
し動作を行い、規定+α預の紫外線照射による書込デー
タ消去特性を有する付加メモリセルアレイとそのワード
アドレス制御手段よりなる単数または複数ワード×mピ
ットの付加記憶領域を有し、付加記憶領域書込モード時
における高動作電圧の印加によって活性化される付加記
憶領域のワードアドレス制御手段は標準記憶領域のアド
レス制御手段に印加されるワードアドレス信号の一部を
並列に共通受信して付加記憶領域のワードアドレスを選
択すると共に該高動作16圧の印加を検出して標準記憶
領域のアドレス制御手段Ki−ける信号送出を抑止する
機能をA1箱し、標準書込モードにおいて読出し専用系
子ライタより標準記憶領域のアドレス制御手段にブータ
ラ・・よびアドレスを印加して書込むと共に、付加書込
モードにおいて該ライタにより標準記憶領域のアドレス
制御手段にデータおよびア)パレスをならびに付加記1
.な領域のワードアドレス制御]・段にA’jh ’L
IJ作電圧を印加して任意のデータ金付加配憶領域に沓
込み、標準および付加1iU2憶領域全同−強度の紫外
1%8!照射により行う書込データ消去において令」刀
On己憶領舅るをアクセスしつ−1)娯射全実行し消去
効果7C確認することq II¥倣とする消去可能読出
し専用jjLlxI素子を提供すること1・こまって達
成することが出来る。
西i’、 /yll l 、フローテングアパランシイ
咋1;入1杉MO8(FAMO8HCより構成する消去
可能の読出し専用素子において、標準書込み電圧と標準
動作電圧の組合せによりビットデータを書込み、標準動
作電圧供給下で読出し動作を行い、規定景の紫外線照射
による書込データ消去特性を有するメモリセルプレイと
そのアドレス制御手段よりなるnワード×mピットの標
準記憶領域ならびに該標準記憶領域のビット線と共通の
ビット線を有し、標準書込み電圧と高動作電圧の組合せ
によりビットデータを書込み、高動作電圧供給下で読出
し動作を行い、規定+α預の紫外線照射による書込デー
タ消去特性を有する付加メモリセルアレイとそのワード
アドレス制御手段よりなる単数または複数ワード×mピ
ットの付加記憶領域を有し、付加記憶領域書込モード時
における高動作電圧の印加によって活性化される付加記
憶領域のワードアドレス制御手段は標準記憶領域のアド
レス制御手段に印加されるワードアドレス信号の一部を
並列に共通受信して付加記憶領域のワードアドレスを選
択すると共に該高動作16圧の印加を検出して標準記憶
領域のアドレス制御手段Ki−ける信号送出を抑止する
機能をA1箱し、標準書込モードにおいて読出し専用系
子ライタより標準記憶領域のアドレス制御手段にブータ
ラ・・よびアドレスを印加して書込むと共に、付加書込
モードにおいて該ライタにより標準記憶領域のアドレス
制御手段にデータおよびア)パレスをならびに付加記1
.な領域のワードアドレス制御]・段にA’jh ’L
IJ作電圧を印加して任意のデータ金付加配憶領域に沓
込み、標準および付加1iU2憶領域全同−強度の紫外
1%8!照射により行う書込データ消去において令」刀
On己憶領舅るをアクセスしつ−1)娯射全実行し消去
効果7C確認することq II¥倣とする消去可能読出
し専用jjLlxI素子を提供すること1・こまって達
成することが出来る。
ffl 発明の実施例
以下図面り該照しつ\本発明の一実施例について説明す
る。第3Vは本発明の一実施例における消去可能読出し
専用素子のプロ、り図を称す。図に分いて1はメモリセ
ルアレイ、2はカラムゲート、3は化7]バッファ、4
aはローデコーダ、5はカラムゲート、6は制御回路、
7は付加メモリセルアレイ、8は付加制御回路、80は
演↑γj屑幅器、A a −k 11.tアドレス入力
端子、110o −rn、−1はデータ入出力端子、C
3ll−iチ′ツブセレクト瑞子、OEけアウトイネー
ブル端子、PGMijl々込み−fネーブル端子、VC
Cは動作電圧入力端子、■PPは書込み1ら圧入力端子
、GNDI−、、l:接地人力舖a子およびVHyuJ
高動作電圧入力端子である。図の枯り!Z部材およびi
4 :F記号を示す符シじ・で従来のそれと共通の符号
を有するものは従来の構成部材および端子とそれぞれ共
通である。ロウデコ−4゛4aは従来のロウデコーダ4
0機能に加え、新設のけ加制御回路8からのVHnl#
J加に伴って受1gする抑止18号に従ってロウアドレ
スによるツー1’線の選択信号を停止する機1正を備え
ている。付加メモリセルアレイ7はPワードこメでば1
′=または少数1ノード(例えば3ワードXlnビツト
)からなりそのメでリセル);l1eQ示省略したが第
1図の70−テングゲートとp形基板およびコントロー
ルケート間に挿入する5i02により構成される絶縁層
の1[7,みをメモリセルアレイ1におけるそれよりも
製造工程の処理において部分的に例えば30チ増の厚み
を有するよう形成してあり、メモリセルアレイ1のセル
がドレイン−ソース間電圧VPP例えば21ポル) (
V)およびコントロールゲート−ソース間にデータ電圧
VCC例えば5vによって書込まれるのに対し付加メモ
リセルアレイ71dVppとコントロールゲート間に高
動作電圧VHH例えば10 V f凹し、消去に要する
最小紫外線照射量も従来の7 W S /caから]
OWS/cJに増加する。そのワード線はロウデコーダ
4aに印加されるアドレスこ\ではアドレスAkによっ
て選択され、ビット線はメモリセルアレイ]と共通に接
続されカラムデコーダ5カラムゲート2によって制御さ
れ、出ノJバッフプ3を介してf−夕を入出力する。従
って付加メモリセルアレイ7におけるPワードの選択は
VIIHによってイネーブルされる付加制御回路8を介
しアドレスAfによって、またmビットの選択はメモリ
セルアレイ1系と共通である。但し付加制御回路8が幅
器80がVuuをVecとの電圧を比較してローデコー
ダ4aの抑止(cl @ を送出する。以上のように構
成されているので読出し専用素子穆−込器(ROMライ
タ)は第1表のように制御してメモリセルアレイ1のn
Xmビットおよび付加メモリセルアレイのpxmビット
にデータを書込みまた畳込データを読出すことが出来る
。尚表中のHおよびLはデータの論理値品レベルに準す
るり11えは2.4v以上および低レベル0.5v以下
である。才たX印はHまたはLの倒れでも良い、 手段によりpXm胱出しモードとして第工表の動作電圧
を印加1一つ\付加メモリセルアレイ70出カデータを
監視し、紫外線照射を実行する。即ち読出しデータ、の
中”o”ビットが″′1″ビットになることを例えば読
出しデータの各ビットにおける否定信号の論理和が0″
になる時点で照射を停止するように管理ずればメモリセ
ルアレ(1のV↓込みデータは付加メモリセルアレイ7
0m込みデータ消去時点におい・Cはバラツキを含め充
分消去されており、従来の規定値照射に比較してPR−
OM個片の消去特性に対応したきめの細い消去管理が出
来る。尚付加メモリセルアレイ7のpツー1選択におい
てアドレスAkによる一括選択としicが8蟹によって
書込みおよび読出し時のアドレス制御に多少手間がか\
るがAk++Ak−2・・・と複数アドレスによる選択
によって、異なるワード毎に別のデータを書込んでも良
い。
る。第3Vは本発明の一実施例における消去可能読出し
専用素子のプロ、り図を称す。図に分いて1はメモリセ
ルアレイ、2はカラムゲート、3は化7]バッファ、4
aはローデコーダ、5はカラムゲート、6は制御回路、
7は付加メモリセルアレイ、8は付加制御回路、80は
演↑γj屑幅器、A a −k 11.tアドレス入力
端子、110o −rn、−1はデータ入出力端子、C
3ll−iチ′ツブセレクト瑞子、OEけアウトイネー
ブル端子、PGMijl々込み−fネーブル端子、VC
Cは動作電圧入力端子、■PPは書込み1ら圧入力端子
、GNDI−、、l:接地人力舖a子およびVHyuJ
高動作電圧入力端子である。図の枯り!Z部材およびi
4 :F記号を示す符シじ・で従来のそれと共通の符号
を有するものは従来の構成部材および端子とそれぞれ共
通である。ロウデコ−4゛4aは従来のロウデコーダ4
0機能に加え、新設のけ加制御回路8からのVHnl#
J加に伴って受1gする抑止18号に従ってロウアドレ
スによるツー1’線の選択信号を停止する機1正を備え
ている。付加メモリセルアレイ7はPワードこメでば1
′=または少数1ノード(例えば3ワードXlnビツト
)からなりそのメでリセル);l1eQ示省略したが第
1図の70−テングゲートとp形基板およびコントロー
ルケート間に挿入する5i02により構成される絶縁層
の1[7,みをメモリセルアレイ1におけるそれよりも
製造工程の処理において部分的に例えば30チ増の厚み
を有するよう形成してあり、メモリセルアレイ1のセル
がドレイン−ソース間電圧VPP例えば21ポル) (
V)およびコントロールゲート−ソース間にデータ電圧
VCC例えば5vによって書込まれるのに対し付加メモ
リセルアレイ71dVppとコントロールゲート間に高
動作電圧VHH例えば10 V f凹し、消去に要する
最小紫外線照射量も従来の7 W S /caから]
OWS/cJに増加する。そのワード線はロウデコーダ
4aに印加されるアドレスこ\ではアドレスAkによっ
て選択され、ビット線はメモリセルアレイ]と共通に接
続されカラムデコーダ5カラムゲート2によって制御さ
れ、出ノJバッフプ3を介してf−夕を入出力する。従
って付加メモリセルアレイ7におけるPワードの選択は
VIIHによってイネーブルされる付加制御回路8を介
しアドレスAfによって、またmビットの選択はメモリ
セルアレイ1系と共通である。但し付加制御回路8が幅
器80がVuuをVecとの電圧を比較してローデコー
ダ4aの抑止(cl @ を送出する。以上のように構
成されているので読出し専用素子穆−込器(ROMライ
タ)は第1表のように制御してメモリセルアレイ1のn
Xmビットおよび付加メモリセルアレイのpxmビット
にデータを書込みまた畳込データを読出すことが出来る
。尚表中のHおよびLはデータの論理値品レベルに準す
るり11えは2.4v以上および低レベル0.5v以下
である。才たX印はHまたはLの倒れでも良い、 手段によりpXm胱出しモードとして第工表の動作電圧
を印加1一つ\付加メモリセルアレイ70出カデータを
監視し、紫外線照射を実行する。即ち読出しデータ、の
中”o”ビットが″′1″ビットになることを例えば読
出しデータの各ビットにおける否定信号の論理和が0″
になる時点で照射を停止するように管理ずればメモリセ
ルアレ(1のV↓込みデータは付加メモリセルアレイ7
0m込みデータ消去時点におい・Cはバラツキを含め充
分消去されており、従来の規定値照射に比較してPR−
OM個片の消去特性に対応したきめの細い消去管理が出
来る。尚付加メモリセルアレイ7のpツー1選択におい
てアドレスAkによる一括選択としicが8蟹によって
書込みおよび読出し時のアドレス制御に多少手間がか\
るがAk++Ak−2・・・と複数アドレスによる選択
によって、異なるワード毎に別のデータを書込んでも良
い。
(g+ 発明の詳細
な説明したように従来のF ROMにおける書込データ
消去に際し予裕をもった規定量の紫外線照射に代り、標
準メモリセルアレイに対し標準メモリセルアレイの最小
紫外線照射量よりも書込みデータ消去により大きい有位
差照射量を8替とする付加メモリセルアレイを設け、該
付加メモリセルアレイの書込みデータ金読出し1lil
J作によりモニタしつ\紫外線照射を実行して、標準メ
モリセルアレイの書込みデータ消去全確保する1!込デ
ータ消去を効率良〈実施出来る消去可能読出し専用記憶
素子を提供することが出来る。
消去に際し予裕をもった規定量の紫外線照射に代り、標
準メモリセルアレイに対し標準メモリセルアレイの最小
紫外線照射量よりも書込みデータ消去により大きい有位
差照射量を8替とする付加メモリセルアレイを設け、該
付加メモリセルアレイの書込みデータ金読出し1lil
J作によりモニタしつ\紫外線照射を実行して、標準メ
モリセルアレイの書込みデータ消去全確保する1!込デ
ータ消去を効率良〈実施出来る消去可能読出し専用記憶
素子を提供することが出来る。
第1図はMOSによるフローテングアバランシェ(FA
MO8)による消去可能読出し専用記憶素子(EPRO
M)の構造図、第2図は従来における消去可能読出し専
用記憶素子(EPROM)のブロック図および第3図は
本発明の一実施例における情夫可能読出し専用記憶素子
(EPROM)のブロック図を示す。 図において1はメモリセルアレイ、4,4ail′10
ウデコーダ、5はカラムテコーダ、6はfli制御回路
、7は付加メモリセルアレイ、8は付加制御回路お牟1
口 を2閣 ケ醐□ %・ V0償−l 婆3 図
MO8)による消去可能読出し専用記憶素子(EPRO
M)の構造図、第2図は従来における消去可能読出し専
用記憶素子(EPROM)のブロック図および第3図は
本発明の一実施例における情夫可能読出し専用記憶素子
(EPROM)のブロック図を示す。 図において1はメモリセルアレイ、4,4ail′10
ウデコーダ、5はカラムテコーダ、6はfli制御回路
、7は付加メモリセルアレイ、8は付加制御回路お牟1
口 を2閣 ケ醐□ %・ V0償−l 婆3 図
Claims (1)
- 複数のワード及びビットにメモリセルを配列しフローテ
ングアバランシュ注入形MOS (F AMOS )に
より1′1す成する消去可能の読出L2専用素子におい
て、標準書込み電圧と標準動作電圧の絹合せによりビッ
トデータ企φ込み、標準動作電圧供給下で読出し屯11
作を行い、j、11.定量の紫外線照射による書込デー
タ消去特性を有するメモリセルアレイとそのアドレス制
御手段」:りなるnワードXmビットの標準記憶領域な
らびに該ね鵬記憶領域のビット線と共通のビット線を有
し、標準書込み電、圧と高動作電圧の組合せによりビッ
トデータを書込み、高動作型U:1〜給下で読出し動作
を行い、規定+α量の紫外線照射によるに4込データ消
去特性を有する付加メモリセルアレイとそのワードアド
レス制御手段よりなる単数または複数ワード×mビット
の付加記憶領域を有し、付加記憶領域書込モード時にお
ける高動作電圧の印加によって活性化される付加記憶領
域のワードアドレス制御手段は標準記憶領域のアドレス
制御手段に印加されるワードアドレス信号の一部を並列
に共通受信して付加記憶領域のワードアドレスを選択子
ると共に該高動作′電圧の印加を検出して標準記憶領域
のアドレス制+Be手段における信号送出を抑止する機
能を具備し、標準書込モードにおいて読出し専用素子ラ
イタより標準記憶領域のアドレス制御手段にデータおよ
びアドレスを印加して書込むと共に、付加書込モードに
おいて核ライタにより標準記憶領域のアドレス制御手段
にデータおよびアドレスをならびに付加記憶領域のワー
ドアドレス制御手段に高動作電圧を印加して任意のデー
タを付加記憶・領域に書込み、標準および付加記憶領域
を同一強度の紫外線照射により行う書込データ消去Vこ
おいて付加記憶領域をアクセスしつX照射を実行し消去
効果を確認することを特徴とする消去可能読出し専用記
憶素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58191617A JPS6083298A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 消去可能読出し専用記憶素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58191617A JPS6083298A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 消去可能読出し専用記憶素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6083298A true JPS6083298A (ja) | 1985-05-11 |
Family
ID=16277611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58191617A Pending JPS6083298A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 消去可能読出し専用記憶素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6083298A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0276396U (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-12 |
-
1983
- 1983-10-13 JP JP58191617A patent/JPS6083298A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0276396U (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-12 |
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