JPS6090837U - 吸着固定テ−ブル - Google Patents
吸着固定テ−ブルInfo
- Publication number
- JPS6090837U JPS6090837U JP1983184241U JP18424183U JPS6090837U JP S6090837 U JPS6090837 U JP S6090837U JP 1983184241 U JP1983184241 U JP 1983184241U JP 18424183 U JP18424183 U JP 18424183U JP S6090837 U JPS6090837 U JP S6090837U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed table
- suction fixed
- porous metal
- circular groove
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はポーラスメタルによる吸着テーブルの断面図、
第２図は本考案の吸着テーブルの断面図、第３図はテー
ブルの平面図。 １・・・テーブル、２・・・ポーラスメタル部、３・・
・吸引路、４・・・ウェハ、５・・・円形溝、７・・・
連絡溝、８・・・垂直連結孔。
第２図は本考案の吸着テーブルの断面図、第３図はテー
ブルの平面図。 １・・・テーブル、２・・・ポーラスメタル部、３・・
・吸引路、４・・・ウェハ、５・・・円形溝、７・・・
連絡溝、８・・・垂直連結孔。
Claims (1)
- 中央部をポーラスメタルによって構成し、その表面に被
吸着部材を吸着固定するテーブルであって、テーブルの
ポーラスメタル部分を囲う外縁部の表面に円形溝を刻み
、この円形溝をテーブル内の真空吸引部に連通してなる
吸着固定テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983184241U JPS6090837U (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 吸着固定テ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983184241U JPS6090837U (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 吸着固定テ−ブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6090837U true JPS6090837U (ja) | 1985-06-21 |
Family
ID=30398535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983184241U Pending JPS6090837U (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 吸着固定テ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6090837U (ja) |
-
1983
- 1983-11-28 JP JP1983184241U patent/JPS6090837U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60103651U (ja) | 真空吸着台 | |
| JPS6237932U (ja) | ||
| JPS60130647U (ja) | 保持装置 | |
| JPS58152174U (ja) | 食器固定用吸着マツト | |
| JPS59434U (ja) | 陶磁器の被施「あ」物の押え針を無針にする台座 | |
| JPS5997840U (ja) | 吸着固定装置 | |
| JPS6065776U (ja) | 花吸盤告知板 | |
| JPS60126722U (ja) | 壁面取付具 | |
| JPS598718U (ja) | サ−フエスブロ−チ | |
| JPS6071596U (ja) | 薄板切断道具 | |
| JPS5817993U (ja) | 吸盤 | |
| JPS593540U (ja) | 真空吸着ヘツドの構造 | |
| JPS6120287U (ja) | 突出軸付吸盤 | |
| JPS59169046U (ja) | 吸着器 | |
| JPS6043716U (ja) | 三角の吸着器 | |
| JPS5931752U (ja) | 小形リレ− | |
| JPS60103720U (ja) | 吸盤 | |
| JPS59160890U (ja) | 送風機 | |
| JPS60114369U (ja) | 真空フランジ | |
| JPS5884767U (ja) | テ−ブルクロス | |
| JPS6115240U (ja) | 吸盤 | |
| JPS6014316U (ja) | 吸着盤 | |
| JPS59171341U (ja) | マウント装置 | |
| JPS5839729U (ja) | 多チヤンネル薄膜磁気ヘツド | |
| JPS6059536U (ja) | チヤツキング・テ−ブル |