JPS6088458U - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents

マイクロ波放電光源装置

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Publication number
JPS6088458U
JPS6088458U JP18198183U JP18198183U JPS6088458U JP S6088458 U JPS6088458 U JP S6088458U JP 18198183 U JP18198183 U JP 18198183U JP 18198183 U JP18198183 U JP 18198183U JP S6088458 U JPS6088458 U JP S6088458U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
source device
microwave
discharge light
cooling port
Prior art date
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Pending
Application number
JP18198183U
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English (en)
Inventor
勲 正田
馬込　一男
児玉　仁史
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Publication of JPS6088458U publication Critical patent/JPS6088458U/ja
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  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の構成図、第２図は本考案装置の構成
図、第３図および第４図は夫々従来装置および本考案装
置の冷却風の流れを示す図である。 １・・・マグネトロン、３・・・導波管、４・・・マイ
クロ波空胴壁、６・・・マイクロ波空胴、７・・・無電
極放電ランプ、８・・・給電口、１２・・・冷却口、１
３，１３′・・・補助冷却口。尚、図中同一符号は同−
又は相当部分を示す。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）マイクロ波空胴内に配設した無電極放電ランプを
    マイクロ波空胴内に入射したマイクロ波により放電発光
    させるマイクロ波放電光源装置において、マイクロ波空
    胴の壁部に強制冷却風を無電極放電ランプに送るための
    冷却口を設けるとともにこの冷却口の周囲に強制冷却風
    をマイクロ波空胴内に送入する補助冷却口を設けたこと
    を特徴とするマイクロ波放電光源装置。
  2. （２）補助冷却口からの風束が冷却口からの風速より小
    さくなるようにしたことを特徴とする実用新案登録請求
    の範囲第１項記載のマイクロ波放電光源装置。
JP18198183U 1983-11-25 1983-11-25 マイクロ波放電光源装置 Pending JPS6088458U (ja)

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JP18198183U JPS6088458U (ja) 1983-11-25 1983-11-25 マイクロ波放電光源装置

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JP18198183U JPS6088458U (ja) 1983-11-25 1983-11-25 マイクロ波放電光源装置

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Publication Number Publication Date
JPS6088458U true JPS6088458U (ja) 1985-06-18

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ID=30394213

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JP18198183U Pending JPS6088458U (ja) 1983-11-25 1983-11-25 マイクロ波放電光源装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0451757U (ja) * 1990-09-05 1992-04-30

Cited By (1)

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