JPS6092470A - 斜め方向に指向性を有する蒸発源装置 - Google Patents
斜め方向に指向性を有する蒸発源装置Info
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- JPS6092470A JPS6092470A JP19918383A JP19918383A JPS6092470A JP S6092470 A JPS6092470 A JP S6092470A JP 19918383 A JP19918383 A JP 19918383A JP 19918383 A JP19918383 A JP 19918383A JP S6092470 A JPS6092470 A JP S6092470A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空蒸着に使用される蒸発蒸気を斜め方向に指
向性を有するように蒸発させるに適した蒸発源装置に関
する。
向性を有するように蒸発させるに適した蒸発源装置に関
する。
従来蒸発源装置として例えば第１図示のように水冷銅ハ
ースａに蒸発材料すを入れ、電子ビームＣｔ−該蒸発材
料すに投入してこれを溶解させる式のものが知られてい
るが、この式のものではハースａ内の溶解面を水平に保
つように蒸発源装置を配置すると共にその上方に基板ａ
’１配置し、該溶解面から蒸発する蒸気を該基板上に凝
縮させる全一般とするもので斜め方向に配置された基板
には蒸気を凝縮させ難い欠点がある。即ちこうした水平
に配置された蒸発源装置から蒸発する蒸気は鉛直方向に
最も密度が高く近似的に余弦則（ｃｏｓ＃：ｎは１より
大きい実数）で表わされる密度分布を有し、傾斜方向に
はさして大きな密度分布を得ることが出来ないものであ
り、基板の配置や形状が制約されて好ましくない。
ースａに蒸発材料すを入れ、電子ビームＣｔ−該蒸発材
料すに投入してこれを溶解させる式のものが知られてい
るが、この式のものではハースａ内の溶解面を水平に保
つように蒸発源装置を配置すると共にその上方に基板ａ
’１配置し、該溶解面から蒸発する蒸気を該基板上に凝
縮させる全一般とするもので斜め方向に配置された基板
には蒸気を凝縮させ難い欠点がある。即ちこうした水平
に配置された蒸発源装置から蒸発する蒸気は鉛直方向に
最も密度が高く近似的に余弦則（ｃｏｓ＃：ｎは１より
大きい実数）で表わされる密度分布を有し、傾斜方向に
はさして大きな密度分布を得ることが出来ないものであ
り、基板の配置や形状が制約されて好ましくない。
本発明は斜め方向に高い密度分布が得られる蒸発源装置
を提供することを目的としたもので、ロンド状の蒸発材
料の先端を斜め上方に向けて回転自在に設け、該蒸発材
料の先端部外周を耐熱性筒体で覆い、該先端を電子ビー
ムを当てて溶解することを特徴とする。
を提供することを目的としたもので、ロンド状の蒸発材
料の先端を斜め上方に向けて回転自在に設け、該蒸発材
料の先端部外周を耐熱性筒体で覆い、該先端を電子ビー
ムを当てて溶解することを特徴とする。
本発明の実施例ｔ−図面につき説明するに、その第２図
に於て（１１は真空の蒸着室、（２）は該室（１）内に
設けた蒸発源装置、（３）は蒸着処理されるべき基板を
示し、該蒸発源装置（２）は先端（４ａ）を斜め上方に
向けたロンド状の蒸発材料（４）と、該蒸発材料（４）
の先端部外周を覆った水冷銅ハース等の耐熱性同体（５
）を備え、該先端（４ａ）にはフイラメン）（６）から
磁界で偏向された電子ビーム（７）が当てられるものと
する。また蒸発材料（４）はｉ動機により固定の耐熱性
筒体（５）内で回転され１好ましくは該材料（４）をさ
らにその軸方向にも出没可能に設けられる。
に於て（１１は真空の蒸着室、（２）は該室（１）内に
設けた蒸発源装置、（３）は蒸着処理されるべき基板を
示し、該蒸発源装置（２）は先端（４ａ）を斜め上方に
向けたロンド状の蒸発材料（４）と、該蒸発材料（４）
の先端部外周を覆った水冷銅ハース等の耐熱性同体（５
）を備え、該先端（４ａ）にはフイラメン）（６）から
磁界で偏向された電子ビーム（７）が当てられるものと
する。また蒸発材料（４）はｉ動機により固定の耐熱性
筒体（５）内で回転され１好ましくは該材料（４）をさ
らにその軸方向にも出没可能に設けられる。
その作動は次の通シである。
蒸発拐料（４）全回転させその先端（４ａ）に電子ビー
ム（７）を当てると表面が融解して放物線状に窪み、溶
けた溶湯れ重力に従って水平な溶解面を形成すべく流動
する。回転が比較的遅いと溶湯は窪み（８１の下面に溜
り勝ちでおるが、回転速度が適切であると溶湯の動粘性
と遠心力及び表面張力の相乗作用によって放物面状の翅
み（８）の表面にほぼ均一な厚さに溶湯が分布し、放物
面の全面からほぼ一様に溶湯が蒸発する。こうした条件
で蒸発を行なうと傾斜回転軸（９）方向に最も密度の高
い密度分布をもった蒸気ビームαＩが得られ、例えば図
示のように傾斜して設けられた基板（３）に高い密度の
蒸気を当てることが出来、迅速な蒸ｍ’ｔ−行なうこと
が出来る。該窪み（８）は蒸発の進行に伴ない深まるが
、ワイヤ状の蒸発材の先端を該窪み（８）に挿入して溶
解蒸発した分を補給するか、或は図示の如くロンド状の
蒸発材料（４）ヲ押し上げることにより適切な高さの溶
解面を維持出来る。
ム（７）を当てると表面が融解して放物線状に窪み、溶
けた溶湯れ重力に従って水平な溶解面を形成すべく流動
する。回転が比較的遅いと溶湯は窪み（８１の下面に溜
り勝ちでおるが、回転速度が適切であると溶湯の動粘性
と遠心力及び表面張力の相乗作用によって放物面状の翅
み（８）の表面にほぼ均一な厚さに溶湯が分布し、放物
面の全面からほぼ一様に溶湯が蒸発する。こうした条件
で蒸発を行なうと傾斜回転軸（９）方向に最も密度の高
い密度分布をもった蒸気ビームαＩが得られ、例えば図
示のように傾斜して設けられた基板（３）に高い密度の
蒸気を当てることが出来、迅速な蒸ｍ’ｔ−行なうこと
が出来る。該窪み（８）は蒸発の進行に伴ない深まるが
、ワイヤ状の蒸発材の先端を該窪み（８）に挿入して溶
解蒸発した分を補給するか、或は図示の如くロンド状の
蒸発材料（４）ヲ押し上げることにより適切な高さの溶
解面を維持出来る。
このように本発明によるときは傾斜して設けた回転自在
のロンド状の蒸発材料の先端部外周を耐熱性の筒体で覆
い、該材料の先端から電子ビームで溶解するようにした
ので斜め方向に高い密度分布の指向性を有する蒸発蒸気
を得ることが出来、基板の配置や形状に制約されること
なく蒸着を行なえる効果がある。
のロンド状の蒸発材料の先端部外周を耐熱性の筒体で覆
い、該材料の先端から電子ビームで溶解するようにした
ので斜め方向に高い密度分布の指向性を有する蒸発蒸気
を得ることが出来、基板の配置や形状に制約されること
なく蒸着を行なえる効果がある。
第１図は従来例の截断側面図、第２図は本発明の実施例
の截断側面図である。 （４）・・・蒸発材料、（４１Ｌ）・・・先端、＜５）
−・・耐熱性筒体、（７）・・・電子ビーム特許出願人
日本真空技術株式会社 代理人 北村欣−外２名（回弐）
の截断側面図である。 （４）・・・蒸発材料、（４１Ｌ）・・・先端、＜５）
−・・耐熱性筒体、（７）・・・電子ビーム特許出願人
日本真空技術株式会社 代理人 北村欣−外２名（回弐）
Claims (1)
- ロンド状の蒸発材料の先端を斜め上方に向けて回転自在
に設け１該蒸発材料の先端部外周を耐熱性筒体で覆い、
該先端を電子ビームを当てて溶解することを特徴とする
斜め方向に指向性を有する蒸発源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19918383A JPS6092470A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 斜め方向に指向性を有する蒸発源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19918383A JPS6092470A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 斜め方向に指向性を有する蒸発源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6092470A true JPS6092470A (ja) | 1985-05-24 |
| JPS6363629B2 JPS6363629B2 (ja) | 1988-12-08 |
Family
ID=16403517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19918383A Granted JPS6092470A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 斜め方向に指向性を有する蒸発源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6092470A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2597174A1 (en) * | 2011-11-23 | 2013-05-29 | United Technologies Corporation | Vapor deposition of ceramic coatings |
-
1983
- 1983-10-26 JP JP19918383A patent/JPS6092470A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2597174A1 (en) * | 2011-11-23 | 2013-05-29 | United Technologies Corporation | Vapor deposition of ceramic coatings |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6363629B2 (ja) | 1988-12-08 |
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