JPS6090838U - ウエ−ハカセツト治具 - Google Patents
ウエ−ハカセツト治具Info
- Publication number
- JPS6090838U JPS6090838U JP18429483U JP18429483U JPS6090838U JP S6090838 U JPS6090838 U JP S6090838U JP 18429483 U JP18429483 U JP 18429483U JP 18429483 U JP18429483 U JP 18429483U JP S6090838 U JPS6090838 U JP S6090838U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cassette
- cassette jig
- jig
- groove
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のウェーハカセット治具の外観を示す斜視
図、第２図はウェーハを溝に挿入した様−子を示す断面
図、第３図および第４図はウェーハカセット治具を使用
した洗浄の様子を示す斜視図および部分断面図、第５図
は本考案にがかるウェーハカセット治具の外観を示す斜
視図、第６図はこの治具を使用した洗浄の様子を示す部
分断面図である。 １．２１・・・・・・本体、２．３． ２２． ２３・
・・・・・内側面部、４，２４・・・・・・底面部、５
，２５・・・・・・溝、７．８，９，２８・・・・・・
開口、１０・・・・・・つ゛ニーム、Ａ・・・・・・洗
浄液の流れ。
図、第２図はウェーハを溝に挿入した様−子を示す断面
図、第３図および第４図はウェーハカセット治具を使用
した洗浄の様子を示す斜視図および部分断面図、第５図
は本考案にがかるウェーハカセット治具の外観を示す斜
視図、第６図はこの治具を使用した洗浄の様子を示す部
分断面図である。 １．２１・・・・・・本体、２．３． ２２． ２３・
・・・・・内側面部、４，２４・・・・・・底面部、５
，２５・・・・・・溝、７．８，９，２８・・・・・・
開口、１０・・・・・・つ゛ニーム、Ａ・・・・・・洗
浄液の流れ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上方から挿入される複数のウェーハを保持する複数の溝
を対向する内面側面部を有し、かつ少なくとも底面部に
開口部を有するウェーハカセット治具において、 前記複数の溝を前記ウェーハカセット治具の底面に垂直
な線に対し所定の角度をなすように形成したことを特徴
とするウェーハカセット治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18429483U JPS6090838U (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | ウエ−ハカセツト治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18429483U JPS6090838U (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | ウエ−ハカセツト治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6090838U true JPS6090838U (ja) | 1985-06-21 |
Family
ID=30398638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18429483U Pending JPS6090838U (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | ウエ−ハカセツト治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6090838U (ja) |
-
1983
- 1983-11-29 JP JP18429483U patent/JPS6090838U/ja active Pending
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