JPS6085342A - 力測定装置 - Google Patents
力測定装置Info
- Publication number
- JPS6085342A JPS6085342A JP59033332A JP3333284A JPS6085342A JP S6085342 A JPS6085342 A JP S6085342A JP 59033332 A JP59033332 A JP 59033332A JP 3333284 A JP3333284 A JP 3333284A JP S6085342 A JPS6085342 A JP S6085342A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- electrode
- measuring device
- electrodes
- elastic body
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
- G01L1/142—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/16—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
- G01L5/165—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in capacitance
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、固体に作用する一般化された力のいくつかの
成分を測定可能にする力測定装置に関するものである。
成分を測定可能にする力測定装置に関するものである。
この装置は、ばねのような弾性要素により連結される2
つの堅い要素と、その弾性連結要素とは独立の測定素子
とを備える種類のも −のである。
つの堅い要素と、その弾性連結要素とは独立の測定素子
とを備える種類のも −のである。
「一般化された力」または「力」という用語は。
力測定装置の堅い要素の一方が静止している時に、他方
の要素に作用する線型の力自体と、トルクまたはモーメ
ントとを意味するものと理解されたい。
の要素に作用する線型の力自体と、トルクまたはモーメ
ントとを意味するものと理解されたい。
2種類の力測定装置が現在知られている。第1の種類の
装置は弾性連結要素に取りつけられる歪み計を含み、そ
れらの歪み計により弾性連結要素の変形を測定するもの
である。そのような測定装置は壊れやすく、不安定で、
零調整なひんばんに行う必要があり、かつしばしば較正
を行わなければならない。第2の種類の測定装置は、弾
性連結要素とは独立に測定素子な構成し、2つの堅い要
素の相対的な変形により6度までの自由度な測定できる
ようにしたものである。この第2の種類の装置では、弾
性連結要素は歪み計をもはや支持しないから、それの形
と寸法は任意にでき、とくに非常に小さく、または非常
に大きく構成することができる。
装置は弾性連結要素に取りつけられる歪み計を含み、そ
れらの歪み計により弾性連結要素の変形を測定するもの
である。そのような測定装置は壊れやすく、不安定で、
零調整なひんばんに行う必要があり、かつしばしば較正
を行わなければならない。第2の種類の測定装置は、弾
性連結要素とは独立に測定素子な構成し、2つの堅い要
素の相対的な変形により6度までの自由度な測定できる
ようにしたものである。この第2の種類の装置では、弾
性連結要素は歪み計をもはや支持しないから、それの形
と寸法は任意にでき、とくに非常に小さく、または非常
に大きく構成することができる。
現在知られている第2の種類の全ての装置の主な欠点は
、測定すべき自由度の数と少くとも同数の変形センサを
含み、各セレサがそれの軸に対応する力の成分のみを測
定すること、および各セ/すがいくつかの部品を有する
ので、非常に慎重に位置させなければならないことであ
る。いくつかの自由度を測定しなければならないと、そ
の装置は多数の部品を含むことになり、複数のセ/すを
必要とする結果として、それらのセンサの位置を調整す
るために多くの機構を必要とする。
、測定すべき自由度の数と少くとも同数の変形センサを
含み、各セレサがそれの軸に対応する力の成分のみを測
定すること、および各セ/すがいくつかの部品を有する
ので、非常に慎重に位置させなければならないことであ
る。いくつかの自由度を測定しなければならないと、そ
の装置は多数の部品を含むことになり、複数のセ/すを
必要とする結果として、それらのセンサの位置を調整す
るために多くの機構を必要とする。
本発明は従来の装置より簡単で、6度の自由度の全てな
測定する場合でも、ただ1つの容量上/すを有するだけ
であるから、構成部品の数は大幅に減少する。
測定する場合でも、ただ1つの容量上/すを有するだけ
であるから、構成部品の数は大幅に減少する。
弾性体は、単一の材料片から機械加工で作られる中空ま
たは穴あきの円筒で構成できるから通常のものではない
。 、 容量センサは、互いに機械的には接触しない、独立して
動くことができる2つの部分で構成される。各部分には
力測定器の堅い要素が一体に形成される。セ/すの2つ
の半分の各々は一1組の平らな電極を支持する平らな表
面を有する。2つの部分は、それぞれの滑らかな表面が
平行に隔てられて向き合うように、堅い要素にとりつけ
られる。
たは穴あきの円筒で構成できるから通常のものではない
。 、 容量センサは、互いに機械的には接触しない、独立して
動くことができる2つの部分で構成される。各部分には
力測定器の堅い要素が一体に形成される。セ/すの2つ
の半分の各々は一1組の平らな電極を支持する平らな表
面を有する。2つの部分は、それぞれの滑らかな表面が
平行に隔てられて向き合うように、堅い要素にとりつけ
られる。
1つの表面の電極は可変厚さの誘電体によって、他の表
面の電極から隔てられる。それらの電極はモノリシック
電子検出回路に接続される。その回路は容量値を数値に
変換する。
面の電極から隔てられる。それらの電極はモノリシック
電子検出回路に接続される。その回路は容量値を数値に
変換する。
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図に簡単に示されている本発明の装置は、弾性体3
により連結された2枚の堅い板1,2と、2枚の非導電
性円板4.5により構成され、弾性体から隔てられてい
る容量セ/すとを有する。各円板4,5は互いに機械的
に接触せず、かつ板l。
により連結された2枚の堅い板1,2と、2枚の非導電
性円板4.5により構成され、弾性体から隔てられてい
る容量セ/すとを有する。各円板4,5は互いに機械的
に接触せず、かつ板l。
2とそれぞれ一体である。各非導電性円板4,5は平ら
な表面な有し、それらの表面には平らな電極6,7が付
着される。それらの電極6,7が可変厚さの誘電体によ
り互いに平行に隔てられるように、非導電円板4,5は
堅い板1.2にそれぞれとりつけられる。
な表面な有し、それらの表面には平らな電極6,7が付
着される。それらの電極6,7が可変厚さの誘電体によ
り互いに平行に隔てられるように、非導電円板4,5は
堅い板1.2にそれぞれとりつけられる。
この装置の好適な実施例においでは、弾性体(第3a図
参照)は単一の材料片から作られる。
参照)は単一の材料片から作られる。
すなわち、第2図に示すようにアングルに曲げられたリ
ブ状に切り込まれた1つまたはいくつかの弾性部材によ
り連結された2つの頑丈なリング9゜lOを頂部と底部
に得るように、中空円筒を機械加工することにより弾性
体3は作られる。弾性体のこの例により、所要の剛性を
有する弾性体を作ることができる。更に、弾性部材は頂
部す/グ9および底部リング10と同じ材料片で作られ
るから、弾性部材8の係止点も所要の剛性を有する。
ブ状に切り込まれた1つまたはいくつかの弾性部材によ
り連結された2つの頑丈なリング9゜lOを頂部と底部
に得るように、中空円筒を機械加工することにより弾性
体3は作られる。弾性体のこの例により、所要の剛性を
有する弾性体を作ることができる。更に、弾性部材は頂
部す/グ9および底部リング10と同じ材料片で作られ
るから、弾性部材8の係止点も所要の剛性を有する。
別の実施例においては、弾性体は単一の材料片から作ら
れた穴あき円筒により構成される(第3b図)。
れた穴あき円筒により構成される(第3b図)。
次に、第8.9図に示されている容量センサの2つの実
施例について、第4〜7図を参照しながら、それの機能
を説明する。
施例について、第4〜7図を参照しながら、それの機能
を説明する。
第4.5図は1つの向きの変位を測定する2つの基本的
なセンサを示すものである。その1つの向きに垂直な方
向における僅かな変位によっては測定は影響を受けない
。X方向における水平変位を測定する第1のセンサは差
動@量センサであり、2方向の変位を測定する第2のセ
ンサはいわゆる「近接」センサである。第6図は、電極
CIと02゜C4と05が接続された時に、第5図に示
す種類の近接センサとして機能するセ/v′を示す。こ
の場合には、電極C3は保護電極として機能する。この
セ/すは、電極C1とC2を切り離し、電極C4をたと
えば一定電位に接続し、電極C5に電気信号を与えた時
には、第4図に示すような種類の差動センサとして機能
する。
なセンサを示すものである。その1つの向きに垂直な方
向における僅かな変位によっては測定は影響を受けない
。X方向における水平変位を測定する第1のセンサは差
動@量センサであり、2方向の変位を測定する第2のセ
ンサはいわゆる「近接」センサである。第6図は、電極
CIと02゜C4と05が接続された時に、第5図に示
す種類の近接センサとして機能するセ/v′を示す。こ
の場合には、電極C3は保護電極として機能する。この
セ/すは、電極C1とC2を切り離し、電極C4をたと
えば一定電位に接続し、電極C5に電気信号を与えた時
には、第4図に示すような種類の差動センサとして機能
する。
類似のスイッチまたは伝送ゲートのような電子装置によ
り、電極を種々組合わせることができる。
り、電極を種々組合わせることができる。
第7図に示すセッサはいくつかの電極C4と05、CI
とC2&組合せて得られるものである。この組合せによ
り強い信号を得ることができる。
とC2&組合せて得られるものである。この組合せによ
り強い信号を得ることができる。
以上述べた原理を基にして容量センサの2つの実施例を
説明することにする。第1の実施例が第8a図および第
8b図に示されている。第8a図は3種類の電極11
、12 、13の3つの電極群により覆われている上側
の非導電性円板を示す。第8b図は2種類の電極15
、1603つの電極群により覆われている下側の非導電
性用゛板を示す。電極11が結合された電極15 、1
6と組合されると、保護電極として機能する電極14と
共に3つの近接型センサが得られる。また、分離された
電極12 、13が分離された電極15 、1.6と組
合されると、3つの差動型センサが得られる。
説明することにする。第1の実施例が第8a図および第
8b図に示されている。第8a図は3種類の電極11
、12 、13の3つの電極群により覆われている上側
の非導電性円板を示す。第8b図は2種類の電極15
、1603つの電極群により覆われている下側の非導電
性用゛板を示す。電極11が結合された電極15 、1
6と組合されると、保護電極として機能する電極14と
共に3つの近接型センサが得られる。また、分離された
電極12 、13が分離された電極15 、1.6と組
合されると、3つの差動型センサが得られる。
容量セ/すの別の改良した実施例を第9a図および第9
b図に示す。この実施例では、用いる電極の数は7つで
ある(第1の実施例では電極の数は9である)。そのた
めに、処理すべき信号の数が減少する。文に、利用でき
る表面積を一層効率良く使用でき、かつ電極の組合せは
第6.7図に示すようなものであるから、信号の振幅は
大きくなる。この実施例におい【は、組合されていない
電極19 、21と電極17との組合せにより差動型セ
ンサが得られ、組合されている電極17 、18と、組
合されている電極19 、21との組合せにより近接型
センサが得られる。電極加は保護電極として機能する。
b図に示す。この実施例では、用いる電極の数は7つで
ある(第1の実施例では電極の数は9である)。そのた
めに、処理すべき信号の数が減少する。文に、利用でき
る表面積を一層効率良く使用でき、かつ電極の組合せは
第6.7図に示すようなものであるから、信号の振幅は
大きくなる。この実施例におい【は、組合されていない
電極19 、21と電極17との組合せにより差動型セ
ンサが得られ、組合されている電極17 、18と、組
合されている電極19 、21との組合せにより近接型
センサが得られる。電極加は保護電極として機能する。
そのような電極を作る技術は知られている。絶縁体とし
て機能するガラス円板の全面に薄いクロム層を付着させ
ることにより、それらの電極を形成できる。それから、
そのクロム層をフォトリングラフ技術で種々の形の電極
に分離する。別の電極製作技術はプリント回路製作技術
である。その技術は、エボキク樹脂基板の表面に銅の薄
い層を付着し、その層を上記技術で種々の電極に分離す
るものである。
て機能するガラス円板の全面に薄いクロム層を付着させ
ることにより、それらの電極を形成できる。それから、
そのクロム層をフォトリングラフ技術で種々の形の電極
に分離する。別の電極製作技術はプリント回路製作技術
である。その技術は、エボキク樹脂基板の表面に銅の薄
い層を付着し、その層を上記技術で種々の電極に分離す
るものである。
種々の電極組合せから得られた信号は、測定装置に組込
まれている集積回路(IC)22により検出および処理
される。そのIC22は、たとえば非導電性円板の下側
に配置することにより、電極罠非常に接近して配置しな
い場合に受けるかもしれない妨害な避けることができる
から有++、+である。まYClICはセンサ自体のク
ールドの利益も受ける。
まれている集積回路(IC)22により検出および処理
される。そのIC22は、たとえば非導電性円板の下側
に配置することにより、電極罠非常に接近して配置しな
い場合に受けるかもしれない妨害な避けることができる
から有++、+である。まYClICはセンサ自体のク
ールドの利益も受ける。
そのICの動作と、電気信号を処理するためのアルぜル
は知られている。それの−例が米国特許第409419
2号明細書に見られる。
は知られている。それの−例が米国特許第409419
2号明細書に見られる。
本発明のような種類の容量センサを用いることの1つの
利点は、誘導型センナと比較して、ICにより処理する
信号の量が非常に減少することである。また、このセン
サは使用が極めて経済的で、とくに、いくつかの自由度
を有する変位を測定する場合にそうである。その理由は
、正しい電極組合せを選択する限りは、1個のセンサで
6度の自由度な全て検出できるからである。0MO8型
ICは容量と伝送ゲートを一般に用いるから、CMOB
ICに組合せることによりこの容量センサは良く動作す
る。0MO8IC別の利点は、消費電力力を極めて少い
ために、たとえば電池で動作させることができることで
ある。
利点は、誘導型センナと比較して、ICにより処理する
信号の量が非常に減少することである。また、このセン
サは使用が極めて経済的で、とくに、いくつかの自由度
を有する変位を測定する場合にそうである。その理由は
、正しい電極組合せを選択する限りは、1個のセンサで
6度の自由度な全て検出できるからである。0MO8型
ICは容量と伝送ゲートを一般に用いるから、CMOB
ICに組合せることによりこの容量センサは良く動作す
る。0MO8IC別の利点は、消費電力力を極めて少い
ために、たとえば電池で動作させることができることで
ある。
第1図は本発明の装置の簡略化した縦断面図、第2図は
本発明の装置の弾性部材の側面図、第3a図および第3
b図は弾性体の2つの実施例の斜視図、第4図は1つの
向きにおける変形を測定するのに適する差動容量センサ
の原理図、第5図は別の向きにおける変形を測定するの
に適する近接容量センナの原理図、第6図は2つの向き
における変形を測定するために、第4.5図に示j2つ
の例を組合せて得られる容置センサの原理図、第7図は
第6図の線に沿う複数の電極を含み、大きな振幅の信号
を発生する容量センサの一実施例の原理図、第8a図お
よびisb図はそれぞれ本発明Q)装置の下側と上側の
平らな電極の可能な実施例の平面図、第9a図および第
9b図はそれぞれそれらの電極の改良した別の実施例の
平面図である。 1.2・・・堅い板、3・・・弾性体、4,5・・・非
導電性円板、6 、7 、11 、12 、13 、1
4 、15 、16 、17 、18 、19 。 20 、21・・・電極、8・・・弾性部材、9,10
・・・す/グ。 手続補正書く方側 昭和59年6月lメ日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 1 事件の表示 昭和59年特許願第33332号 2 発明の名称 力 測 定 装 置 3 補正をする者 事件との関係 特許出願人 クリストフ、ベー、プルクハルト 4代理人 昭和59年5月9日 (発送日 昭和59年5月29日) 6 補正の対象 図 面 7 補正の内容
本発明の装置の弾性部材の側面図、第3a図および第3
b図は弾性体の2つの実施例の斜視図、第4図は1つの
向きにおける変形を測定するのに適する差動容量センサ
の原理図、第5図は別の向きにおける変形を測定するの
に適する近接容量センナの原理図、第6図は2つの向き
における変形を測定するために、第4.5図に示j2つ
の例を組合せて得られる容置センサの原理図、第7図は
第6図の線に沿う複数の電極を含み、大きな振幅の信号
を発生する容量センサの一実施例の原理図、第8a図お
よびisb図はそれぞれ本発明Q)装置の下側と上側の
平らな電極の可能な実施例の平面図、第9a図および第
9b図はそれぞれそれらの電極の改良した別の実施例の
平面図である。 1.2・・・堅い板、3・・・弾性体、4,5・・・非
導電性円板、6 、7 、11 、12 、13 、1
4 、15 、16 、17 、18 、19 。 20 、21・・・電極、8・・・弾性部材、9,10
・・・す/グ。 手続補正書く方側 昭和59年6月lメ日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 1 事件の表示 昭和59年特許願第33332号 2 発明の名称 力 測 定 装 置 3 補正をする者 事件との関係 特許出願人 クリストフ、ベー、プルクハルト 4代理人 昭和59年5月9日 (発送日 昭和59年5月29日) 6 補正の対象 図 面 7 補正の内容
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、上部の堅い要素および下部の竪い要素と、それら上
部と下部の竪い要素を連結する弾性体と、 この弾性体とは独立しているが、前記堅い要素とは一体
であり、少くとも1つの容量センサで構成される測定素
子と、 容量セ/すに接続される測定器と、 を備え、前記容量センサは第1の部分と第2の部分で構
成され、各部分は、第1の部分の電極が誘電体なはさん
で第2の部分の電極に向き合うように、配置されている
ことを特徴とする力測定装置。 2、特許請求の範囲第1項に記載の装置であって、容量
セ/すは複数の平らな電極を含み、センサの2つの部分
のうちの一方の部分の少(とも1つの電極は、他方の部
分の電極に対して横方向へずらされ、電極の組合せおよ
び電極の接続、の組合せに応じて、センサが差動センサ
または近接センナとして機能するよ5にされ、測定器は
、電極の種々の組合せにより発生された信号を処理する
ため、および2つの堅い要素に対する運動の全ての自由
度を測定するための電子装置を含んでいる、 ことを特徴とする力測定装置。 3、%許請求の範囲第2項に記載の装置であって、セン
サの第1の部分と第2の部分は非導電性の円板により構
成ぎれ、電極に接続される電子測定器は、それに組込ま
れるモノリンツク集積回路によって構成されていること
を特徴とする力測定装置。 4、上部の堅め要素および下部の堅い要素と、中空円筒
により構成され、上部と下記の前記要素を連結する弾性
体と、 この弾性体とは独立しているが、前記堅い要素とは一体
であり、少くとも1つの容童センサで構成される測定素
子と、 容量センサに接続される測定器と、 を備え、前記中空円筒は機械加工されて、アノグル状に
曲げられたりゾの弾性部材により連結された2個の堅い
す/グを頂部と底部に形成し、前記容量センサは第1の
部分と第2の部分で構成され、各部分は、第1の部分の
電極が誘電体をはさんで第2の部分の電極に向き合5よ
うに、配置されていることを特徴とする力測定装置。 5、特許請求の範囲第4項に記載の装置であって、容量
センサは複数の平らな電極を含み、センサの2つの部分
のうちの一方の部分の少くとも1つの電極は他方の部分
の電極に対して横にずらされて、電極の組合せおよび電
極の接続、の組合せに応じて、センサが差動セ/すまた
は近接センサとして機能するようにされ、 測定器は、電極の種々の組合せにより発生された信号を
処理するため、および2つの堅い要素に対する運動の全
ての自由度を測定するための電子装置を含んでいる、 ことな特徴とする力測定装置。 6、特許請求の範囲第5項に記載の装置であって、セン
サの第1の部分と第2の部分は非導電性の円板により構
成され、電極に接続される電子測定器は、それに組込ま
れるモノリシック集積回路により構成されていることを
特徴とする力測定装置。 7、上部の堅い要素および下部の堅い要素と、穴をあけ
られた中空円筒により構成され、上部と下部の堅い要素
を連結する弾性体と、この弾性体とは独立しているが、
前記堅い要素とは一体であり、少くとも1つの容量セン
ナで構成される測定素子と、 容量センサに接続される測定器と。 を儂え、前記容量セ/Vは第1の部分と第2の部分な備
え、各部分は少くとも1つの平らな電極を支持する平ら
な表面を呈し、第1の部分の電極が誘電体をはさんで第
2の部分の電極に向き合うように、それらの部分は配置
されていることな特徴とする力測定装置。 8、特許請求の範囲第7項に記載の装置であって、容量
センナは複数の平らな電極を含み、センサの2つの部分
のうちの一方の部分の少くとも1つの電極は他方の部分
の電極に対して横にずらされて、電極の組合せおよび電
極の接続、の組合せに応じて、セ/すが差動センサまた
は近接センサとして機能するようにされ、 測定器は、電極の種々の組合せにより発生された信号を
処理するため、および2つの堅い要素に対する運動の全
ての自由度な測定するための電子装置を含んでいる、 ことな特徴とする力測定装置。 9、特許請求の範囲第8項に記載の装置であって、セン
サの第1の部分と第2の部分は非導電性円板により構成
され、電極に接続される電子測定器は、それに組込まれ
るモノリシック集積回路により構成されていることを特
徴とする力測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH1002/83A CH651928A5 (fr) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | Dispositif de mesure de force. |
| CH1002/83-2 | 1983-02-23 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6085342A true JPS6085342A (ja) | 1985-05-14 |
| JPH0534615B2 JPH0534615B2 (ja) | 1993-05-24 |
Family
ID=4200157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59033332A Granted JPS6085342A (ja) | 1983-02-23 | 1984-02-23 | 力測定装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4552028A (ja) |
| EP (1) | EP0123646B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6085342A (ja) |
| AU (1) | AU568331B2 (ja) |
| CA (1) | CA1204299A (ja) |
| CH (1) | CH651928A5 (ja) |
| DE (1) | DE3466805D1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992017759A1 (fr) * | 1991-03-30 | 1992-10-15 | Kazuhiro Okada | Procede pour verifier, en fonction du changement de l'ecartement entre deux electrodes, le fonctionnement d'un dispositif servant a mesurer des grandeurs physiques, et dispositif de mesure de grandeurs physiques permettant de mettre en ×uvre ledit procede |
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| EP0123646A2 (fr) | 1984-10-31 |
| AU568331B2 (en) | 1987-12-24 |
| CA1204299A (en) | 1986-05-13 |
| AU2483984A (en) | 1984-08-30 |
| JPH0534615B2 (ja) | 1993-05-24 |
| CH651928A5 (fr) | 1985-10-15 |
| DE3466805D1 (en) | 1987-11-19 |
| EP0123646B1 (fr) | 1987-10-14 |
| EP0123646A3 (en) | 1985-10-09 |
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