JPS6083794A - 加工ビ−ムの収束状態を判別する方法と装置 - Google Patents

加工ビ−ムの収束状態を判別する方法と装置

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Publication number
JPS6083794A
JPS6083794A JP58191377A JP19137783A JPS6083794A JP S6083794 A JPS6083794 A JP S6083794A JP 58191377 A JP58191377 A JP 58191377A JP 19137783 A JP19137783 A JP 19137783A JP S6083794 A JPS6083794 A JP S6083794A
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JP
Japan
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piece
convergence state
workpiece
amplitude
output signal
Prior art date
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Pending
Application number
JP58191377A
Other languages
English (en)
Inventor
Norio Kanekama
金釜　憲夫
Toshiyuki Miyazaki
俊行 宮崎
Toshiaki Yoshioka
吉岡　俊朗
Yasuyuki Shirai
白井　靖幸
Toshio Sada
登志夫 佐田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
RIKEN
Original Assignee
RIKEN
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Publication date
Application filed by RIKEN filed Critical RIKEN
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Publication of JPS6083794A publication Critical patent/JPS6083794A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は加工ビームの収束状態の判別方法に係るもので
ある。
電子ビームを加工ビームとして使用する場合加工ビーム
を被加工片上に収束させるには被加工片を配置する位置
にタングステン片を配置し、収束レン、ｅ　ｔ　ａｌｌ
　整してタングステン片上の重子ビームの衝突点が最も
輝いて見えるようにし、その状態で電子ビームが絞られ
たものと判定していた。別の判定方法としては種々の高
さに配置した被加工片の上級を電子ビームで掃引し、最
も幅の狭い壽の形に溶けた被加工片の上縁の高さが電子
ビームの収束する高さであるとしている。
レーザービームを加工ビームとして使用する場合被加工
片上に投射された加工ビームの収束状態の判別は第１図
に示すように、加工ビーム源１とそれの収束用レンズ系
３に加えて、被加工片観測用顕微鏡５と反射鏡２とを設
置し、収束用レンズ系３を通して観測用顕微鏡５によシ
レーザービームの収束状態を可視光線によシ光学的に観
察する。
焦点合せは収束用レンズ３又は被加工片４を上下方向に
移動して行なう。
しかしこの様な加工ビームの収束状態の判別では、加工
ビーム源の・９ワ一密度は大角いため、可視光域の光に
よる収束状態の観測結果とは全く様子が異なシ、正確に
収束状態を判別できなかった。
本発明の目的は仁の様な従来の加工ビームの収束状態の
判別の欠点を解消し、加工ビームの正確なそして簡易な
収束状態の判別方法を提供することであり、この目的は
次のようにして達成される。
すなわち、本発明に従い、被加工片に接触させて配置し
た圧電素子の出力信号の振巾が大きいときには被加工片
上で加工ビームが収束していないと判定し、出力信号の
振巾が小さいと＾には被加工片上で加工ビームが収束し
ていると判定する。
第２図は本発明による加工ビームの収束状態の判別方法
を実施する装置の説明図である。
楼〃ロエ片２３に接触させて配置した圧電素子２４の出
力信号の振巾が波形検出器２５で検出される。その検出
信号によって被加工片移動装置２８または収束レンズ移
動装部２７の制御システム２６を駆動する。まず加工ビ
ーム源２１からレーデ光を照射してそのときの信号を検
出器２５で検出し規定の振巾よシ大きければ、収束レン
ズ移動装ｆｆ２７ｔたは被加工片移動装置２８によって
レン：ｆ２２又は被加工片２３を動かし、これを緑返し
出力信号の振巾が最も小さくなる位置を見つける。この
ようにして加工の最適位置を検出することがでむる。
【図面の簡単な説明】
第１図はレーザービームを使用して加工する装置におい
て被加工片上にレーザービームが収束しているか否かを
判定するシステムを示す。 ｆ４２図は本発明による加工ビームの収束状態の判別方
法を実施するための装置を示す。 図中： １．２１・・・加工ビーム源、２３・・・被加工片、２
４・・・圧電素子、２５・・・波形検出器、２６・・・
制御システム

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）被加工片に接触させて配置した圧電素子の出力信
    号によ＃）皺加工片に投射された加工ビームの被加工片
    上の収束状態を判別することを特徴とする加工ビームの
    収束状態の判別方法。
  2. （２）　前記の圧［ｉ子を被加工片の加工ビームの照、
    射面と反対側に配置し、出力信号の振巾が太きいと含に
    は被加工片上で加工ビームが収束していないと判定し、
    出力信号の振巾がＪζさいときには被加工片上で加工ビ
    ームが収束していると判定する特許請求の範囲第１項に
    記載の加工ビームの収束状態の４′ｌＪ別方法。
  3. （３）被加工片と接触する位置に配置した圧電素子と、
    この圧電素子に接続され、圧電素子の出力信号により被
    加工片上の加工ビームの収束状態を表示する収束状態判
    別表示製筒とを備えることを特徴とする加工ビームの収
    束状態の判別Ａ１
JP58191377A 1983-10-13 1983-10-13 加工ビ−ムの収束状態を判別する方法と装置 Pending JPS6083794A (ja)

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