JPS60925U - ワ−ク搬送治具 - Google Patents

ワ−ク搬送治具

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JPS60925U
JPS60925U JP9120583U JP9120583U JPS60925U JP S60925 U JPS60925 U JP S60925U JP 9120583 U JP9120583 U JP 9120583U JP 9120583 U JP9120583 U JP 9120583U JP S60925 U JPS60925 U JP S60925U
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JP
Japan
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workpiece transfer
transfer jig
workpiece
quartz
quartz ring
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JP9120583U
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天沢　敬生
勝雄 大野
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案治具の１例の分解斜視図、第２図は搬送
部材の斜視図、第３図は搬送状態の斜視図、第４図は使
用状態の側面図、第５図はワーク　゛ホルダへの受渡し
状態の斜視図である。 １ａ・・・・・・底部、１・・・・・・筒状枠、２・・
・・・・石英リング、３・・・・・・ワーク、４・・・
・・・石英板、１ｂ・・・・・・係合孔、５・・・・・
・脚片、６・・・・・・つまみ片。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 底部１ａが開孔した筒状枠１内に石英リング２ヲ介シて
    シリコンウェハその他のワーク３を収め、その上方に石
    英板４を載置し、さらにその上方に該筒状枠１に形成し
    た複数個の係合孔１ｂと係合する脚片５を備えたつまみ
    片６を設けて成るワーク搬送治具。
JP9120583U 1983-06-16 1983-06-16 ワ−ク搬送治具 Granted JPS60925U (ja)

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JP9120583U JPS60925U (ja) 1983-06-16 1983-06-16 ワ−ク搬送治具

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JP9120583U JPS60925U (ja) 1983-06-16 1983-06-16 ワ−ク搬送治具

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Publication Number Publication Date
JPS60925U true JPS60925U (ja) 1985-01-07
JPS6311731Y2 JPS6311731Y2 (ja) 1988-04-05

Family

ID=30221187

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JPS6311731Y2 (ja) 1988-04-05

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