JPS609132A - 半導体樹脂封止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、半導体樹脂封止装置に関する。

〔発明の背景技術〕

第１図は、従来の半導体樹脂封止装置の概略構成を示す
説明図である。図中１は、基台である。樹脂封止全行う
型２が設置されている。型２上には、型２内に樹脂タブ
レット搬出口するだめのマルチシランジャー３が設けら
れている。

型２は、上型２ａと下型２ｂ衝合自在に対設して構成さ
れている。下型２ｂには、第２図に示す如く、樹脂タブ
レットが溜められるカル部４及びこれに連通して被封正
体が収容されるキャビティ５が形成されている。型２の
近傍の基台１上には、型２内へ樹脂タブレット６を供給
するための搬送板７及び搬送板７上の樹脂タブレット６
を押出するエアシリンダ８，９が設ケラれている。搬送
板７の上方には、樹脂タブレット６を収容したスティッ
ク１０が設けられている。スティック１０から搬送板７
上に供給された樹脂タグレッド６は、エアシリンダ８，
９によって、第３図に示す如く、ポット１１内有する上
乙〜す２ａの上方に搬送板７の全体と共に供給される。

搬送板７は、上板７ａと下板７ｂとで構成されておシ、
各々に接続され／ζエアシリンダ８，９によって独立し
て移動できるようになっている。

っまシ、スティック１０から搬送板７に供給された樹脂
タグレット６は、下板７ｂに支持された状態で第４図に
示す如く、上型２ａの上方に供給され、エアシリンダ８
によって下板７ｂ金引き戻すことによυ、上型２ａのポ
ット１１内に落下されるようになっている。ポット１１
内に樹脂タブレット６が供給されると、グランジャー９
により上板７ａが引き戻され、型２の上方に設けられた
マルチプシンジャー３によって４シ１脂タブレツト６は
型２内に圧入されるようになっている。

而して、このように構成された半導体樹脂封止装置２０
によれば、スティック１０から搬送板７上への樹脂タブ
レット６の供給は、第５図に示す如く行われている。先
ず、スティック１０内に積層して収納された樹お旨タブ
レット６の下段のものをタブレットストッパー１２にて
押し付けてその落下全防止する。タグレットストッパー
１２によって保持された樹脂タブレット６の直下の最下
段の樹脂タブレット６は、スティック１０の下端部に出
入自在に設けられた落下用下板１３によって保持されて
いる。この状態で落下用下板１３を外部に引き出すこと
にょシ、最下段の樹脂タグレッド６を搬送板７内に落下
させて供給する。樹脂タグレッド６が正しく搬送板７上
に供給されたか否かは、搬送板７の側部に設けられたタ
ブレット検出ビン１４を搬送板７の収容部内に出入させ
ることによシ行う。つまシ搬送板７上の樹脂タブレット
６にタブレット検出ビンＩ４の先端部を接触させて樹脂
タブレット６の有無を確認する。従って、搬送板７の所
定位置に全ての樹脂タブレット６が正しく設置されてい
ると、第６図（４）に示す如くタブレット検出ビン１４
は、全て搬出板７から所定量だけ外部に突出した状態と
なる。こ、の場合には、タグレット検出ビン１４の頂部
Ｚ４ａは、同図（Ｂ）に示す如く、外側のセンサー１４
ｂに対向するので、正しく樹脂タグレアトロが搬送板７
内に設置されていることが判る。また、搬送板７内に樹
脂タブレット６が供給されず空の状態の場合には、第７
図（４）に示す如く、タブレット検出ビン１４の全てが
搬送板７内に入シ、同図ｐ）に示す如く、頂部１４ａが
内側のセンサー１４　ｃに対向するので、搬送板７内が
空であることが判る。更に、搬送板７内の一部には樹脂
タグレアトロが供給され、他の部分には供給されずに空
になっている場合には、第８図（５）に示す如く、タブ
レット検出ビン１４は空の部分でだけ搬送板７内に押込
まれた状態となる。その結果、同図（１１）に示す如く
、内外筒センサー１４ｂ、１４ｃが、頂部で遮へいされ
た状態となり、この状態が確認される。搬送板７内に完
全に樹脂タブレット６が供給されている場合には、型２
内に供給され、空所がある場合にはこれを補充してから
型２内に樹脂タブレット６が供給される。

このような半導体樹脂封止装置■には、次の欠点があっ
た。

〔背景枝線の問題点〕

■　樹脂タブレット６の自然落下方式のため、搬送中は
樹脂タブレット６の落下を防ぐため下板７ｂが必要であ
る。下板７ｂと上板７ａの間に下板ｙｂ’ｌ移動させる
だめの隙間が必要であシ、この隙間に樹脂タブレット６
の破損したものが詰まる。

■　型２まで樹脂タブレット６を供給するのに、上板７
ａと下板７ｂとを同時に移動させ、次いで、下板７ｂｆ
：引き出して樹脂タブレット６を投下し、次に、上板７
ａを引き出してマルチプランジャー３を降下させる操作
が必要である。このような煩雑な操作のため、自動化に
よる作業性の向上を十分に達成できない。

■　センサー１４ｂ　、１４ｃとして通常フォトセンザ
ーが使用づれるが、センサー１４ｂ。

１４ｃの感度が不安定な場合、検出ミスが発生する。特
に樹脂粒がセンサー１４ｂ、１４ｃに付着して感度が不
安定になシ易い。

■　内外側の２個のセンサー１４ｂ、１４ｃで、複数個
の樹脂タブレット６の供給状態を監視するた°め、具体
的にどの位置に樹脂タブレット６が供給されていないか
を正確に知ることができない。

〔発明の目的〕

本発明は、破損したタブレットによる誤動作を防止し、
かつ、タブレットの有無ｋＢ精度に検知すると共に、ｍ
ｊｊｆＬな操作によって生産性の向上を達成した半４体
樹脂封止装置を提供することをその目白りとするもので
ある。

〔発明の概要〕

本発明は、クランパぞ−によりタブレットを挾持して金
型内に供給する機構を設けたことにより、破損したタブ
レットによる誤動作を防止し、かつ、タブレットの有無
を高精度に検知すると共に、簡単な操作によって生産性
の向上を達成した半導体樹脂封止装置である。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例について図面全参照して説明する
。

第９図は、本発明の一実施例の概略構成を示す説明図で
ある。図中３０は、図示しない基台上に載置された型３
１を構成する上型である。

上型３０の上方には、樹脂タブレット金型３１内に押込
むマルチプランツヤ−３２が設ｆｆうれている。型３１
の近傍の基台上には、樹脂タグレソトヲ収容したスティ
ック３３が設けられている。スティック３３の直下には
、スティック３３から搬出された樹脂タプレッｈ２挾持
するクランパー搬送部３４及びクランパー銹送部３４挾
持した樹脂タブレットを上型３０の上方に供給するシリ
ンダ部３５が設けられている。

第１０図は、クランパー搬送部３４の平面図である。

クランパー搬送部３４は、略コ字形のクラン・や−支持
体３５と、クランパー支持体３５に接続されたシリンダ
３６とを有している。このシリンダ３６によってクラン
パー支持体３５は、上型３０の上方に出入動するように
なっている。

クランパー支持体３５、には、スティック３３のタブレ
ット（般出口に対応してクランパー３７が複数個設けら
れている。クラン／＃−３７は、先端部を半円形状に湾
曲した挾持腕Ｊ７ａの対で構成されている。挾持腕３７
ａの対向間隔を自在に調節して、樹脂タブレット３８を
挾持するようになっている。クランノー搬送部３４の下
方には、架台３９が設けられている。架台３９には、ス
ティック３３から搬出されて来た樹脂タブレット３８を
支持する受台４０が昇降自在に設けられている。クラン
パー３７は、その端部を第１１図（４）及び同図（Ｂ）
に示す如く、クランパー支持体３５の枠部に形成された
収容部３５８に出入自在に取付けられている。クランパ
ー３７の出入動作は、収容部３５ａ内及びクランａ！　
−３７０後端部に取付けられた電磁コイル４１の磁界の
強度、電流方向を調節して制御するようになっている。

収容部３５ａの入口部には、クランパｅ−ａ７が押し出
された際ｇ’ｏ−Ｎ状態となるマイクロスイッチ４２が
取付けられている。

このマイクロスイッチ、４２のＯＮ　−ＯＦ’Ｆ動作に
よってクラン−ｆ−３７が、樹脂タグレフト３８を挾持
しているか否か判断するようになっている。

このように構成式れた半導体樹脂封止装置５０−によれ
ば、次のようにしてスティック３３から型３１内へ樹脂
タブレット３８が供給される。先ず、第１２図囚に示す
如く、スティック３３内に積層して収納された樹脂タブ
レット３８の下段のもの金、タグレットスト、・２−５
１にて押付けてその落下を防止する。このとき、架台−
３９の受台４０を上昇した位置に設定しておき、タブレ
ットスト、ノ４　５１で保持された樹脂タブレット３８
の直下の樹脂タブレット３８を受台４０で保持する。次
いで、同図（Ｂ）に示す如く、受台４０を降下すること
によって樹脂タグレッｌ−３８ｆ挟持腕３７ａに対向し
た位置まで降下する。この状態で第１１図（８）に示す
如く、電磁コイル４１を作動してクラン／４’　−３７
を押出し、挟持腕Ｊ７ａにて樹脂タブレット３８を挾持
する。第１２図（Ｃ）に示す如く、挾持腕３７ａにて完
全に樹脂タグレット３８が挾持されると、マイクロスイ
ッチ４２とクラン１４−３７の後端部が離間して、マイ
クロスイッチのＯＦＦ状態によシ樹脂タブレット３８を
挾持したことが確認される。然る後、シリンダ３６によ
シフラン・ンー支持体３５を上型３ｏの上方に押し出す
。クラン・ぞ−支持体３５にょシ樹脂タブレット３８が
上型３０の上方に供給されると、ｉ１３図に示す如く、
マルチプランジャー３２が降下して樹脂タブレット３８
を型３１内に押し込む。このときクランｉ４−３７の挾
持腕３７ａによる挾持は解除されている。従って、挾持
腕、？７ａとマルチグランジャー３２とは完全に離間し
ているので、マルチプランジャー３２による押し込み操
作の際にもクラン・や−支持体３５を引き戻すことがで
きる。以下、同様の操作によって樹脂タグレット３８の
型３１内への供給が行われる。

このように構成された半導体樹脂封止装置■は、次のよ
うな効果を有する。

■　樹脂タブレット３８全クラングする方式が採用され
ているので、クラン”−支ｎ体３５で移送する際に樹脂
タブレット３８の落下防止用の下板が不要となる。この
ため、樹脂タブレット３８の破片による搬送妨害を阻止
して、極めて円滑に樹脂タブレット３８を移送すること
ができる。

■　挾持腕３７ａにょる挾持を解除すれば樹脂タブレッ
ト３８は、上型３ｏの上方のポットに投入され、マルチ
プランツヤ−３２でこれを押し込みながらり２ン・ぐ−
支持体３５の引き戻し動作を同時に行うことができるの
で、自動化による作業性の向上を十分に達成することが
できる。

■　樹脂タブレット３８の保持状態の確認は、各々のク
ラン／ｆ　−３７の動作によってマイクロスイッチをＯ
Ｎ　−ＯＦＦさせて行うので、誤操作を減少して極めて
高い１度で行うことができる。

■　挾持腕３７ａにょる挾持は、個々の挾持腕、？７ａ
について行われるので、挾持ミスがあった場合には、速
やかに対策を講じることができる。

〔発明の効果〕

以上説明した如く、本発明に係る半導体樹脂封止装置に
よれば、破損したタブレットによる誤動作を防止し、か
つ、タブレットの有無を高精度に検知すると共に、簡単
な操作によって生産性を向上させることができる等顕著
な効果を有するものでおる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の半導体樹脂封止装置の概略構成金示す
説明図、第　２図は、下型の要部を示す斜視図、第３因
は、上型に搬送板によって樹脂タブレットを供給する、
状態を示す斜視図、第４図は、樹脂タブレット全ポット
内に導く状態を示す説明図、第５図は、搬送板に樹脂タ
ブレットヲ供給する状態を示す説明図、第６図乃至第８
図は、樹脂タブレットの有λ）（全検査する方法を示す
説明図、第９図は、本発明の一実施例の概略構成を示す
説明図、第１０図は、クランパー搬送部を示す説明図、
第１１図は、クランパーの取付は状態を示す説明図、第
１２図は、クランパや−にて樹脂タブレットを挾持する
状態を示す説明図、第１３図は、マルチプランツヤーに
て樹脂タブレット葡型内に押し込んでいる状態を示す説
明図である。 ３０・・上型、３１・・・型、３２・・・マルチグラン
ジャー、３３・・・スティック、３４・・・クランｉ４
−搬送部、３５・・・クランパー支持体、３６・・シリ
ンダ、３７・・・クランパー、３７ａ・・・挾持腕、３
８・・・樹脂タブレット、３９・・・架台、４ｄ・・・
受台、４１・・・電磁コイル、４２・・・マイクロスイ
ッチ、５０−・・半導体樹脂封止装置。 出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦第１　図 親 第２６

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被封止体ｋ　Ｉｕｊ脂封止する型と、該型のタブレット
   収納ポットに自在に出入するマルチグランジャーと、前
   記型に隣設され多数１固の樹脂タブレット全収容したス
   ティックと、該ステ・イックのタブレット搬出口に対向
   して受台を昇降自在に取付けた架台と、前記受台上の前
   記樹脂タブレット’を囲むように略コ字形をなすクラン
   パー支持体を有し、該クランノー支持体の対向辺部に前
   記樹脂タブレット’を挾持するように出入自在にクラン
   パーを設けると共に、該クラン・ヤ一の出入位置全検知
   するスイッチを設け、かつ、前記タブレット収納ポット
   の上方まで該クランパー支持体を往復動させるシリンダ
   を設けてなるり２ン・ぞ二搬送部とを具備することを特
   徴とする半導体樹脂封止装置。