JPS608582B2 - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
- Publication number
- JPS608582B2 JPS608582B2 JP55137995A JP13799580A JPS608582B2 JP S608582 B2 JPS608582 B2 JP S608582B2 JP 55137995 A JP55137995 A JP 55137995A JP 13799580 A JP13799580 A JP 13799580A JP S608582 B2 JPS608582 B2 JP S608582B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lamp
- microwave
- light source
- source device
- lamp support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は「 マイクロ波放電を利用した光源装置に関
するものである。
するものである。
最近、放電利用の光源装置として高周波放電、特に高周
波にマイクロ波を用いた光源装置が注目されている。
波にマイクロ波を用いた光源装置が注目されている。
従来の有電極の光源装置ではランプの寿命が電極の消耗
により決定されていたが、マイクロ波を用いた光源装置
ではランプを無電極にできるため、ランプ寿命が長くな
るという特長がある。また、電極による熱損失がなく、
放電のインピーダンスが点灯初期状態と安定点灯状態で
差が小さいため、点灯初期状態での電力注入が容易であ
り、さらに放電電力がランプ管壁に偏っている等のため
にランプ最大出力到達までの時間が短かくなるという特
長もある。
により決定されていたが、マイクロ波を用いた光源装置
ではランプを無電極にできるため、ランプ寿命が長くな
るという特長がある。また、電極による熱損失がなく、
放電のインピーダンスが点灯初期状態と安定点灯状態で
差が小さいため、点灯初期状態での電力注入が容易であ
り、さらに放電電力がランプ管壁に偏っている等のため
にランプ最大出力到達までの時間が短かくなるという特
長もある。
第１図はこれらの特長を利用し、本出願人が先に提案し
たマイク。
たマイク。
波放電光源装置の構成を示す縦断面図である。図におい
て１はマグネトロソ、２はマグネトロンアンテナ、３は
導波管、４は半球形状に構成されたマイクロ波空耳同、
５はこの空月岡４と導波管３の接合部に設けられたマイ
クロ波給電口、６は発光バルブ６１と同一の石英ガラス
で形成された突出部６２を発光バルブ６１より対称方向
に突出させた球形のランプ、７はファン、８‘ま空８同
４の背面に設けられた通気口、９は空胴４の前面を覆う
メッシュ板、１川まマグネトロンー、導波管３、空耳同
４等を収容する箱体である。次に動作について説明する
。マグネトロン１によって発生したマイクロ波はマグネ
トロンアンテナ２を通じて導波管３中に放射される。こ
のマイクロ波は導波管３を伝幡し給電口５を通して空耳
同４中に放射され、空胴４中にマイクロ波電磁界を形成
する。このマイクロ波電磁界により、ランプ６中の希ガ
スが放電し、管壁が熱せられ管中にある水銀等の金属が
蒸発しガス化され金属ガスの放電が起こる。この時金属
の種類に応じた特定の発光スペクトルを持つ光が発生す
る。この光を有効に利用するためト空胴４の後面で反射
面を形成させるとともに前面をマイクロ波は透過させな
いが光は透過させるメッシュ板で覆い〜光を前面のみに
放射させている。一方、マグネトロン富およびランプ６
は冷却する必要があるため」ファン孔とより送気してマ
グネトロン１を冷却し「 さらにこの送気は通気口８を
通してランプ蟹を冷却した後〆ッシュ板９より排気され
るよう構成している。このように構成されたマイクロ波
光源装置にあっては、ランプ６が小さいので空胴亀の反
射面の形状を適当な形状とすることにより所望の照度分
布が得やすい。また、マイクロ波電磁界分布のむらによ
る発光強度分布のむらを小さくでき」被照射面を均一に
照射できる等の利点がある。しかしながら、ランプ６の
支持構造が発光バルブ６１より延設された細長い石英ガ
ラス製の突出部先端も空胴壁部母１に係合させるもので
あるから「 ランプ６の装置時に度々突出部亀亀の折損
を招き〜高価なランプ６が無駄になり問題であった。こ
の場合破損防止のため突出部６２を太くすると、熱容量
が大きくなり過ぎランプ６の点灯特性を悪くし実用的で
ない。この発明は上記事情に鑑みてなされたものでｔマ
イクロ波空胴の壁面に一端が支持され他端にランプ支持
部を形成したランプ支持体を設け、この支持体のランプ
支持部にランプの突出部を支持させて、ランプの点灯特
性を損なわずにランプ突出部の破損事故を防止し、ラン
プを無駄なく使用できるマイクロ波放電光源装置を提供
しようとするものである。
て１はマグネトロソ、２はマグネトロンアンテナ、３は
導波管、４は半球形状に構成されたマイクロ波空耳同、
５はこの空月岡４と導波管３の接合部に設けられたマイ
クロ波給電口、６は発光バルブ６１と同一の石英ガラス
で形成された突出部６２を発光バルブ６１より対称方向
に突出させた球形のランプ、７はファン、８‘ま空８同
４の背面に設けられた通気口、９は空胴４の前面を覆う
メッシュ板、１川まマグネトロンー、導波管３、空耳同
４等を収容する箱体である。次に動作について説明する
。マグネトロン１によって発生したマイクロ波はマグネ
トロンアンテナ２を通じて導波管３中に放射される。こ
のマイクロ波は導波管３を伝幡し給電口５を通して空耳
同４中に放射され、空胴４中にマイクロ波電磁界を形成
する。このマイクロ波電磁界により、ランプ６中の希ガ
スが放電し、管壁が熱せられ管中にある水銀等の金属が
蒸発しガス化され金属ガスの放電が起こる。この時金属
の種類に応じた特定の発光スペクトルを持つ光が発生す
る。この光を有効に利用するためト空胴４の後面で反射
面を形成させるとともに前面をマイクロ波は透過させな
いが光は透過させるメッシュ板で覆い〜光を前面のみに
放射させている。一方、マグネトロン富およびランプ６
は冷却する必要があるため」ファン孔とより送気してマ
グネトロン１を冷却し「 さらにこの送気は通気口８を
通してランプ蟹を冷却した後〆ッシュ板９より排気され
るよう構成している。このように構成されたマイクロ波
光源装置にあっては、ランプ６が小さいので空胴亀の反
射面の形状を適当な形状とすることにより所望の照度分
布が得やすい。また、マイクロ波電磁界分布のむらによ
る発光強度分布のむらを小さくでき」被照射面を均一に
照射できる等の利点がある。しかしながら、ランプ６の
支持構造が発光バルブ６１より延設された細長い石英ガ
ラス製の突出部先端も空胴壁部母１に係合させるもので
あるから「 ランプ６の装置時に度々突出部亀亀の折損
を招き〜高価なランプ６が無駄になり問題であった。こ
の場合破損防止のため突出部６２を太くすると、熱容量
が大きくなり過ぎランプ６の点灯特性を悪くし実用的で
ない。この発明は上記事情に鑑みてなされたものでｔマ
イクロ波空胴の壁面に一端が支持され他端にランプ支持
部を形成したランプ支持体を設け、この支持体のランプ
支持部にランプの突出部を支持させて、ランプの点灯特
性を損なわずにランプ突出部の破損事故を防止し、ラン
プを無駄なく使用できるマイクロ波放電光源装置を提供
しようとするものである。
以下この発明の一実施例を第２図に基づいて説明する。
図において１３は円筒形した透光性石英管よりなる２個
のランプ支持体で、このランプ支持体１３は一端が空月
岡壁４１の支持部官２に挿入され、ねじ１４によって固
定されており（一方のみ図示）、マイクロ波空月岡４内
に突出する先端間隔は、ランプ６の外径にほぼ対応して
いる。さらにこの先端部にはランプ６の突出部６２を挿
入する挿入溝１１が上向き‘こ形成されている。そして
ランプ６の固定はランプ支持体亀３の挿入溝亀１にラン
プ６の突出部６２を上方より落し込むことによって所定
位置に支持固定される。ここでランプ支持体１３の材質
として、石英管を使用しているのは光の透過損失を少な
くするとともに、マイクロ波空胴４内の電磁界分布の乱
れを少なくするためである。なお上記以外は第蔓図に示
すものと同様に構成されている。このような磯成にする
ことにより、ランプ支持体亀３のランプ支持部竃川ま「
ランプ６の突出部６２に作用する曲げモーメントを小
さくするので、突出部６２も太くするなどの手段を用い
ずに突出部６２の折損を防げる。
のランプ支持体で、このランプ支持体１３は一端が空月
岡壁４１の支持部官２に挿入され、ねじ１４によって固
定されており（一方のみ図示）、マイクロ波空月岡４内
に突出する先端間隔は、ランプ６の外径にほぼ対応して
いる。さらにこの先端部にはランプ６の突出部６２を挿
入する挿入溝１１が上向き‘こ形成されている。そして
ランプ６の固定はランプ支持体亀３の挿入溝亀１にラン
プ６の突出部６２を上方より落し込むことによって所定
位置に支持固定される。ここでランプ支持体１３の材質
として、石英管を使用しているのは光の透過損失を少な
くするとともに、マイクロ波空胴４内の電磁界分布の乱
れを少なくするためである。なお上記以外は第蔓図に示
すものと同様に構成されている。このような磯成にする
ことにより、ランプ支持体亀３のランプ支持部竃川ま「
ランプ６の突出部６２に作用する曲げモーメントを小
さくするので、突出部６２も太くするなどの手段を用い
ずに突出部６２の折損を防げる。
したがって、ランプの点灯特性を損なわずにランプの無
駄をなくせ得る。第３図は両端関口の円筒形したランプ
支持体亀３の一方の開□部をランプ支持部亀亀とすると
ともに「一方のランプ支持体竃３を空胸部母川こ進退自
在に取り付けた他の実止例を示すものである。
駄をなくせ得る。第３図は両端関口の円筒形したランプ
支持体亀３の一方の開□部をランプ支持部亀亀とすると
ともに「一方のランプ支持体竃３を空胸部母川こ進退自
在に取り付けた他の実止例を示すものである。
このようにしたものはランプ６の固定も確実であり、ま
たマイクロ波空月同母の設置方向が上下方向いずれの場
合にあってもランプ６の移動または落下を防ぐことがで
きる。第４図はこの発明のさらに他の実施例を示すもの
で、ランプ支持体重３１個を、その先端がメッシュ板９
に向って傾斜するように設け、先端部に形成されたラン
プ支持部亀１‘こランプ６の突出部６２を挿入させたも
のである。
たマイクロ波空月同母の設置方向が上下方向いずれの場
合にあってもランプ６の移動または落下を防ぐことがで
きる。第４図はこの発明のさらに他の実施例を示すもの
で、ランプ支持体重３１個を、その先端がメッシュ板９
に向って傾斜するように設け、先端部に形成されたラン
プ支持部亀１‘こランプ６の突出部６２を挿入させたも
のである。
この実施例はメッシュ板９が上向きとなるような使用状
態において、特にランプ支持体亀３およびランプ６の構
成が簡単になる等の効果を奏するものである。なお、上
記し、ずれの実施例においてもランプ支持体亀３の材質
は石英ガラ管に限らず、ランプ突出部６２を確実に保持
でき、空８両４内の電磁界分布の乱れを少なくできる石
英、アルミナ等の誘電体であれば良い。又「 ランプ支
持体１３を支持する空８同支持部Ｇ２の構造は、ランプ
支持体１３を確実に保持できマイクロ波を透過しない構
造であれば、密閉又は開放のどちらでも良い。ランプ突
出部６２およびランプ支持体１３の数はも上記実施例の
ように１個および２個に限らず〜 ３個以上でも良い。
この発明は以上説明したように、マイクロ波電磁界を形
成するマイクロ波空耳同の壁部に一端が支持され池端に
ランプ支持部を形成したランプ支持体を設け「 この支
持体のランプ支持部にランプに形成した突出部を支持さ
せたので、ランプの点灯特性を損なわずにランプの突出
部の折損事故を防止でき、よってランプを無駄にするこ
となく使用し得る効果がある。
態において、特にランプ支持体亀３およびランプ６の構
成が簡単になる等の効果を奏するものである。なお、上
記し、ずれの実施例においてもランプ支持体亀３の材質
は石英ガラ管に限らず、ランプ突出部６２を確実に保持
でき、空８両４内の電磁界分布の乱れを少なくできる石
英、アルミナ等の誘電体であれば良い。又「 ランプ支
持体１３を支持する空８同支持部Ｇ２の構造は、ランプ
支持体１３を確実に保持できマイクロ波を透過しない構
造であれば、密閉又は開放のどちらでも良い。ランプ突
出部６２およびランプ支持体１３の数はも上記実施例の
ように１個および２個に限らず〜 ３個以上でも良い。
この発明は以上説明したように、マイクロ波電磁界を形
成するマイクロ波空耳同の壁部に一端が支持され池端に
ランプ支持部を形成したランプ支持体を設け「 この支
持体のランプ支持部にランプに形成した突出部を支持さ
せたので、ランプの点灯特性を損なわずにランプの突出
部の折損事故を防止でき、よってランプを無駄にするこ
となく使用し得る効果がある。
第１図は本出願人が先に提案したマイクロ波放電光源装
置の構成を示す縦断面図、第２図はこの発明の要部を一
部断面にして示す分解斜視図、第３図はこの発明の他の
実施例を示す部分断面図、第４図はこの発明のさらに異
なる他の実施例を示す部分断面図。 図において１はマグネトロン、４はマイクロ波空月同、
６はランプ、１１はランプ支持部、１３はランプ支持体
、６１は発光バルブ「 ６２は突出部である。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。第１
図 第２図 第３図 第４図
置の構成を示す縦断面図、第２図はこの発明の要部を一
部断面にして示す分解斜視図、第３図はこの発明の他の
実施例を示す部分断面図、第４図はこの発明のさらに異
なる他の実施例を示す部分断面図。 図において１はマグネトロン、４はマイクロ波空月同、
６はランプ、１１はランプ支持部、１３はランプ支持体
、６１は発光バルブ「 ６２は突出部である。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。第１
図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ マイクロ波電磁界を形成するマイクロ波空胴、一端
がこのマイクロ波空胴の壁部に支持され他端にランプ支
持部を形成したランプ支持体、発光バルブに突設された
突出部が上記ランプ支持部に支持され上記マイクロ波空
胴内の所定位置に固定されたランプを備えたことを特徴
とするマイクロ波放電光源装置。 ２ ランプ支持体は少なくともその１個がマイクロ波空
胴壁部に進退自在に支持されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のマイクロ波放電光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55137995A JPS608582B2 (ja) | 1980-10-02 | 1980-10-02 | マイクロ波放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55137995A JPS608582B2 (ja) | 1980-10-02 | 1980-10-02 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5763766A JPS5763766A (en) | 1982-04-17 |
| JPS608582B2 true JPS608582B2 (ja) | 1985-03-04 |
Family
ID=15211597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55137995A Expired JPS608582B2 (ja) | 1980-10-02 | 1980-10-02 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608582B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11309228B2 (en) | 2019-10-08 | 2022-04-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Packaged semiconductor devices having enhanced thermal transport and methods of manufacturing the same |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3873884A (en) * | 1973-03-01 | 1975-03-25 | Perkin Elmer Corp | Electrodeless discharge lamp and power coupler therefor |
| US3872349A (en) * | 1973-03-29 | 1975-03-18 | Fusion Systems Corp | Apparatus and method for generating radiation |
-
1980
- 1980-10-02 JP JP55137995A patent/JPS608582B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11309228B2 (en) | 2019-10-08 | 2022-04-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Packaged semiconductor devices having enhanced thermal transport and methods of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5763766A (en) | 1982-04-17 |
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