JPS6084759A - 熱陰極電子衝撃型イオン源 - Google Patents

熱陰極電子衝撃型イオン源

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Publication number
JPS6084759A
JPS6084759A JP58192118A JP19211883A JPS6084759A JP S6084759 A JPS6084759 A JP S6084759A JP 58192118 A JP58192118 A JP 58192118A JP 19211883 A JP19211883 A JP 19211883A JP S6084759 A JPS6084759 A JP S6084759A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion source
hot
electrode
electron impact
lead
Prior art date
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Pending
Application number
JP58192118A
Other languages
English (en)
Inventor
Fumio Watanabe
文夫 渡辺
Shojiro Komaki
小牧　昭二郎
Masao Miyamoto
正夫 宮本
Takao Ito
隆夫 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/022—Details
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明位、主として高感度の四重極質量分析計用の熱
陰極電子衝撃型イオン源に関するもので、できるだけ多
くのイオンを、またエネルギーのばらつきを少くしてひ
き出す事を狙ったものである。
図１、図２は従来のイオン源と四重極電極の配置を示し
た例である。これらの例では、ひき出し電極５は、その
中心に穴を設けて、その周囲の部分がイオン生成領域１
０に電界を及はすようになっている。
従つ゛てひき出し電極３のイオン生成領域１ｏと、その
領域に至る空間の電界の構造を自由に形成することは難
しい。もし、この事例のように、イオンを四重極質量分
析に用いるならば、イオン生成領域の電位分布はできる
だけ小さくしたい。また、電界の値を適当な値をとる必
要がある。
これらをそれぞれ自由に構成することは、従来技術であ
る円冠型ひき出し電極では困難であった。
図３には本発明の実施例を示した。ここでは、引出し電
極３には、その中心部分に網目を以って構成させる。こ
のように構成すると、イオンの生成領域空間に対し７て
、引出し電極の及ぼす電界全自由に作ることができるば
かりでなく、その電界によって引出されたイオンは引出
し゛電極が網目で構成されているためこの引出し電極を
良く通過して次段の四重極電極の部分へと進ませること
ができる。
ひき出し電極の網目全単純な平板とするだけでなく、図
４．５．６に示すように複数枚構成や、イオン生成領域
までの電界分布を先に述べたように四重極質量分析の目
的に沿うようになるように凹、凸に形成することができ
る。
以上述べた如く、本発明によって従来、コントロールが
ほとんど不可能であった、イオン運動エネルギー分布の
縮小化、イオンひき出し効率の増加、すなわち高分解能
、鳥感度の質量分析が可能となった。
一実施例として、本発明による実験結果全紹介すると、
だいたい図３に示したような構造であって、表１に示す
条件下にて、四重極質量針としての感度ｆ　１．　ＯＸ
　１０　（Ａ／　Ｔｏｒｒ　３程度とすることができた
。これは従来技術による方法に比べ約１０倍の値である
。
以上の通り１本発明によつで超高真空度下における質量
分析などが行なえるような画期的な電子衝撃形イオン源
となすことができる。
表　１
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は従来のイオン源？示めす。 第３図は本発明にががるイオン源金示めす。＄４〜第６
図は本発明にかかるひき出し電極の他の実施例を示めす
。 １・・・・・・フィラメント ２・・・・・・アノードグリッド ５・・・・・・ひき出し電極 ４・・・・・・アパーチャ電極 ５・・・・・・四重極電極 ６・・・・・・リペラ ７・・・・・・フォーカス電極 ８・・・・・・電子コＶクク電極 ９・・・・・・イオン化室 １０・・・・・・イオン生成領域 以上 出願人　セイコー隠子工業株式会社 渡辺文夫 ；、ｒ”；　１０ 第＝　＋゛ｐｒ 箒、・１１〜゛） 第　５１１ 一一一一一一、メーーー＼ ド・“　６　ト１ 一一一一一−コー　、−４

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. イＡ゛ン源の出力口附近において、網目を以ってその出
    力口附近に対向させ、これを引出し電極とすることｔ−
    特徴とする熱陰極電子衝撃型イオン源。
JP58192118A 1983-10-14 1983-10-14 熱陰極電子衝撃型イオン源 Pending JPS6084759A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007157529A (ja) * 2005-12-06 2007-06-21 Ulvac Japan Ltd 四極子形質量分析計用イオン源

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50134692A (ja) * 1974-04-11 1975-10-24
JPS52134492A (en) * 1976-05-04 1977-11-10 Hitachi Ltd Ion source unit

Patent Citations (2)

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JPS50134692A (ja) * 1974-04-11 1975-10-24
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