JPS6088201U - 素子寸法チエツクパタ−ン - Google Patents

素子寸法チエツクパタ−ン

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Publication number
JPS6088201U
JPS6088201U JP18034883U JP18034883U JPS6088201U JP S6088201 U JPS6088201 U JP S6088201U JP 18034883 U JP18034883 U JP 18034883U JP 18034883 U JP18034883 U JP 18034883U JP S6088201 U JPS6088201 U JP S6088201U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
patterns
check pattern
element dimension
dimension check
straight line
Prior art date
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Pending
Application number
JP18034883U
Other languages
English (en)
Inventor
高梨　幹夫
清水　義一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS6088201U publication Critical patent/JPS6088201U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の素子寸法チェックパターンの平面図、第
２図は本考案による素子寸法チェックパターンの一実施
例を示す平面図、第３図は形成された素子の寸法が下限
値Ｗ−ΔＷの場合における前記第２図の素子寸法チェッ
クパターンの状態、第４図は形成された素子の寸法が上
限値Ｗ＋ΔＷの場合における前記第２図の素子寸法チェ
ックパターンの状態を表わす。 １・・・・・・チェックパターン、１０．２０．３０・
・・・・・チェックパターンを構成する矩形パターン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. それぞれが少なくとも一つの直線部分を有し、各直線部
    分が一方向に対して互いに平行になるように配置された
    少なくとも３つのパターンから構成され、３つのパター
    ンのうち隣接する第１および第２のパターンは所定の距
    離をもって前記一方向に対して垂直方向に重っており、
    他の隣接する第２および第３のパターンは前記所定の距
    離をもって前記垂直方向に離れていることを特徴とする
    素子寸法チェックパターン。
JP18034883U 1983-11-22 1983-11-22 素子寸法チエツクパタ−ン Pending JPS6088201U (ja)

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JP18034883U JPS6088201U (ja) 1983-11-22 1983-11-22 素子寸法チエツクパタ−ン

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JP18034883U JPS6088201U (ja) 1983-11-22 1983-11-22 素子寸法チエツクパタ−ン

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Publication Number Publication Date
JPS6088201U true JPS6088201U (ja) 1985-06-17

Family

ID=30391063

Family Applications (1)

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JP18034883U Pending JPS6088201U (ja) 1983-11-22 1983-11-22 素子寸法チエツクパタ−ン

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JP (1) JPS6088201U (ja)

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