JPS5821141U - マスクパタ−ン - Google Patents

マスクパタ−ン

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Publication number
JPS5821141U
JPS5821141U JP1981114358U JP11435881U JPS5821141U JP S5821141 U JPS5821141 U JP S5821141U JP 1981114358 U JP1981114358 U JP 1981114358U JP 11435881 U JP11435881 U JP 11435881U JP S5821141 U JPS5821141 U JP S5821141U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
mask pattern
center
patterns
extension line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1981114358U
Other languages
English (en)
Inventor
良一 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
Priority to JP1981114358U priority Critical patent/JPS5821141U/ja
Publication of JPS5821141U publication Critical patent/JPS5821141U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の寸法検査を行なうパターンの一例を示す
平面図、第１図Ａは同断面図、第２図はこの考案の一実
施例によるマスクパターンを示す平面図、第３図および
第４図は第２図の実施例のマスクパターンの互に異なっ
た使用例をそれぞれ示す平面図、第５図および第６図は
第２図の実施　　　・例のマスクパターンを用いる被検
査パターンの互に異なった例をそれぞれ示す平面図であ
る。 １５．１６・・・中央部のパターンの辺、１７゜１８・
・・外側のパターンの共通の延長線、２１゜２２．２３
．２４・・・外側の正方形のパターン、２５・・・中央
部の正方形のパターン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 中央部に設けた長方形または正方形のパターン２５と、
    これの４隅外側に配置した４個の長方形または正方形の
    パターン２１．　２２．　２３．　２４□とからなるマ
    スクパターンにおいて、中央部に設けた前記パターン２
    ５の一辺１５は外側の前記パターン２１．２２の共通の
    延長線１６から所定距離２７ａだけ離間していると共に
    、中央部に設けたパターン２５の一辺Ｌ５と反対側の他
    辺１７は外側の他のパターン２３．２４の共通の延長線
    １８から所定距離２７ｂだけ同一方向に離間しているこ
    とを特徴とするマスクパターン。
JP1981114358U 1981-08-03 1981-08-03 マスクパタ−ン Pending JPS5821141U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981114358U JPS5821141U (ja) 1981-08-03 1981-08-03 マスクパタ−ン

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981114358U JPS5821141U (ja) 1981-08-03 1981-08-03 マスクパタ−ン

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5821141U true JPS5821141U (ja) 1983-02-09

Family

ID=29908635

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1981114358U Pending JPS5821141U (ja) 1981-08-03 1981-08-03 マスクパタ−ン

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5821141U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61162022U (ja) * 1985-03-27 1986-10-07
JPS6333609U (ja) * 1986-08-20 1988-03-04

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5396674A (en) * 1977-02-03 1978-08-24 Mitsubishi Electric Corp Photo mask

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5396674A (en) * 1977-02-03 1978-08-24 Mitsubishi Electric Corp Photo mask

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61162022U (ja) * 1985-03-27 1986-10-07
JPS6333609U (ja) * 1986-08-20 1988-03-04

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