JPS6084759A - 熱陰極電子衝撃型イオン源 - Google Patents
熱陰極電子衝撃型イオン源Info
- Publication number
- JPS6084759A JPS6084759A JP58192118A JP19211883A JPS6084759A JP S6084759 A JPS6084759 A JP S6084759A JP 58192118 A JP58192118 A JP 58192118A JP 19211883 A JP19211883 A JP 19211883A JP S6084759 A JPS6084759 A JP S6084759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- hot
- electrode
- electron impact
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/022—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明位、主として高感度の四重極質量分析計用の熱
陰極電子衝撃型イオン源に関するもので、できるだけ多
くのイオンを、またエネルギーのばらつきを少くしてひ
き出す事を狙ったものである。
陰極電子衝撃型イオン源に関するもので、できるだけ多
くのイオンを、またエネルギーのばらつきを少くしてひ
き出す事を狙ったものである。
図１、図２は従来のイオン源と四重極電極の配置を示し
た例である。これらの例では、ひき出し電極５は、その
中心に穴を設けて、その周囲の部分がイオン生成領域１
０に電界を及はすようになっている。
た例である。これらの例では、ひき出し電極５は、その
中心に穴を設けて、その周囲の部分がイオン生成領域１
０に電界を及はすようになっている。
従つ゛てひき出し電極３のイオン生成領域１ｏと、その
領域に至る空間の電界の構造を自由に形成することは難
しい。もし、この事例のように、イオンを四重極質量分
析に用いるならば、イオン生成領域の電位分布はできる
だけ小さくしたい。また、電界の値を適当な値をとる必
要がある。
領域に至る空間の電界の構造を自由に形成することは難
しい。もし、この事例のように、イオンを四重極質量分
析に用いるならば、イオン生成領域の電位分布はできる
だけ小さくしたい。また、電界の値を適当な値をとる必
要がある。
これらをそれぞれ自由に構成することは、従来技術であ
る円冠型ひき出し電極では困難であった。
る円冠型ひき出し電極では困難であった。
図３には本発明の実施例を示した。ここでは、引出し電
極３には、その中心部分に網目を以って構成させる。こ
のように構成すると、イオンの生成領域空間に対し７て
、引出し電極の及ぼす電界全自由に作ることができるば
かりでなく、その電界によって引出されたイオンは引出
し゛電極が網目で構成されているためこの引出し電極を
良く通過して次段の四重極電極の部分へと進ませること
ができる。
極３には、その中心部分に網目を以って構成させる。こ
のように構成すると、イオンの生成領域空間に対し７て
、引出し電極の及ぼす電界全自由に作ることができるば
かりでなく、その電界によって引出されたイオンは引出
し゛電極が網目で構成されているためこの引出し電極を
良く通過して次段の四重極電極の部分へと進ませること
ができる。
ひき出し電極の網目全単純な平板とするだけでなく、図
４．５．６に示すように複数枚構成や、イオン生成領域
までの電界分布を先に述べたように四重極質量分析の目
的に沿うようになるように凹、凸に形成することができ
る。
４．５．６に示すように複数枚構成や、イオン生成領域
までの電界分布を先に述べたように四重極質量分析の目
的に沿うようになるように凹、凸に形成することができ
る。
以上述べた如く、本発明によって従来、コントロールが
ほとんど不可能であった、イオン運動エネルギー分布の
縮小化、イオンひき出し効率の増加、すなわち高分解能
、鳥感度の質量分析が可能となった。
ほとんど不可能であった、イオン運動エネルギー分布の
縮小化、イオンひき出し効率の増加、すなわち高分解能
、鳥感度の質量分析が可能となった。
一実施例として、本発明による実験結果全紹介すると、
だいたい図３に示したような構造であって、表１に示す
条件下にて、四重極質量針としての感度ｆ １． ＯＸ
１０ （Ａ／ Ｔｏｒｒ ３程度とすることができた
。これは従来技術による方法に比べ約１０倍の値である
。
だいたい図３に示したような構造であって、表１に示す
条件下にて、四重極質量針としての感度ｆ １． ＯＸ
１０ （Ａ／ Ｔｏｒｒ ３程度とすることができた
。これは従来技術による方法に比べ約１０倍の値である
。
以上の通り１本発明によつで超高真空度下における質量
分析などが行なえるような画期的な電子衝撃形イオン源
となすことができる。
分析などが行なえるような画期的な電子衝撃形イオン源
となすことができる。
表 １
第１図及び第２図は従来のイオン源？示めす。
第３図は本発明にががるイオン源金示めす。＄４〜第６
図は本発明にかかるひき出し電極の他の実施例を示めす
。 １・・・・・・フィラメント ２・・・・・・アノードグリッド ５・・・・・・ひき出し電極 ４・・・・・・アパーチャ電極 ５・・・・・・四重極電極 ６・・・・・・リペラ ７・・・・・・フォーカス電極 ８・・・・・・電子コＶクク電極 ９・・・・・・イオン化室 １０・・・・・・イオン生成領域 以上 出願人 セイコー隠子工業株式会社 渡辺文夫 ；、ｒ”； １０ 第＝ ＋゛ｐｒ 箒、・１１〜゛） 第 ５１１ 一一一一一一、メーーー＼ ド・“ ６ ト１ 一一一一一−コー 、−４
図は本発明にかかるひき出し電極の他の実施例を示めす
。 １・・・・・・フィラメント ２・・・・・・アノードグリッド ５・・・・・・ひき出し電極 ４・・・・・・アパーチャ電極 ５・・・・・・四重極電極 ６・・・・・・リペラ ７・・・・・・フォーカス電極 ８・・・・・・電子コＶクク電極 ９・・・・・・イオン化室 １０・・・・・・イオン生成領域 以上 出願人 セイコー隠子工業株式会社 渡辺文夫 ；、ｒ”； １０ 第＝ ＋゛ｐｒ 箒、・１１〜゛） 第 ５１１ 一一一一一一、メーーー＼ ド・“ ６ ト１ 一一一一一−コー 、−４
Claims (1)
- イＡ゛ン源の出力口附近において、網目を以ってその出
力口附近に対向させ、これを引出し電極とすることｔ−
特徴とする熱陰極電子衝撃型イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58192118A JPS6084759A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 熱陰極電子衝撃型イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58192118A JPS6084759A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 熱陰極電子衝撃型イオン源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6084759A true JPS6084759A (ja) | 1985-05-14 |
Family
ID=16285964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58192118A Pending JPS6084759A (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 熱陰極電子衝撃型イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6084759A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007157529A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Ulvac Japan Ltd | 四極子形質量分析計用イオン源 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50134692A (ja) * | 1974-04-11 | 1975-10-24 | ||
| JPS52134492A (en) * | 1976-05-04 | 1977-11-10 | Hitachi Ltd | Ion source unit |
-
1983
- 1983-10-14 JP JP58192118A patent/JPS6084759A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50134692A (ja) * | 1974-04-11 | 1975-10-24 | ||
| JPS52134492A (en) * | 1976-05-04 | 1977-11-10 | Hitachi Ltd | Ion source unit |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007157529A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Ulvac Japan Ltd | 四極子形質量分析計用イオン源 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0234410B2 (ja) | ||
| JP2021524665A5 (ja) | ||
| SE8700017L (sv) | Jonplasmaelektrokanon | |
| CN110176385B (zh) | 一种用于磁质谱仪的高效离子源 | |
| CA2643534A1 (en) | Fragmentation methods for mass spectrometry | |
| CN100595873C (zh) | 双离子源矩形离子阱质谱仪 | |
| CN111146049A (zh) | 一种碳纳米管场发射阴极的小型离子源 | |
| US3890535A (en) | Ion sources | |
| CN114471154B (zh) | 同位素电磁分离器的离子源及其弧放电结构 | |
| CN112599397B (zh) | 一种储存式离子源 | |
| JPH0378741B2 (ja) | ||
| CN209963019U (zh) | 一种用于磁质谱仪的高效离子源 | |
| US3339106A (en) | Ionization vacuum pump of the orbitron type having a porous annular grid electrode | |
| US7858933B2 (en) | Mass spectrometer | |
| JPS6084758A (ja) | 熱陰極電子衝撃型イオン源 | |
| JPS6084757A (ja) | 引き出し電極付熱陰極電子衝撃型イオン源 | |
| GB1086959A (en) | Mass spectrometer gas analyzer instrument | |
| CN113808909B (zh) | 一种光电子抑制电离源装置 | |
| JPS6093750A (ja) | 熱陰極電子衝撃型イオン源 | |
| CN115360079A (zh) | 一种基于电子束三维势阱存储的电子碰撞离子源 | |
| CN119381240B (zh) | 一种冷电子中性后电离装置 | |
| JPS60202646A (ja) | 二重アノ−ド型四重極分析計 | |
| JPS6251648U (ja) | ||
| JP2000036282A (ja) | ガス分析用の質量分析計 | |
| CN106561446A (zh) | 微波源高密度低能离子束生物改性设备 |